技术特征：
技术总结
本发明公开了一种热丝组件，包括电极、热丝及承载所述热丝的两个热丝承载架，所述热丝承载架相互平行的装设于电极上，并可在所述电极上滑动而调节相对所述电极的位置，同时，所述热丝组件还包括两进气装置，每一进气装置分别对准一热丝承载架上的热丝，所述热丝将进气装置输出的气体迅速离化，使该气体被激发成沉积金刚石薄膜用的基团，最终沉积于待加工样品上形成金刚石薄膜。本发明还公开了一种金刚石薄膜沉积设备。本发明的热丝组件及金刚石薄膜沉积设备，解决传统金刚石薄膜沉积设备中热量分布不均、热丝变形、刀具基体冷却不均匀等导致加工不良的问题。
技术研发人员：唐永炳;谢友能;王陶
受保护的技术使用者：深圳先进技术研究院
技术研发日：2017.03.03
技术公布日：2018.09.14