抽气机构的制造方法与工艺

本实用新型涉及真空抽气技术领域,特别是涉及一种抽气机构。



背景技术:

真空镀膜是在真空环境下,将某种金属或金属化合物以气相的形式沉积到材料表面(通常是非金属材料),属于物理气相沉积工艺。真空镀膜技术是一种新颖的材料合成与加工的新技术,是表面工程技术领域的重要组成部分。随着全球制造业高速发展,真空镀膜技术应用越来越广泛。从半导体集成电路、LED、显示器、触摸屏、太阳能光伏、化工、制药等行业的发展来看,对真空镀膜设备、技术、材料需求都在不断增加,例如TFT、PDP平面显示器上的导电膜和增透膜等,而抽真空是真空镀膜过程中一个必不可少的重要工序。

但是,现有的抽气机构由于结构缺陷,在抽气过程中容易因抽气速度过快而导致显示屏产品出现破片、气泡等现象。



技术实现要素:

基于此,有必要针对上述抽气机构在抽气过程中容易导致显示屏产品出现破片、气泡的问题,提供一种在抽气过程中可避免显示屏产品出现破片、气泡的抽气机构。

具体的技术方案如下:

一种抽气机构,包括:

抽气组件,包括通过管道依次连接的抽气阀、罗茨泵及机械泵;

控制装置,分别与所述抽气阀、罗茨泵及所述机械泵通信连接,用于控制所述抽气阀的开启或关闭,以及所述罗茨泵和所述机械泵的启动或停止;及

管道调节阀,安装于所述抽气阀与所述罗茨泵之间的所述管道上。

上述抽气机构在显示屏产品进入真空镀膜的进片室后,通过控制装置设定抽气阀延时开启,使显示屏产品在延时时间内得以在进片室充分预热,从而可以使液晶边胶充分地粘合,在之后进行的抽气过程中可以减少气泡的发生。而且,通过控制装置设定罗茨泵延时启动,可先通过机械泵对进片室单独抽气至压力为103Pa(相当于抽掉进片室内气体的99.9%)后再开启罗茨泵,从而避免了同时抽气速度过快导致产品破片或产生气泡。此外,罗茨泵与抽气阀之间设有管道调节阀,因此可以根据需要调节管道通气面积大小以进一步降低抽气过程中对产品的冲击,降低产品破片与气泡的发生概率,提高产品品质和生产效率。

在其中一个实施例中,所述管道调节阀包括调节组件和连接于所述调节组件的转盘,所述转盘位于所述抽气阀与所述罗茨泵之间的所述管道内,所述调节组件位于所述管道外,用于带动所述转盘相对所述管道旋转以改变所述管道的通气面积。

在其中一个实施例中,所述管道的横截面为圆形,所述转盘为圆形且其直径与所述管道的内径相等。

在其中一个实施例中,所述调节组件包括与所述转盘连接的摆臂、与所述摆臂可旋转连接的连接件及与所述连接件连接的调节件,所述调节件可驱动所述连接件以使所述连接件带动所述摆臂相对所述管道旋转。

在其中一个实施例中,所述调节件远离所述连接件的一端设有把手,所述把手向远离所述连接件的方向延伸。

在其中一个实施例中,所述机械泵的抽气速度为740-760m3/h。

在其中一个实施例中,所述罗茨泵的抽气速度为2040-2060m3/h。

在其中一个实施例中,所述控制装置上设有操作面板,用于接收指令以控制所述抽气阀的开启或关闭,以及所述罗茨泵和所述机械泵的启动或停止。

在其中一个实施例中,所述操作面板上设有第一开关、第二开关及第三开关,所述第一开关用于控制所述抽气阀的开启或关闭,所述第二开关用于控制所述罗茨泵的启动或停止,所述第三开关用于控制所述机械泵的启动或停止。

附图说明

图1为一实施例的抽气机构的结构示意图;

图2为图1所示的抽气机构的管道调节阀的结构示意图。

具体实施方式

为了便于理解本实用新型,下面将参照相关附图对本实用新型进行更全面的描述。附图中给出了本实用新型的较佳实施例。但是,本实用新型可以以许多不同的形式来实现,并不限于本文所描述的实施例。相反地,提供这些实施例的目的是使对本实用新型的公开内容的理解更加透彻全面。

需要说明的是,当元件被称为“安装于”另一个元件,它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连通”另一个元件,它可以是直接连通到另一个元件或者可能同时存在居中元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件,它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。

除非另有定义,本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的,不是旨在于限制本实用新型。本文所使用的术语“和/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。

如图1所示,本较佳实施例的一种抽气机构100,包括抽气组件10、管道调节阀20及控制装置(图未示)。

抽气组件10包括通过管道140依次连接的抽气阀110、罗茨泵120及机械泵130。控制装置分别与抽气阀110、罗茨泵120及机械泵130通信连接,用于控制抽气阀110的开启或关闭,以及罗茨泵120和机械泵130的启动或停止。管道调节阀20安装于抽气阀110与罗茨泵120之间的管道140上。

该抽气机构100在显示屏产品进入真空镀膜的进片室后,通过控制装置设定抽气阀110延时开启,使显示屏产品在延时时间内得以在进片室充分预热,从而可以使液晶边胶充分地粘合,在之后进行的抽气过程中可以减少气泡的发生。而且,通过控制装置设定罗茨泵120延时启动,可先通过机械泵130对进片室单独抽气至压力为103Pa(相当于抽掉进片室内气体的99.9%)后再开启罗茨泵120,从而避免了同时抽气速度过快导致产品破片或产生气泡。此外,罗茨泵120与抽气阀110之间设有管道调节阀20,因此可以根据需要调节管道140通气面积大小以进一步降低抽气过程中对产品的冲击,降低产品破片与气泡的发生概率,提高产品品质和生产效率。

具体地,控制装置上设有操作面板,用于接收指令以根据需要控制抽气阀110的开启或关闭,以及罗茨泵120和机械泵130的启动或停止。如此,操作者可通过操作面板输入指令并设定延时时间,从而根据实际需要控制抽气阀110、罗茨泵120、及机械泵130的工作状态。更具体地,操作面板上设有第一开关、第二开关及第三开关,第一开关用于控制抽气阀110的开启或关闭,第二开关用于控制罗茨泵120的启动或停止,第三开关用于控制机械泵130的启动或停止。在其他实施例中,操作者也可根据需要通过操作面板手动控制各部件,使该抽气机构100具有较大的使用灵活性。

进一步地,如图2所示,管道调节阀20包括调节组件21和连接于调节组件21的转盘23,转盘23位于抽气阀110和罗茨泵120之间的管道140内,调节组件21位于管道140外,用于带动转盘23相对管道140旋转以改变管道140的通气面积,从而根据需要降低抽气过程中抽气速率对产品的冲击,进一步降低了产品的破片与气泡发生的概率。

优选地,管道140的横截面为圆形,转盘23为圆形且其直径与管道140的内径相等,如此当旋转转盘23使其盘面与管道140的轴线垂直时可完全封闭管道140,当旋转转盘23的盘面相对管道140的轴线成一定角度倾斜时,可打开管道140而使气体通过。如此,可通过调整转盘23的转动角度调节管道140的通气面积,具有较强的调节能力。

更进一步地,调节组件21包括与转盘23连接的摆臂211、与摆臂211可旋转连接的连接件213及与连接件213连接的调节件215,调节件215可驱动连接件213以使连接件213带动摆臂211相对管道140旋转,如此即可调节转盘23旋转,以改变管道140的通气面积。

优选地,连接件213与调节件215螺纹连接,调节件215通过旋转相对连接件213运动,同时对连接件213产生作用力,使连接件213带动摆臂211相对管道140旋转,从而实现对转盘23的调节。

优选地,调节件215远离连接件213的一端设有把手217,把手217向远离连接件213的方向延伸,通过把手217可以方便地旋转调节件215。

在本实施例中,机械泵130的抽气速度为740-760m3/h,优选为750m3/h,罗茨泵120的抽气速度为2040-2060m3/h,优选为2050m3/h。

本实施例的抽气机构100通过控制装置设定抽气阀110和罗茨泵120延时开启的时间,使产品在充分预热后再进行抽气,且可分阶段对进片室抽气,罗茨泵120与抽气阀110之间,还设有管道调节阀20,可以根据需要调节其阀门开口大小,有效避免了产品破片与气泡的发生,提高了产品品质和生产效率。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合,为使描述简洁,未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述,然而,只要这些技术特征的组合不存在矛盾,都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式,其描述较为具体和详细,但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是,对于本领域的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型构思的前提下,还可以做出若干变形和改进,这些都属于本实用新型的保护范围。因此,本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。

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