一种真空镀膜机进气装置的制作方法

文档序号:11600457阅读:391来源:国知局

本实用新型涉及镀膜领域,特指一种真空镀膜机进气装置。



背景技术:

目前真空镀膜的种类大致可分为蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀,然而无论是上述的哪种形式的真空镀膜,其镀膜过程都需要一个良好的真空环境;现有技术中依靠抽真空设备,例如机械泵加扩散泵的组合设备,虽然能很好的满足镀膜机的真空度要求,并且产品完成镀膜后,通过打开泄压阀即可进行泄压,最终出料,但泄压过程将会伴随着较大的吸力,对于环境较差的厂房,直接打开泄压阀会使含有大量杂质颗粒的外部空气瞬间进入设备内,不仅影响到后续产品的镀膜过程,而且可能会导致镀膜机内部的部分精密仪表损坏和堵塞。



技术实现要素:

本实用新型目的是为了克服现有技术的不足而提供一种真空镀膜机进气装置,能净化镀膜机泄压过程中吸入的空气,并降低空气的流速,提供一个良好的真空环境。

为达到上述目的,本实用新型采用的技术方案是:一种真空镀膜机进气装置,包含设置在镀膜机进气口的进气管道、设置有吸气口和出气口的水箱、两端分别连通水箱出气口和进气管道且通过电阻丝加热的加热管道;所述水箱的吸气口设置有下端伸直水箱底部的吸气管道;所述进气管道上分别设置有过滤器、电磁开关阀和调速阀。

优选的,所述过滤装器的进气端与调速阀的出气端连通,所述调速阀的进气端与电磁开关阀的出气端连通。

优选的,所述吸气管道的进气端还设置有过滤网。

优选的,所述水箱的底部倾斜设置,且水箱底部的最低处设置有通过阀门控制的排水口。

优选的,所述水箱内还设置有用于检测水位的传感器。

由于上述技术方案的运用,本实用新型与现有技术相比具有下列优点:

本实用新型所述的真空镀膜机进气装置通过水为过滤介质能过滤空气中大部分的杂质,使杂质粘附水中沉淀在水箱的底部,分离过滤效果好,且通过调速阀能有效控制空气流速,避免空气瞬间进入镀膜机内,损坏镀膜机内的精密仪表。

附图说明

下面结合附图对本实用新型技术方案作进一步说明:

附图1为本实用新型所述的真空镀膜机进气装置的结构示意图。

其中:1、镀膜机;2、水箱;3、阀门;4、吸气管道;5、过滤网;6、加热管道;7、电阻丝;8、电磁开关阀;9、调速阀;10、进气管道;11、过滤器;12、传感器。

具体实施方式

下面结合附图及具体实施例对本实用新型作进一步的详细说明。

附图1为本实用新型所述的真空镀膜机进气装置,包含设置在镀膜机1进气口的进气管道10、设置有吸气口和出气口的水箱2、两端分别连通水箱2出气口和进气管道10且通过电阻丝7加热的加热管道6;所述水箱2的吸气口设置有下端伸直水箱2底部的吸气管道4,通过水为过滤介质能过滤空气中大部分的杂质,使杂质粘附水中沉淀在水箱2的底部,且加热管道6能去除空气中的水份,避免水份进入设备内,损害设备;所述进气管道10上分别设置有过滤器11、电磁开关阀8和调速阀9;所述过滤装器的进气端与调速阀9的出气端连通,所述调速阀9的进气端与电磁开关阀8的出气端连通,其中调速阀9能有效控制空气流速,最后通过过滤器11实现最终过滤,由于空气中的杂质大部分已经被过滤,从而能增加过滤器11的使用寿命;所述吸气管道4的进气端还设置有过滤网5,能预先过滤一下体积较大的颗粒,且成本低、便于更换;所述水箱2的底部倾斜设置,且水箱2底部的最低处设置有通过阀门3控制的排水口,便于底部沉淀的杂质排出;所述水箱2内还设置有用于检测水位的传感器12,避免空气流速过大,水进入加热管道6;所述电阻丝7、电磁开关阀8、调速阀9、传感器12分别与原镀膜机1上的控制器线连接,实现自动控制。

由于上述技术方案的运用,本实用新型与现有技术相比具有下列优点:

本实用新型所述的真空镀膜机进气装置通过水为过滤介质能过滤空气中大部分的杂质,使杂质粘附水中沉淀在水箱的底部,分离过滤效果好,且通过调速阀能有效控制空气流速,避免空气瞬间进入镀膜机内,损坏镀膜机内的精密仪表。

以上仅是本实用新型的具体应用范例,对本实用新型的保护范围不构成任何限制。凡采用等同变换或者等效替换而形成的技术方案,均落在本实用新型权利保护范围之内。

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