新型旋转阴极的制作方法

本实用新型涉及一种新型旋转阴极。

背景技术：

旋转阴极是目前大面积真空镀膜的重要设备之一。旋转阴极的原理是一根表面附有溅射靶材或整根都是溅射靶材的中空管，绕悬挂在管中间静止不动的磁铁阵列旋转，静止的磁铁阵列朝向基材，控制工艺过程中的等离子体合理分布，由此靶穿过静止的等离子体区域，并且整个工艺过程中都有靶材溅射。一个理想的旋转阴极需要靶管旋转驱动系统，工艺过程中靶管内部需要冷却水冷却，溅射过程中对旋转的靶管输入电功率，冷却水和真空都需要旋转密封，靶材利用率(高达90％)，这就意味着更长时间的溅射过程和更少的维护；更好的水冷效果可以实现高功率密度溅射。

旋转阴极最近的发展趋势是靶材高功率溅射，对靶材输入高功率电流，增加靶材的溅射速率，提高终端用户的产量。在现有的旋转阴极中，有部分供应商是直接利用金属转动轴承供电，另一部分供应商是利用碳刷对靶管供电。因转动轴承是滚珠点接触，不能稳定传递大功率电流；利用碳刷传递电流的结构复杂，碳刷磨损块，维护更换频率高，传动轴加工精度要求高，同时碳刷磨损产生粉尘，对周围环境有污染。

技术实现要素：

本实用新型的目的之一是为了克服现有技术中的不足，提供一种可稳定对靶管供电的新型旋转阴极。

为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案实现：

新型旋转阴极，包括阴极安装板和靶管，其特征在于，还包括供给组件和端头支撑板，

所述供给组件和所述端头支撑板均与所述阴极安装板连接；

所述靶管一端与所述端头安装板连接；

所述供给组件包括安装轴、接触板和弹簧；所述接触板可活动地安装于所述安装轴上，所述弹簧一端与所述安装轴固定链接，另一端抵靠所述接触板；

所述靶管另一端与所述供给组件接触，所述接触板抵靠所述靶管另一端，所述接触板与所述端头安装板夹持所述靶管。

根据本实用新型的一个实施例，所述接触板包括端板和安装座；所述端板安装在所述安装座上；所述安装座安装在所述安装轴上并可沿所述安装轴移动。

根据本实用新型的一个实施例，所述安装轴上设置有固定销；所述安装座设置有滑槽；所述固定销穿过所述滑槽插置于所述安装轴上；所述固定销可沿所述滑槽滑动。

根据本实用新型的一个实施例，还包括铜套管，所述铜套管一端与所述安装轴连接，另一端与所述安装座连接。

根据本实用新型的一个实施例，所述供给装置还包括底板，所述安装轴可转动地安装于所述底板上。

本实用新型针对现有技术中的不足，利用两平面接触面积大，对旋转耙材提供了一种高功率电流供电模式。因耙材旋转转速不大，两平面接触处磨损很小，磨损的材料被冷却水带走，不影响耙管与阴极安装板的绝缘性能，减少短路和弧光放电的影响。

本实用新型介绍的电流只需从一端端头接入，另一端头只起支撑作用，减少另一端头真空及水密封的要求。本实用新型实现磁场强度调节采用如下技术方案：利用弹簧的压紧力，使两光滑平面紧密接触，端板可旋转，供给组件静止不动。静止不动的供给组件用做电流输入端，旋转的靶管安装法兰对旋转耙管供电。本实用新型介绍的耙管及耙管支撑组件均匀阴极安装板有很好的绝缘,减少短路和弧光放电的影响。与其他供电结构相比，本实用新型结构简单，操作方便可靠，传递电流功率大，提高耙材的溅射速率，提高用户的产量，节约生产成本。

附图说明

图1为本实用新型中的新型旋转阴极结构示意图。

图2为本实用新型中的供给组件结构示意图。

图3为本实用新型中的供给组件剖视图。

具体实施方式

以下结合实施例和附图对本实用新型进一步说明。

如图1至图3所示，新型旋转阴极，包括阴极安装板1、靶管2、供给组件3和端头支撑板4。所述供给组件3和所述端头支撑板4均与所述阴极安装板1连接。所述靶管2一端与所述端头安装板4连接。

所述供给组件3包括安装轴31、接触板32和弹簧33。所述接触板32可活动地安装于所述安装轴31上，所述接触板32可沿安装轴31轴向移动地设置。所述弹簧33一端与所述安装轴31固定链接，另一端抵靠所述接触板32。所述接触板32包括端板34和安装座35；所述端板34安装在所述安装座35上；所述安装座35安装在所述安装轴31上并可沿所述安装轴31移动。所述安装轴31上设置有固定销36；所述安装座35设置有滑槽37；所述固定销36穿过所述滑槽37插置于所述安装轴31上；所述固定销36可沿所述滑槽37滑动。所述供给组件3还包括铜套管38，所述铜套管38一端与所述安装轴31连接，另一端与所述安装座35连接。

所述靶管2另一端设置有靶管安装法兰5。靶管安装法兰5与所述供给组件3接触，所述接触板32的端板34抵靠所述靶管安装法兰5，所述接触板32的端板34与所述端头安装板4夹持所述靶管2和靶管安装法兰5。

本实用新型针对现有技术中的不足，利用两平面接触面积大，对旋转耙材提供了一种高功率电流供电模式。因耙材旋转转速不大，两平面接触处磨损很小，磨损的材料被冷却水带走，不影响耙管与阴极安装板的绝缘性能，减少短路和弧光放电的影响。

本实用新型介绍的电流只需从一端端头接入，另一端头只起支撑作用，减少另一端头真空及水密封的要求。本实用新型实现磁场强度调节采用如下技术方案：利用弹簧的压紧力，使两光滑平面紧密接触，端板可旋转，供给组件静止不动。静止不动的供给组件用做电流输入端，旋转的靶管安装法兰对旋转耙管供电。本实用新型介绍的耙管及耙管支撑组件均匀阴极安装板有很好的绝缘,减少短路和弧光放电的影响。与其他供电结构相比，本实用新型结构简单，操作方便可靠，传递电流功率大，提高耙材的溅射速率，提高用户的产量，节约生产成本。

本实用新型中的实施例仅用于对本实用新型进行说明，并不构成对权利要求范围的限制，本领域内技术人员可以想到的其他实质上等同的替代，均在本实用新型保护范围内。