真空镀膜设备的检测系统的制作方法

本发明涉及真空镀膜设备的检测技术领域，尤其涉及一种真空镀膜设备的检测系统。

背景技术：

由于现代科技发展的要求，真空镀膜技术得到了飞速的发展。薄膜技术可以改变工件表面性能，提高工件耐磨损、抗氧化和耐腐蚀等性能，从而延长工件的使用寿命。薄膜技术也可以实现光学、电学、半导体薄膜器件的制备，具有很高的经济价值。

现有的真空镀膜设备按照其生产特点可以分为两大类，分别是流水线式真空镀膜设备和单体式真空镀膜设备。其中，流水线式设备因为其可以连续化生产，效率高，被广泛的使用。在不断地生产过程中，流水线式真空镀膜设备不可避免的会出现很多问题，有些问题在设备内部，无法被观测，通常需要将真空设备暴露在大气环境中，逐点检查，对于过大的设备，检测消耗的时间会更长，而对于真空设备来说，应尽量避免其内部在大气中所处的时间。

技术实现要素：

为了解决上述问题，本发明提出一种真空镀膜设备的检测系统，不需要将真空镀膜设备暴露在大气环境中，在真空环境中便可以对所述真空镀膜设备进行检测。

本发明提出的具体技术方案为：提供一种真空镀膜设备的检测系统，所述检测系统包括控制装置和检测装置，所述检测装置包括摄像头和驱动结构，所述摄像头与所述驱动结构连接，所述控制装置包括控制单元，所述摄像头用于对所述真空镀膜设备的内部进行拍摄，所述控制单元用于控制所述驱动结构驱动所述摄像头移动。

进一步地，所述检测装置还包括底座，所述驱动结构包括推进杆和推进电机，所述推进电机固定于所述底座上，所述推进杆一端与所述推进电机连接、一端与所述摄像头连接。

进一步地，所述驱动结构还包括设置于所述底座内的第一齿轮、第二齿轮和旋转电机，所述第一齿轮与所述推进电机连接，所述第二齿轮与所述旋转电机连接，所述第一齿轮与所述第二齿轮相互齿合。

进一步地，所述检测装置还包括设置于所述底座内的电池和电路板，所述电池与所述电路板连接，所述电路板分别与所述摄像头、所述推进电机、所述旋转电机连接。

进一步地，所述检测装置还包括分别与所述摄像头、所述驱动结构连接的第一收发器，所述检测装置通过所述第一收发器与所述控制装置进行通信。

进一步地，所述检测系统还包括设置于所述检测装置表面的保护膜，所述保护膜由绝热材料制成。

进一步地，所述检测装置还包括温度传感器，所述温度传感器与所述驱动结构连接。

进一步地，所述检测装置还包括设置于所述摄像头的镜头上的隔热结构。

进一步地，所述控制装置还包括显示屏，所述显示屏用于对所述摄像头拍摄的图像进行显示。

进一步地，所述控制装置还包括第二收发器，所述第二收发器分别与所述显示屏、所述控制单元连接，所述控制装置通过所述第二收发器与所述检测装置进行通信。

本发明提供的真空镀膜设备的检测系统，其包括控制装置和检测装置，所述检测装置包括摄像头和驱动结构，所述控制装置包括控制单元，所述控制单元可以控制所述驱动结构驱动所述摄像头移动，所述摄像头移动可以对所述真空镀膜设备的内部的各个细节进行拍摄，从而在真空环境中便可以实现对真空镀膜设备的内部进行检测，避免真空镀膜设备的内部暴露在大气环境中。

附图说明

通过结合附图进行的以下描述，本发明的实施例的上述和其它方面、特点和优点将变得更加清楚，附图中：

图1为真空镀膜设备的检测系统的检测装置的结构示意图；

图2为真空镀膜设备的检测系统的控制装置的结构示意图。

具体实施方式

以下，将参照附图来详细描述本发明的实施例。然而，可以以许多不同的形式来实施本发明，并且本发明不应该被解释为局限于这里阐述的具体实施例。相反，提供这些实施例是为了解释本发明的原理及其实际应用，从而使本领域的其他技术人员能够理解本发明的各种实施例和适合于特定预期应用的各种修改。

参照图1、图2，本实施例提供的真空镀膜设备的检测系统包括检测装置1和控制装置2。检测装置1包括摄像头12和驱动结构13，摄像头12与驱动结构13连接。控制装置2包括控制单元21，摄像头12用于对真空镀膜设备的内部进行拍摄，控制单元21用于控制驱动结构13驱动摄像头12移动。

检测装置1固定安装在一基架(图未标)上，在需要对真空镀膜设备的内部进行检测时，检测装置1随基架一起进入真空镀膜设备的内部，通过摄像头12对真空镀膜设备的内部进行拍摄，控制单元21用于控制驱动结构13驱动摄像头12的移动，以使得摄像头12能够对真空镀膜设备的内部的各个细节进行拍摄。

为了能够调节摄像头12的垂直高度，检测装置1还包括底座14，驱动结构13包括推进杆13a和推进电机13b。底座14固定于基架上，推进电机13b固定于底座14上，推进杆13a一端与推进电机13b连接、一端与摄像头12连接。控制单元21可以控制推进电机13b的转动方向，通过转动方向的改变来调节摄像头12的移动方向，例如，当推进电机13b顺时针转动时，推进杆13a带动摄像头12朝着远离推进电机13b的方向移动，当推进电机13b逆时针转动时，推进杆13a带动摄像头12朝着靠近推进电机13b的方向移动。通过推进电机13b便可以驱动摄像头12在垂直方向上移动。

驱动结构13还包括设置于底座14内的第一齿轮13c、第二齿轮13d和旋转电机13e。第一齿轮13c与推进电机13b连接，第二齿轮13d与旋转电机13e连接，第一齿轮13c与第二齿轮13d相互齿合。旋转电机13e带动第二齿轮13d转动，第二齿轮13d通过齿合的方式带动第一齿轮13c转动并带动推进电机13b一起转动，推进电机13b转动的同时带动推进杆13a和摄像头12一起转动，从而使得摄像头12能够在水平面内转动，以从不同角度对真空镀膜设备的内部的细节进行拍摄。优选的，第二齿轮13d的齿轮尺寸小于第一齿轮13c的齿轮尺寸，这样可以更精确的控制摄像头12的偏转角度。

检测装置1还包括设置于底座14内的电池15和电路板16，电池15与电路板16连接，电路板16分别与摄像头12、推进电机13b、旋转电机13e连接，电池15用于给推进电机13b和旋转电机13e供电。

检测装置1还包括分别与摄像头12、驱动结构13连接的第一收发器17，第一收发器17通过电路板16与摄像头12、驱动结构13连接。检测装置1通过第一收发器17与控制装置2进行通信。具体的，第一收发器17用于将摄像头12拍摄的图像信息发送给控制装置2，同时，第一收发器17用于接收控制单元21的控制信息并将控制信息发送给检测装置1，检测装置1再根据控制信息驱动推进电机13b和旋转电机13e的运动。

为了能够在高温环境中对真空镀膜设备进行检测，本实施例中的检测系统还包括设置于检测装置1表面的保护膜11，保护膜11是由绝热材料制成，保护膜11覆盖摄像头12、推进杆13a、推进电机13b、第一收发器17及底座14的表面，通过保护膜11可以很好的对检测装置1进行保护。检测装置1还包括温度传感器18，温度传感器18与驱动结构13连接。具体的，温度传感器18固定在推进杆13a装设有摄像头12的一端。这样，温度传感器18便可以和摄像头12一起移动，便于对真空镀膜设备内部的不同区域的温度进行检测，通过温度传感器18可以对真空镀膜设备的内部的温度进行监控，以防止温度过高对检测装置1造成损坏，这里，保护膜11也覆盖于温度传感器18的表面。本实施例中的保护膜11由多个分离的部分组成，多个分离的部分分别覆盖于检测装置1的不同的元件的表面即多个分离的部分分别覆盖于摄像头12、推进杆13a、推进电机13b、第一收发器17、底座14及温度传感器18的表面。

检测装置1还包括设置于摄像头12的镜头上的隔热结构19。隔热结构19包括多层间隔设置的石英片。通过隔热结构19可以防止摄像头12的镜头在高温环境下受到损坏。

底座14上开设有用于给电池15充电的接口14a，底座14上还设置有用于遮挡接口14a的隔热板14b，当需要充电时，打开隔热板14b电源线从接口14a中穿过并可以对电池15充电，当不需要充电时，隔热板14b遮挡接口14a，在检测装置1对真空镀膜设备的内部进行检测时，可以通过隔热板14b对底座14内的元件进行保护，防止这些元件在高温环境中受到损坏。

控制装置2还包括显示屏22，显示屏22包括图像显示窗口22a和温度显示窗口22b，图像显示窗口22a用于对摄像头12拍摄的图像进行显示，温度显示窗口22b用于对温度传感器18检测到的温度进行显示。

控制装置2还包括按键单元23，按键单元23位于显示屏22上，其与控制单元21连接，其中，按键单元23包括上移按钮23a、下移按钮23b、顺时针旋转按钮23c及逆时针旋转按钮23d。上移按钮23a用于控制摄像头12朝着远离推进电机13b的方向运动，下移按钮23b用于控制摄像头12朝着靠近推进电机13b的方向运动，顺时针旋转按钮23c和逆时针旋转按钮23d用于控制摄像头12在水平面内顺时针转动或逆时针转动。这里，按键单元23也可以是虚拟按键，例如，嵌入在显示屏22中的触控按钮，通过触摸按键单元23就可以控制摄像头12的移动。

控制装置2还包括第二收发器24，第二收发器24分别与显示屏22、控制单元21连接，控制装置2通过第二收发器24与检测装置1进行通信。具体的，第二收发器24用于接收第一收发器17的消息，包括摄像头12拍摄的图像信息及温度传感器18检测到的温度信息，同时，第二收发器24用于将控制单元21的控制信息发送给第一收发器17。本实施例中的第一收发器17和第二收发器24之间通过无线方式进行通信。

本实施例提供的检测系统能够在真空环境中对真空镀膜设备的内部进行检测，避免真空镀膜设备的内部暴露在大气环境中。此外，本实施例提供的检测系统还能够在高温环境中对真空镀膜设备的内部进行检测。

以上所述仅是本申请的具体实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本申请的保护范围。