一种坩埚装置及蒸镀设备的制作方法

本发明涉及蒸镀技术领域，尤其涉及一种坩埚装置及蒸镀设备。

背景技术：

amoled(activematrix/organiclightemittingdiode，即有源矩阵有机发光二极体管)相比传统的液晶面板，amoled具有反应速度较快、对比度更高、视角较广等特点，被称为下一代显示技术。作为amoled主要工艺，真空蒸镀是目前制备amoled的主要制备方式，真空蒸镀机利用热蒸发的方式使得有机发光材料沉积在基板上，形成均匀致密的薄膜。

目前的蒸镀设备主要采取将加热线缠绕在坩埚外侧，通过热传导加热坩埚内的有机材料。由于这种整体加热的方式极易产生材料受热不均导致喷溅的情况，由此对坩埚内材料的填充量会有特别要求。但是随着世代线的增大，工艺时间的延长，填料需求量也会相应增加，在坩埚变大的同时，整体升温所需的时间也需递加，而对高温敏感的有机材料，特别是对于一直处于坩埚底层的材料，会长时间暴露于高热环境中，因为热分解之类的原因而变性，同时也会造成有机材料加热效率变低。

技术实现要素：

本发明的目的在于提供一种坩埚装置及蒸镀设备，能够避免坩埚内材料受热不均，避免材料长时间加热而发生劣化现象，或者避免由于材料加热不均匀，导致材料消耗过程中出现蒸镀镀率波动的现象发生，同时能够达到加快降温速度的效果，进而减少设备空闲时间。

本发明所提供的技术方案如下：

一种坩埚装置，包括：

用于盛放蒸镀材料的坩埚本体，所述坩埚本体上设有开口；

设置于所述坩埚本体的开口所在一侧的加热单元；

以及，移动单元，所述移动单元与所述坩埚本体连接，用于驱动所述坩埚本体在靠近所述加热单元或远离所述加热单元的方向上移动。

进一步的，所述坩埚装置还包括：

用于检测所述坩埚本体内所盛放的蒸镀材料量的第一感应器；以及，第一控制机构，所述第一控制机构分别与所述第一感应器和所述移动单元连接，用于根据所述第一感应器所检测到的所述坩埚本体内所盛放的蒸镀材料量，控制所述移动单元的工作状态，其中所述移动单元的工作状态包括所述移动单元移动所述坩埚本体时的移动方向、移动距离及移动速率。

进一步的，所述第一感应器包括重量感应器，所述重量感应器设置在所述坩埚本体的底部，用于检测所述坩埚本体内所盛放的蒸镀材料的重量。

进一步的，所述坩埚装置还包括：

用于检测所述坩埚本体当前温度的温度感应器；

以及，第二控制机构，所述第二控制机构分别与所述温度感应器和所述移动单元连接，用于根据所述温度感应器所检测到的所述坩埚本体当前温度及预设温度调整梯度值，控制所述移动单元的工作状态，其中所述移动单元的工作状态包括所述移动单元移动所述坩埚本体时的移动方向、移动距离及移动速率。

进一步的，所述温度感应器设置在所述坩埚本体的开口处。

进一步的，所述第二控制机构还与所述加热单元连接，用于当所述加热单元关闭时，控制所述移动单元将所述坩埚本体移动至远离所述加热单元的最远位置点。

进一步的，所述第二控制机构还用于当所述预设温度调整梯度值为降温梯度值，且所述降温梯度值大于预定值时，控制所述移动单元将所述坩埚本体移动至远离所述加热单元的最远位置点。

进一步的，所述移动单元包括：

设置于所述坩埚本体的底部、用于支撑所述坩埚本体的伸缩杆；

以及，用于驱动所述伸缩杆伸缩的驱动马达。

进一步的，所述坩埚装置还包括：

罩设于所述坩埚本体外的坩埚罩，所述坩埚罩上设有与所述开口位置相对应的坩埚导向孔，所述加热单元位于所述坩埚罩内。

本发明还提供一种蒸镀设备，包括如上所述的坩埚装置。

本发明所带来的有益效果如下：

本发明所提供的坩埚装置及蒸镀设备，其加热单元设置在坩埚本体的开口所在一侧，且坩埚本体能够在靠近所述加热单元或远离所述加热单元的方向上移动，这样，在真空成膜时，可以根据坩埚内材料的重量以及工艺阶段，移动坩埚本体的位置，达到坩埚主体内材料均匀受热，避免在长时间的加热过程中，有机材料因为受热不均，令一些热敏感性高的有机材料发生劣化的现象，或者因为加热不均匀，导致有机材料消耗过程中，出现蒸镀镀率波动的现象发生，同时，能够达到加快降温速度的效果，进而减少设备空闲(idle)时间。

附图说明

图1表示本发明实施例中所提供的坩埚装置的结构示意图。

具体实施方式

为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例的附图，对本发明实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本发明的实施例，本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

针对现有技术中坩埚装置采用整体加热方式，容易导致坩埚内材料受热不均匀导致喷溅的情况，且对于坩埚底部的材料受热时间长会导致发生劣化等问题，本发明提供了一种坩埚装置及蒸镀设备，能够避免坩埚内材料受热不均，避免材料长时间加热而发生劣化现象，并且，可以避免由于材料加热不均匀，导致材料消耗过程中出现蒸镀镀率波动的现象发生，同时能够达到加快降温速度的效果，进而减少设备空闲时间。

如图1所示，本发明实施例所提供的坩埚装置包括：

用于盛放蒸镀材料的坩埚本体100，所述坩埚本体100上设有开口；

设置于所述坩埚本体100的开口所在一侧的加热单元200；

以及，移动单元110，所述移动单元110与所述坩埚本体100连接，用于驱动所述坩埚本体100在靠近所述加热单元200或远离所述加热单元200的方向上移动。

本发明所提供的坩埚装置，其将所述加热单元200设置在所述坩埚本体100的开口所在一侧，所述坩埚本体100能够在靠近所述加热单元200或远离所述加热单元200的方向上往复移动，这样，在进行蒸镀时，可以根据坩埚内蒸镀材料的重量以及不同工艺阶段所需要的蒸镀镀率等，移动所述坩埚本体100的位置，能够提高材料升温时间或者加快材料降温时间。

其中，在蒸镀过程中，在加热升温模式下，可以根据蒸镀材料量以及工艺阶段的蒸镀镀率等要求，控制所述坩埚本体100以预定移动速度向靠近所述加热单元200的方向移动，由于所述加热单元200设置在所述坩埚本体100的开口所在一侧，所述坩埚本体100内靠近开口处的蒸镀材料会被加热单元200均匀地加热升温；而随着蒸镀材料的消耗，所述坩埚本体100继续向靠近所述加热单元200的方向逐渐移动，则可使得所述坩埚本体100内的蒸镀材料逐渐被加热升温，控制所述坩埚本体100的移动速度，则可实现提高材料加热效率，并按照预定蒸镀镀率进行蒸镀的目的；而所述坩埚本体100底部的蒸镀材料则由于远离所述加热单元200，避免了在整个蒸镀过程中被长时间持续加热，从而避免了蒸镀材料因为受热不均，令一些热敏感性高的有机材料发生劣化的现象，同时也避免了因为蒸镀材料加热不均匀，导致蒸镀材料消耗过程中出现蒸镀镀率波动的现象发生。

此外，在蒸镀过程中，有些时候需要调整蒸镀镀率，因此需要进行降温模式，在现有技术中的坩埚装置中，在降温模式下，采用的降温方法是一次性关闭加热源，这样会导致蒸镀镀率瞬间变化，后续需要更多时间进行稳定；而现有技术中也有采用缓慢降温方式来进行降温，其是通过调节加热源的加热功率来实现，但是这样仍面临调整蒸镀镀率时间太长的问题。

本发明所提供的坩埚装置，由于所述坩埚本体100可以在靠近或远离所述加热单元200的方向上移动，在降温模式下，可以无需关闭加热源，而是通过向远离所述加热单元200的方向、安装一定的速率来移动所述坩埚本体100，即可以立即进行降温，最终达到加快降温速度的效果，进而减少设备空闲(idle)时间。

以下说明本发明所提供的坩埚装置的优选实施例。

如图1所示，在本发明所提供的优选实施例中，所述坩埚装置还包括：

罩设于所述坩埚本体100外的坩埚罩300，所述坩埚罩300上设有与所述开口位置相对应的坩埚导向孔301，所述加热单元200位于所述坩埚罩300内。

采用上述方案，所述坩埚本体100内的蒸镀材料被加热单元200加热之后，蒸发而从所述坩埚罩300上的坩埚导向孔301内沉积于基板上。

如图1所示，在本发明所提供的优选实施例中，所述坩埚装置还包括：

用于检测所述坩埚本体100内所盛放的蒸镀材料量的第一感应器400；

以及，第一控制机构，所述第一控制机构分别与所述第一感应器400和所述移动单元110连接，用于根据所述第一感应器400所检测到的所述坩埚本体100内所盛放的蒸镀材料量，控制所述移动单元110的工作状态，其中所述移动单元110的工作状态包括所述移动单元110移动所述坩埚本体100时的移动方向、移动距离及移动速率。

优选的，所述第一感应器400包括重量感应器，所述重量感应器设置在所述坩埚本体100的底部，用于检测所述坩埚本体100内所盛放的蒸镀材料的重量。

采用上述方案，通过将所述坩埚本体100内的蒸镀材料质量转换成电信号，来控制所述坩埚本体100移动。具体地，在进行蒸镀时，所述坩埚本体100内加入蒸镀材料后，位于所述坩埚本体100底部的重量感应器能够感应所述坩埚本体100内的蒸镀材料的重量，并将感应到的信号发送给所述第一控制机构，在升温模式下，所述第一控制机构控制所述移动单元110向靠近所述加热单元200的方向移动所述坩埚本体100，且所述第一控制机构根据所述重量传感器所感应的蒸镀材料的重量以及工艺阶段所需的蒸镀镀率等，控制所述坩埚本体100的移动距离和移动速率，减少蒸镀材料在高温中暴露的时间，还可以持续保持蒸镀所需要的蒸镀镀率。

需要说明的是，在本实施例中是通过重量感应器来感应所述坩埚本体100内的蒸镀材料重量，来控制所述坩埚本体100的移动，在本发明的其他实施例中，所述第一感应器400还可以是采用其他感应器，来获取所述坩埚本体100内的蒸镀材料量。

此外，在本发明所提供的优选实施例中，如图1所示，所述坩埚装置还包括：

用于检测所述坩埚本体100当前温度的温度感应器500；

以及，第二控制机构，所述第二控制机构分别与所述温度感应器500和所述移动单元110连接，用于根据所述温度感应器500所检测到的所述坩埚本体100当前温度及预设温度调整梯度值，控制所述移动单元110的工作状态，其中所述移动单元110的工作状态包括所述移动单元110移动所述坩埚本体100时的移动方向、移动距离及移动速率。

优选的，所述温度感应器500设置在所述坩埚本体100的开口处。

采用上述方案，在所述坩埚本体100的开口处设置所述温度感应器500，可以用来感应坩埚本体100开口处的蒸镀温度，在降温模式下，可以通过该温度感应器500感应到的温度信号以及当前工艺阶段所需要调整的降温梯度(即预设温度调整梯度值)，来控制所述移动单元110移动所述坩埚本体100，实现加快降温时间的目的。

在本发明所提供的优选实施例中，如图1所示，所述第二控制机构还与所述加热单元200连接，用于当所述加热单元200关闭时，控制所述移动单元110将所述坩埚本体100移动至远离所述加热单元200的最远位置点。

采用上述方案，当关闭所述加热单元200时，所述移动单元110会驱动所述坩埚本体100回到最低位置(即，远离所述加热单元200的最远位置点)。

此外，在本发明所提供的优选实施例中，所述第二控制机构还用于当所述预设温度调整梯度值为降温梯度值，且所述降温梯度值大于预定值时，控制所述移动单元110将所述坩埚本体100移动至远离所述加热单元200的最远位置点。

采用上述方案，在降温模式下，当温度变化过大(预设温度调整梯度值大于预设值)时，可以通过温度感应器500的感应信号控制移动单元110，立即移动所述坩埚本体100的位置至最低位置(即，远离所述加热单元200的最远位置点)，进而增加降温速度，缩短降温时间，相对的也减少了不必要的蒸镀材料损耗。

此外，在本发明所提供的实施例中，优选的，所述移动单元110包括：

设置于所述坩埚本体100的底部、用于支撑所述坩埚本体100的伸缩杆；

以及，用于驱动所述伸缩杆伸缩的驱动马达。

当然可以理解的是，对于所述移动单元110的具体结构并不进行限定，可以有多种实现方式。

此外，本发明实施例中还提供一种蒸镀设备，包括本发明实施例中所提供的坩埚装置。

以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明技术原理的前提下，还可以做出若干改进和替换，这些改进和替换也应视为本发明的保护范围。