一种磁控溅射旋转磁密封端头的制作方法
【专利摘要】本实用新型公开一种磁控溅射旋转磁密封端头，包括固定座、隔离罩、内冷却水循环通道、内转子、接电柱、外转子、进水口、出水口、及固定孔；固定座内设第一凹槽；隔离罩纵剖面呈“山”字构型，分外盖、中柱、及二者之间的第二凹槽，外盖封盖在第一凹槽上，外转子设于第一凹槽内且包裹在外盖外部，接电柱设在外盖的顶端；内转子与第二凹槽内壁紧密贴合，内冷却水循环通道位于中柱外侧与内转子之间。本实用新型旋转阴极端头，真空、大气之间采用磁力耦合密封，把动密封改为了静密封，解决了真空度保持差的问题，这种密封方式免维护，考虑到其他部件的寿命，可以确保每年维护一次，提高了端头的使用可靠性。
【专利说明】
一种磁控溅射旋转磁密封端头
技术领域
[0001 ]本实用新型涉及磁控溅射设备配件，尤其涉及一种磁控溅射旋转磁密封端头。
【背景技术】
[0002]现在使用的旋转阴极端头，真空、大气之间采用骨架密封，骨架密封属于动密封范畴，也会逐步失效，这样增加了端头的使用不可靠性，维修率高，维修周期不确定，真空度保持差，实际使用时维修时间可能一个月或更长，给生产和工艺都造成了不确定性。
[0003]因此，现有技术存在缺陷，需要改进。
【实用新型内容】
[0004]本实用新型的目的是克服现有技术的不足，提供一种磁控溅射旋转磁密封端头。
[0005]本实用新型的技术方案如下:
[0006]—种磁控溅射旋转磁密封端头，包括固定座、隔离罩、内冷却水循环通道、内转子、接电柱、外转子、进水口、出水口、及固定孔；固定座内设第一凹槽;隔离罩纵剖面呈“山”字构型，分外盖、中柱、及二者之间的第二凹槽，外盖封盖在第一凹槽上，外转子设于第一凹槽内且包裹在外盖外部，接电柱设在外盖的顶端；内转子与第二凹槽内壁紧密贴合，内冷却水循环通道位于中柱外侧与内转子之间，进水口、出水口、固定孔均设于固定座侧壁，进水口、出水口分别与内冷却水循环通道连通；固定座侧壁还设有一水平弧形孔，用以露出外转子的一部分弧长。
[0007]较佳地，所述水平弧形孔的弧度为30°?180°。
[0008]较佳地，所述中柱内设一半开口的圆柱孔。
[0009]采用上述方案，本实用新型旋转阴极端头，真空、大气之间采用磁力耦合密封，把动密封改为了静密封，解决了真空度保持差的问题，这种密封方式免维护，考虑到其他部件的寿命，可以确保每年维护一次，提高了端头的使用可靠性。
【附图说明】
[0010]图1为本实用新型的侧视图；
[0011]图2为本实用新型的俯视图；
[0012]图3为图2的A-A剖视图；
[0013]图4为图3的分解图。
【具体实施方式】
[0014]以下结合附图和具体实施例，对本实用新型进行详细说明。
[0015]参照图1至图4，本实用新型提供一种磁控溅射旋转磁密封端头，包括固定座1、隔离罩2、内冷却水循环通道3、内转子4、接电柱5、外转子6、进水口 7、出水口8、及固定孔9。
[0016]其中，固定座I设有半开口的第一凹槽，隔离罩2封盖在第一凹槽上。
[0017]其中，隔离罩2纵剖面呈“山”字构型，分外盖21、中柱22、及二者之间的第二凹槽23，外盖21封盖在第一凹槽上，外转子6设于第一凹槽内且包裹在外盖21外部，接电柱5设在外盖21的顶端；内转子4与第二凹槽23内壁紧密贴合，内冷却水循环通道3位于中柱22外侧与内转子4之间；中柱22内设一半开口的圆柱孔221，用于更好地固定外部的圆柱形靶材。
[0018]其中，固定座I外侧壁还开设一水平弧形孔，其与第一凹槽连通，露出外转子6的一部分弧长，露出的外转子6用于导出皮带与外部动力源皮带连接，因此，为使得皮带连接方便，水平弧形孔的弧度在180°以内，优选地的弧度为30°?180°。固定座I外侧还设有进水口
7、出水口8、及固定孔9，进水孔7、出水孔8分别与内冷却水循环通道3连通，固定孔9用于将该密封端头整个固定在磁控溅射设备内部。
[0019]本实用新型的工作原理:
[0020]参照图1至图4，圆柱形靶材安装在内转子4上，与内转子4的头端外部固定连接，靶材冷却循环水通过进水口 7进入端头，经过内冷却水循环通道3冷却靶材，最后通过出水口 8流出，循环冷却；靶材阴极电源通过接电柱5上电，整体端头通过固定孔9固定在真空室内壁;外转子6外部通过皮带轮带动，中间通过隔离罩2隔离，外转子6通过磁场与内转子4耦合，带动内转子4旋转，实现了真空的绝对密封。
[0021]以上仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用于限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
【主权项】
1.一种磁控溅射旋转磁密封端头，其特征在于，包括固定座、隔离罩、内冷却水循环通道、内转子、接电柱、外转子、进水口、出水口、及固定孔；固定座内设第一凹槽；隔离罩纵剖面呈“山”字构型，分外盖、中柱、及二者之间的第二凹槽，外盖封盖在第一凹槽上，外转子设于第一凹槽内且包裹在外盖外部，接电柱设在外盖的顶端；内转子与第二凹槽内壁紧密贴合，内冷却水循环通道位于中柱外侧与内转子之间，进水口、出水口、固定孔均设于固定座侧壁，进水口、出水口分别与内冷却水循环通道连通；固定座侧壁还设有一水平弧形孔，用以露出外转子的一部分弧长。2.根据权利要求1所述的磁控溅射旋转磁密封端头，其特征在于，所述水平弧形孔的弧度为30°~180°。3.根据权利要求1或2所述的磁控溅射旋转磁密封端头，其特征在于，所述中柱内设一半开口的圆柱孔。
【文档编号】C23C14/35GK205710899SQ201620681853
【公开日】2016年11月23日
【申请日】2016年7月1日
【发明人】赵勇
【申请人】深圳市昊兴科技有限公司