一种真空镀膜机及其微面积产品光学镀膜工装的制作方法

本实用新型涉及光学仪器的真空镀膜技术领域，具体涉及一种用于真空镀膜机的微面积产品光学镀膜工装。本实用新型还涉及一种包括该微面积产品光学镀膜工装的真空镀膜机。

背景技术：

随着我国现代制造业的崛起，光学产品被广泛的应用到人们的实际生产和生活当中去，光学产品在使用时根据不同的使用需求需要在光学产品的表面进行镀膜。在实际生产中，很多基片本身面积较大，但是实际需要镀膜的区域很小，在一定空间内镀膜的面积是有限的，该种情况一般采用的做法是，在伞形夹具上面镀膜或者多层平面上镀膜；如图1所示，其镀膜工装伞形罩10，基片20，需要镀膜位置30，该需要镀膜位置30为根据需要开设的微孔。在伞形罩上开与基片尺寸一样的台阶孔，把被镀基片放置在上面，同时把不需要镀膜的位置遮挡住。但是采用该种镀膜工装实现微面积镀膜时，大部分基片的面积是浪费的，导致空间利用率较低，镀膜材料被大量浪费，基片的安装和拆卸较为不便，同时在单个产品上浪费膜料。

因此，提供一种微面积产品光学镀膜工装，以期提高基片微面积镀膜时夹具的空间利用率，减少镀膜材料的浪费，提高产能，便于基片的安装和拆卸，同时避免单个产品上膜料的浪费，进而提高工作效率，降低生产制造的成本，就成为本领域技术人员亟待解决的问题。

技术实现要素：

本实用新型的目的是提供一种微面积产品光学镀膜工装，以期提高基片微面积镀膜时夹具的空间利用率，减少镀膜材料的浪费，提高产能，便于基片的安装和拆卸，同时避免单个产品上膜料的浪费，进而提高工作效率，降低生产制造的成本。本实用新型的另一目的是提供一种包括上述微面积产品光学镀膜工装的真空镀膜机。

为实现上述目的，本实用新型提供了一种微面积产品光学镀膜工装，用于真空镀膜机，包括与所述真空镀膜机的动力装置传动连接的固定架和可拆卸地安装于所述固定架的基片夹具；

所述基片夹具包括支撑架、可拆卸地安装于所述支撑架上的立向支撑板，和安装于所述立向支撑板端部的侧护板；

所述立向支撑板的数量为若干，各所述立向支撑板平行设置，且相邻所述立向支撑板之间形成容置空间，所述容置空间内安装有多个挡板，各所述挡板形成层叠式结构，相邻两所述挡板之间形成工件插装槽，所述挡板上开设有镀膜孔，各所述镀膜孔均相对于相邻挡板外露。

进一步地，所述基片夹具为分体式结构，其包括多片子夹具，各所述子夹具在周向拼接形成伞型结构。

进一步地，所述基片夹具还包括设置在周向外侧的环形护板，所述环形护板设置于最外侧的所述立向支撑板的外侧。

进一步地，最外侧的所述立向支撑板上设置有支撑螺钉，所述环形护板上开设有卡槽，并通过所述卡槽卡接于所述支撑螺钉。

进一步地，各所述挡板均相对于其所在的所述容置空间的槽底倾斜预设角度。

进一步地，所述预设角度是10°-45°。

进一步地，各所述立向支撑板上开设有与挡板的位置和数量相匹配的多个位置孔。

进一步地，处于同一立向支撑板上的多个位置孔，处于以支撑架的中心为圆心的弧形面上。

进一步地，多层所述容置空间形成阶梯式结构。

本实用新型还提供一种真空镀膜机，包括如上所述的微面积产品光学镀膜工装。

本实用新型所提供的微面积产品光学镀膜工装，用于真空镀膜机，包括与所述真空镀膜机的动力装置传动连接的固定架和可拆卸地安装于所述固定架的基片夹具；所述基片夹具包括支撑架、可拆卸地安装于所述支撑架上的立向支撑板，和安装于所述立向支撑板端部的侧护板；所述立向支撑板的数量为若干，各所述立向支撑板平行设置，且相邻所述立向支撑板之间形成容置空间，所述容置空间内可拆卸地安装有多个挡板，各所述挡板形成层叠式结构，相邻两所述挡板之间形成工件插装槽，所述挡板上开设有镀膜孔，各所述镀膜孔均相对于相邻挡板外露。

该微面积产品光学镀膜工装在使用时需要将其安装在动力装置上，使得固定架与动力装置的输出端固定连接，根据所需镀膜基片的宽度调整容置空间，同时根据被镀膜基片的厚度调整相邻挡板之间的工件插装槽的空间，使得上述两个适用于被镀膜基片，将被镀膜基片依次插入到工件插装槽内。镀膜时启动动力装置，在在动力装置的带动下该微面积产品光学镀膜工装绕其自身圆心转动，启动电子枪蒸发膜料，膜料通过镀膜孔到达被镀膜基片的表面，从而实现基片表面的微面积镀膜。当基片镀膜完成后，停止电子枪和动力装置，将基片从该微面积镀膜工装上依次取出进入下一道生产工序。该微面积镀膜工装结构中，工件插装槽为层叠式结构，在保证基片镀膜的基础上，有效增加设置基片的数量，使得微面积镀膜时夹具的空间利用率大幅度提高，产能大大增强，同时增设可调环形护板使得镀膜的均匀性大幅度提升，有效提高了镀膜的品质；该结构便于基片的安装和拆卸，同时避免单个产品上膜料的浪费，进而提高产能，降低生产制造的成本。

在一种优选的实施方式中，本实用新型所提供的微面积产品光学镀膜工装，所述基片夹具为分体式结构，其包括多片子夹具，各所述子夹具在周向拼接形成伞型结构。该微面积产品光学镀膜工装为四部分拼组而成，一方面便于微面积产品光学镀膜工装本身的安装和拆卸，另一方面便于被镀膜基片的安装与拆卸，有效的提高了生产的效率，大幅度降低生产制造的成本。该微面积产品光学镀膜工装为伞形结构，有效的匹配镀膜时电子枪的发射角度，保证了镀膜的质量，有效的提高整个微面积产品光学镀膜工装的空间利用率。

在一种优选的实施方式中，本实用新型所提供的微面积产品光学镀膜工装，所述基片夹具还包括设置在周向外侧的环形护板，所述环形护板设置于最外侧的所述立向支撑板的外侧。该环形护板一方面通过调整可以控制镀膜的均匀性，有效保证基片表面镀膜的质量，另一方面保证了基片在旋转镀膜时的稳定性，有效避免了基片的脱落。

在一种优选的实施方式中，本实用新型所提供的微面积产品光学镀膜工装，最外侧的所述立向支撑板上设置有支撑螺钉，所述环形护板上开设有卡槽，并通过所述卡槽卡接于所述支撑螺钉。该结构中便于环形护板的拆装，有效的节约了微面积产品光学镀膜工装拆组的时间，大大提高了基片镀膜的生产效率，进而有效的降低了生产制造的成本。

在一种优选的实施方式中，本实用新型所提供的微面积产品光学镀膜工装，各所述挡板均相对于其所在的所述容置空间的槽底倾斜预设角度。该预设角度的设置有效的保证了微面积产品光学镀膜工装内基片设置的数量，通过调整预设角度来满足不同的生产加工需求，为生产有效降低成本，将微面积产品光学镀膜工装的空间利用率发挥到最大。

在一种优选的实施方式中，本实用新型所提供的微面积产品光学镀膜工装，所述预设角度是10°-45°。该预设角度的选择根据具体的生产要求进行确定，当然10°-45°的区间为镀膜质量最佳，微面积产品光学镀膜工装空间利用率最大。

在一种优选的实施方式中，本实用新型所提供的微面积产品光学镀膜工装，各所述立向支撑板上开设有与挡板的位置和数量相匹配的多个位置孔。位置孔的设置有效的保证了挡板的设置角度和相邻挡板之间的工件插装槽一致性，进而保证了基片镀膜的质量，有效提高产品的效率和质量。

在一种优选的实施方式中，本实用新型所提供的微面积产品光学镀膜工装，处于同一立向支撑板上的多个位置孔，处于以支撑架的中心为圆心的弧形面上。同一立向支撑板位置孔处在以支撑架的中心为圆心的弧形面上，有效的保证了挡板设置位置的一致性，进而保证设置在工件插装槽内的基片位置的一致性，有效保证了基片镀膜的质量，避免膜料的浪费，极大的节约了生产制造的成本。

在一种优选的实施方式中，本实用新型所提供的微面积产品光学镀膜工装，多层所述容置空间形成阶梯式结构。该结构有效的保证了微面积产品光学镀膜工装空间利用率，使得微面积产品光学镀膜工装的空间利用率发挥到最大，进而降低生产制造的成本。

附图说明

图1为现有技术中一种典型的镀膜工装的结构示意图；

图2为本实用新型所提供的镀膜工装一种具体实施方式的结构示意图；

图3为图2所示镀膜工装在另一方向的视图；

图4为图2所示镀膜工装中相邻两立向支撑板的结构示意图；

图5-图8为图2所示镀膜工装中单片子夹具的各方向结构示意图；

图9为本实用新型所提供的镀膜工装所在的真空镀膜机的结构示意图。

附图标记说明：

10-伞形罩 20-伞形片 30-镀膜位置

1-固定架 2-基片夹具 21-支撑架 22-立向支撑板 221-位置孔

23-容置空间 24-挡板 241-镀膜孔 25-支撑螺钉

100-微面积产品光学镀膜工装 101-动力装置 102-真空腔

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

请参考图1-图9，在一种具体实施方式中，本实用新型所提供的微面积产品光学镀膜工装100，用于真空镀膜机，设置在镀膜机的真空腔102内，包括与所述真空镀膜机的动力装置101传动连接的固定架1和可拆卸地安装于所述固定架1的基片夹具2；所述基片夹具2包括支撑架21、可拆卸地安装于所述支撑架21上的立向支撑板22，和安装于所述立向支撑板22端部的侧护板；所述立向支撑板22的数量为若干，各所述立向支撑板22平行设置，且相邻所述立向支撑板22之间形成容置空间23，所述容置空间23内安装有多个挡板24，各所述挡板24形成层叠式结构，相邻两所述挡板24之间形成工件插装槽，所述挡板24上开设有镀膜孔241，各所述镀膜孔241均相对于相邻挡板24外露。

挡板24可以通过卡接或螺栓连接等方式可拆卸地安装于容置空间23内，也可以与立向支撑板为一体成型式结构。上述容置空间23可以为环形结构，可以设置为纵向层叠式结构。

该微面积产品光学镀膜工装100在使用时需要将其安装在动力装置上，使得固定架1与动力装置的输出端固定连接，根据所需镀膜基片的宽度调整容置空间23，同时根据被镀膜基片的厚度调整相邻挡板24之间的工件插装槽的空间，使得上述两个适用于被镀膜基片，将被镀膜基片依次插入到工件插装槽内。镀膜时启动动力装置，在在动力装置的带动下该微面积产品光学镀膜工装100绕其自身圆心转动，启动电子枪蒸发膜料，膜料通过镀膜孔241到达被镀膜基片的表面，从而实现基片表面的微面积镀膜，通过调整挡板24进而实现被镀膜基片镀膜的均匀性。

当基片镀膜完成后，停止电子枪和动力装置，将基片从该微面积镀膜工装上依次取出进入下一道生产工序。该微面积镀膜工装结构中，工件插装槽为层叠式结构，在保证基片镀膜的基础上，有效增加设置基片的数量，使得微面积镀膜时夹具的空间利用率大幅度提高，产能大大增强，同时增设可调环形护板使得镀膜的均匀性大幅度提升，有效提高了镀膜的品质；该结构便于基片的安装和拆卸，同时避免单个产品上膜料的浪费，进而提高产能，降低生产制造的成本。

需要理解的是，所述基片夹具2为分体式结构，其包括多片子夹具，各所述子夹具在周向拼接形成伞型结构。以包括四片子夹具的结构为例，该微面积产品光学镀膜工装100为四部分拼组而成，一方面便于微面积产品光学镀膜工装100本身的安装和拆卸，另一方面便于被镀膜基片的安装与拆卸，有效的提高了生产的效率，大幅度降低生产制造的成本。该微面积产品光学镀膜工装100为伞形结构，有效的匹配镀膜时电子枪的发射角度，保证了镀膜的质量，有效的提高整个微面积产品光学镀膜工装100的空间利用率。当然上述结构只是一种实施方式，该结构不仅仅局限于此，还可以根据具体的生产需求进行调整，可以为一片式、两片式或三片式等结构。

该结构中，所述基片夹具2还包括设置在周向外侧的环形护板，所述环形护板设置于最外侧的所述立向支撑板22的外侧。该环形护板一方面通过调整可以控制镀膜的均匀性，有效保证基片表面镀膜的质量，另一方面保证了基片在旋转镀膜时的稳定性，有效避免了基片的脱落。当然上述结构还可以选择其它结构作为该处的备选方案，例如加装环形护网等。

进一步理解的是，最外侧的所述立向支撑板22上设置有支撑螺钉25，所述环形护板上开设有卡槽，并通过所述卡槽卡接于所述支撑螺钉25。该结构中便于环形护板的拆装，有效的节约了微面积产品光学镀膜工装100拆组的时间，大大提高了基片镀膜的生产效率，进而有效的降低了生产制造的成本。上述结构还可以采用其它形式作为该处的替代方案，例如设置弹簧卡扣等结构来实现上述便于拆装和固定的目的。

该工装中，各所述挡板24均相对于其所在的所述容置空间23的槽底倾斜预设角度。该预设角度的设置有效的保证了微面积产品光学镀膜工装100内基片设置的数量，通过调整预设角度来满足不同的生产加工需求，为生产有效降低成本，将微面积产品光学镀膜工装100的空间利用率发挥到最大。所述预设角度是10°-45°。该预设角度的选择根据具体的生产要求进行确定，当然10°-45°的区间为镀膜质量最佳，微面积产品光学镀膜工装100空间利用率最大。

具体地，各所述立向支撑板22上开设有与挡板24的位置和数量相匹配的多个位置孔221。位置孔221的设置有效的保证了挡板24的设置角度和相邻挡板24之间的工件插装槽一致性，进而保证了基片镀膜的质量，有效提高产品的效率和质量。处于同一立向支撑板22上的多个位置孔221，处于以支撑架21的中心为圆心的弧形面上。同一立向支撑板22位置孔221处在以支撑架21的中心为圆心的弧形面上，有效的保证了挡板24设置位置的一致性，进而保证设置在工件插装槽内的基片位置的一致性，有效保证了基片镀膜的质量，避免膜料的浪费，极大的节约了生产制造的成本。

该结构中，多层所述容置空间23形成阶梯式结构。该结构有效的保证了微面积产品光学镀膜工装100空间利用率，使得微面积产品光学镀膜工装100的空间利用率发挥到最大，进而降低生产制造的成本。当然上述结构还可以为其它形式，例如弧形等作为该处的替代方案。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个以上，除非另有明确具体的限定。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。

尽管上面已经示出和描述了本实用新型的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本实用新型的限制，本领域的普通技术人员在本实用新型的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变型。