一种化学气相沉膜装置的制作方法

文档序号:11224490阅读:674来源:国知局
一种化学气相沉膜装置的制造方法
本发明涉及半导体光电材料
技术领域
,尤其涉及一种化学气相沉膜装置。
背景技术
:由于半导体工艺的发展,制备高质量的半导体薄膜工艺变得越来越重要,因此,化学气相沉膜装置在沉积半导体薄膜材料中得到了广泛的应用。其中,化学气相沉膜装置在进行t/c(transferchamber,传递腔体)保养维修后,需要对传递腔体进行氦气测漏检测,来确认是否可以进入复机程序。在氦气测漏检测的过程中,先将传递腔体抽到真空,再连接氦气测漏仪,从传递腔体外部使用氦气进行检测。另外,还可以使用设备工作站内的功能进行保压测漏ror(riseofrate),即,将传递腔体抽到真空后,关闭阀门,进行十分钟保压,若检测到传递腔体内部的压强小于1mtorr(毫托),则表示传递腔体无漏气,可以复机。因为传递腔体本身的容积较大,当需要进行测漏检测时,对传递腔体(t/c)进行抽真空需要耗时大约五十分钟,这将影响保养维修后复机的工作时间。因此,需要提供一种能够快速复机的化学气相沉膜装置。技术实现要素:本发明的主要目的是提供一种化学气相沉膜装置,旨在解决对承载腔体进行抽真空耗时较长而影响复机时间的问题。为实现上述目的,本发明提出的化学气相沉膜装置包括:制程腔体,所述制程腔体用于对基板进行化学气相沉膜;传递腔体,所述传递腔体用于将所述基板传入所述制程腔体内;承载腔体,所述承载腔体用于将所述基板传入所述传递腔体内;第一真空泵,所述第一真空泵用于对所述传递腔体进行抽真空;第二真空泵,所述第二真空泵用于对所述承载腔体进行抽真空;以及,连通管路,所述传递腔体与所述第二真空泵还通过所述连通管路连接。可选地,所述传递腔体与所述第一真空泵通过第一排气管路连接,且所述承载腔体与所述第二真空泵通过第二排气管路连接。可选地,所述第一排气管路的两端分别设置有第一伸缩管路,所述第二排气管路的两端分别设置有第二伸缩管路,所述传递腔体与所述第一真空泵分别通过所述第一伸缩管路与所述第一排气管路连接,所述承载腔体与所述第二真空泵分别通过所述第二伸缩管路与所述第二排气管路连接。可选地,所述第一排气管路的外径为12cm~18cm,所述第二排气管路的外径为8cm~12cm。可选地,所述连通管路的一端与所述第一排气管路连通且所述连通管路的另一端与所述第二排气管路连通。可选地,所述连通管路的外径为3cm~7cm。可选地,所述连通管路上设置有连通阀门。可选地,所述连通阀门为球阀、蝶阀或者闸阀。可选地,所述连通阀门为手动截止阀、电动截止阀或者液控截止阀。可选地,所述第二真空泵的数量为多个。本发明技术方案中,充分利用对承载腔体进行抽真空的第二真空泵,通过在传递腔体与第二真空泵之间增设连通管路进行连接,以使得第一真空泵与第二真空泵能够同时对传递腔体进行抽真空,可以加快对传递腔体进行抽真空的速度,因而,缩短了保养后进行抽真空的时间,以提早实现复机。并且,同时采用第一真空泵与第二真空泵对传递腔体进行抽真空,可以减少抽真空时间。附图说明为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。图1为本发明实施例的化学气相沉膜装置的结构模块图;图2本发明实施例的化学气相沉膜装置的部分结构的示意图。附图标号说明:标号名称标号名称101传递腔体102第一真空泵103承载腔体104第二真空泵105第一伸缩管路106第二伸缩管路107第一排气管路108第二排气管路109连通管路110连通阀门111第一阀门112第二阀门本发明目的的实现、功能特点及优点将结合实施例,参照附图做进一步说明。具体实施例下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明的一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。需要说明,本发明实施例中所有方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后……)仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等,如果该特定姿态发生改变时,则该方向性指示也相应地随之改变。另外,在本发明中如涉及“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此,限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本发明的描述中,“多个”的含义是至少两个,例如两个,三个等,除非另有明确具体的限定。在本发明中,除非另有明确的规定和限定,术语“连接”、“固定”等应做广义理解,例如,“固定”可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或成一体;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系,除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言,可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。另外,本发明各个实施例之间的技术方案可以相互结合,但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础,当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在,也不在本发明要求的保护范围之内。本发明提出一种化学气相沉膜装置,旨在解决对承载腔体进行抽真空耗时较长而影响复机时间的问题。请参照图1和图2,在本发明一种实施例中,化学气相沉膜装置包括用于对基板进行化学气相沉膜的制程腔体、用于将基板传入制程腔体内的传递腔体101、用于将物料传入传递腔体101内的承载腔体103、用于对传递腔体101进行抽真空的第一真空泵102以及用于对承载腔体103进行抽真空的第二真空泵104,传递腔体101与第二真空泵104还通过连通管路109连接。其中,承载腔体103是唯一需要进行大气与真空切换的腔体,在生产过程中承载腔体103位于传递腔体101的上游,是基板由大气进入到真空的传递腔体101内的暂放区间。并且,传递腔体101内设置有真空机械手臂(未图示),其用于将基板传送到制程腔体内。制程腔体是化学气相沉膜的执行机构,传送到制程腔体内的基板能够在制程腔体内进行化学气相沉膜而完成显示面板的绝缘层、半导体层以及保护层等的制程。其中,制程腔体设置有用于向制程腔体内供气的进气管和在沉膜工艺完成后将制程腔体内的气体排出的排气管,以使得化学气相沉膜所需要的气体能够供应到制程腔体内,从而使化学气相沉膜得以进行。此外,制程腔体上还设置有压力计和加热器等辅助元件,压力计能够对制程腔体内的压力进行监控,加热器能够使制程腔体内部快速达到反应温度,以保证化学气相沉膜的顺利进行。在该实施例中,充分利用对承载腔体103进行抽真空的第二真空泵104,通过在传递腔体101与第二真空泵104之间增设连通管路109进行连接,以使得第一真空泵102与第二真空泵104能够同时对传递腔体101进行抽真空,可以加快对传递腔体101进行抽真空的速度,因而,缩短了保养后进行抽真空的时间,以提早实现复机。在某些实施方式中,同时采用第一真空泵102与第二真空泵104对传递腔体101进行抽真空,可以减少大概十五分钟的抽真空时间。其中,在上述实施例中,传递腔体101与第一真空泵102可通过第一排气管路107连接,且承载腔体103与第二真空泵104可通过第二排气管路108连接,各个部件通过相应的管路进行稳定连接,以保证传递腔体101和承载腔体103的真空度,使得化学气相沉膜工艺能够顺利进行。然而,考虑各个部件在组装时会受到空间的限制,在可选的实施例中,使排气管路上设置有伸缩管路,从而能够根据待安装部件的位置调整伸缩管路的长度,克服空间限制的问题来完成组装。具体地,第一排气管路107的两端分别设置有第一伸缩管路105,第二排气管路108的两端分别设置有第二伸缩管路106,传递腔体101与第一真空泵102分别通过第一伸缩管路105与第一排气管路107连接,承载腔体103与第二真空泵104分别通过第二伸缩管路106与第二排气管路108连接。其中,第一伸缩管路105与第二伸缩管路106均可伸缩和弯曲,从而扩大传递腔体101与第一真空泵102之间连接以及承载腔体103与第二真空泵104之间连接的适应范围,以降低各部件组装时对空间的要求。其中,上述实施例中的第一伸缩管路105与第二伸缩管路106均可以为伸缩节,具体可为波纹伸缩节、套筒伸缩节或者方形自然补偿伸缩节等。此外,为了进一步提升对传递腔体101进行抽真空的速度,第二真空泵104的数量可以设置为多个,从而有多个第二真空泵104跟第一真空泵102一起工作,完成对传递腔体101的抽真空。具体的安装方式为,第二排气管路108的一端分支出多个分支管路,各个分支管路上均设置伸缩管路,以使得各个分支管路均能够通过伸缩管路与多个第二真空泵104一一对应地连接。在化学气相沉膜装置正常工作时,多个第二真空泵104相互配合,从而共同维持承载腔体103的真空状态,提升化学气相沉膜装置的可靠性,即使其中部分第二真空泵104因故障不能工作,也不会影响化学气相沉膜装置的工作进程。而在进行检修时,多个第二真空泵104又能够起到大幅度缩短传递腔体101的抽真空时间的作用,因而可以充分利用第二真空泵104的性能。作为一种可选实施例,第一排气管路107的外径可为12cm~18cm,第二排气管路108的外径可为8cm~12cm。在某些实施例中,第一排气管路107的外径可为6寸,即,15cm左右,第二排气管路108的外径可为4寸,即,10cm左右。与此同时,连通管路109的外径可以为3cm~7cm,并可选为2寸,即,5cm左右。如图1所示,连通管路109的一端与第一排气管路107连通且连通管路109的另一端与第二排气管路108连通,从而使得第一真空泵102与第二真空泵104能够同时对传递腔体101进行抽真空,可以加快对传递腔体101进行抽真空的速度。而为了适应化学气相沉膜装置的各个工艺过程,连通管路109上设置有连通阀门110。在需要第一真空泵102与第二真空泵104同时对传递腔体101进行抽真空时,打开连通阀门110,使第二真空泵104与传递腔体101之间形成连通的抽真空路径,帮助传递腔体101快速完成抽真空,从而使化学气相沉膜装置能够尽快复机并开始进行化学气相沉膜。当化学气相沉膜装置进行正常工作时,关闭连通阀门110,使得传递腔体101与承载腔体103分别执行各自的功能,而不会相互影响。其中,连通阀门110的形式可以有多种,只要能够使连通管路109实现连通与断开的功能即可。例如,根据结构来分,连通阀门110可以为球阀、蝶阀或者闸阀等,或者,根据控制方式来分,连通阀门110可以为手动截止阀、电动截止阀或者液控截止阀等,这些不同结构或者不同控制方式的连通阀门110均可以适应于本发明的技术方案,用户可以根据自己的实际情况选择合适的连通阀门110。此外,为了便于对第一排气管路107和第二排气管路108进行控制,第一排气管路107上设置有第一阀门111,而第二排气管路108上设置有第二阀门112,而第一阀门111和第二阀门112的结构或者控制方式可以与连通阀门110的结构或者控制方式相同或者不同。以上所述仅为本发明的可选实施例,并非因此限制本发明的专利范围,凡是在本发明的发明构思下,利用本发明说明书及附图内容所作的等效结构变换,或直接/间接运用在其他相关的
技术领域
均包括在本发明的专利保护范围内。当前第1页12
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