一种可拆卸式化学气相沉积喷淋装置的制作方法

技术总结
本发明公开了一种可拆卸式化学气相沉积喷淋装置，主要由气体混合腔、喷淋板、喷淋管和可拆顶板组成，其特征在于在现有喷淋装置基础上加一层可拆卸顶板，该顶板具有单独水冷腔用于提供稳定的温度边界。本发明的优点是可拆顶板可以简化现有喷淋制造工艺，降低对原喷淋面的加工要求，并可以单独卸下清洗，对提高工艺质量具有积极影响。

技术研发人员：甘志银;沈桥
受保护的技术使用者：广东昭信半导体装备制造有限公司
技术研发日：2017.03.01
技术公布日：2018.09.14