技术总结
一种镁合金表面耐蚀涂层制备方法，包括以下步骤：（1）镁合金除氢；（2）ALD工作腔准备；（3）ALD制备耐蚀涂层；（4）ALD工作腔还原。采用原子层外延技术，利用制备过程的自限性（吸附自限性和反应自限性），在镁合金表面制备厚度均匀性好、组分控制精确、致密性好、与镁合金基体的结合性强的各类氧化物、氮化物、复合耐蚀涂层。制备中，能在任意形状表面制备涂层，且温度是唯一的工艺参数，易控制和工艺稳定性好。
技术研发人员：罗岚;刘勇;王雨;郭锐;丁岩
受保护的技术使用者：南昌大学
文档号码：201710164755
技术研发日：2017.03.20
技术公布日：2017.09.15