1.一种可拆卸式化学气相沉积喷淋装置，主要包括喷淋（2）、喷淋进气口（1）、气体混合腔（5）、喷淋管（6）、冷却水进口（3）、冷却水出口（4）、喷淋水冷腔（7）等，其特征在于喷淋（2）底面设置有可拆顶板（8），可拆顶板（8）通过可拆卸的连接方式与喷淋（2）底面贴合连接，所述可拆顶板（8）内部设有顶板水冷腔（9），顶板冷却水进口（10）通过冷却水腔（9）与顶板冷却水出口（11）连通，可拆顶板（8）上分布设置有贯穿孔（12），使凸出的喷淋管（6）可以伸入到相应的贯穿孔（12）中。
2.如权利要求1所述的可拆卸式化学气相沉积喷淋装置，其特征在于所述可拆顶板（8）与喷淋（2）底面贴合连接方式为螺栓连接固定。
3.如权利要求1所述的可拆卸式化学气相沉积喷淋装置，其特征在于所述可拆顶板（8）与喷淋（2）底面贴合连接方式为使用气缸自动控制将顶板（8）与喷淋（2）压紧或松开。
4.如权利要求1所述的可拆卸式化学气相沉积喷淋装置，其特征在于所述可拆顶板（8）厚度为5-10mm。