一种热蒸发镀膜机的制作方法

文档序号:12920251阅读:595来源:国知局
一种热蒸发镀膜机的制作方法与工艺

本实用新型涉及一种镀膜机,尤其涉及一种热蒸发镀膜机。



背景技术:

蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来并且沉降在基片表面,通过成膜过程(散点-岛状结构-迷走结构-层状生长)形成薄膜。目前,热蒸发镀膜机普遍使用的工件架系统从外形结构来说分为几大类,伞形(多片式、整体式)、行星式(平面行星式、伞形行星)、平板式(水平、斜面)等,该类工件架系统一般只适用于基片单面镀膜,用于基片两面镀膜的翻转系统结构稳定性差。



技术实现要素:

为解决现有的热蒸发镀膜机中用于基片两面镀膜的翻转系统稳定性较差的缺陷,本实用新型特提供一种新型的热蒸发镀膜机。

本实用新型的技术方案如下:

一种热蒸发镀膜机,包括机架,机架内设置有真空室,真空室上罩设有钟罩,真空室的上方转动设置有转台,转台的台边均匀设置有多个基片架,所述机架上设置有翻转基片架的拨动装置,基片架上还设置有限制基片架翻转的限位装置。将待镀膜的基片卡设在基片架上,真空室内被加热的靶材蒸发后沉降在基片表面,待基片的第一面镀膜完成后,启动拨动装置,在拨动装置的作用下基片架开始翻转,待翻转到合适位置时,限位装置将对翻转基片架进行限位,提高了翻转系统的结构稳定性。与此同时,采用拨动装置使得基片架的翻转更为灵活可靠。

为更好地实现本实用新型,所述基片架包括固定在转台上的支板,支板的背面设置有可转动的星轮,星轮上连接有星轮轴,星轮轴穿过支板的一端连接有夹架,所述拨动装置作用在星轮上。在本方案中,拨动装置拨动星轮时,夹架将带动夹设在其上的基片翻转,操作简单方便。

作为本实用新型的优选,所述拨动装置包括气缸以及与气缸活塞杆连接的拨杆,气缸固定在机架上,所述拨杆作用在星轮下端相邻的两个轮齿间。在转台旋转开始基片第一面镀膜时,拨杆处于收回状态,不会导致基片架翻转。在第一面镀膜完成后,启动气缸,气缸将启动拨杆使之伸长作用在星轮的相邻两个轮齿间。星轮在转台的带动下将往前移动,由于拨杆的位置固定,星轮将实现翻转。星轮为90°四等分,每次翻转角度为90°,两次翻转即可实现第二面即背面的镀膜。

进一步地,所述限位装置包括铰接在支板上的转轴,转轴上铰接有限位块,限位块作用在星轮上端相邻的两个轮齿间,所述支板上还设置有弹簧,弹簧的一端与限位块连接。在星轮翻转时,限位块将被弹开,此时弹簧处于拉伸状态,待星轮翻转完后,弹簧将把限位块拉回星轮的上端相邻两个齿轮间,对星轮的位置进行固定,避免在镀膜时星轮发生翻转影响镀膜效果。

为更好地实现本实用新型,所述机架上设置有支撑转台旋转的支撑装置,转台的下端设置有齿圈,机架的侧壁上设置有电机以及与电机连接的皮带轮A,机架上设置有转杆,转杆的下端设置有皮带轮B,皮带轮B与皮带轮A通过皮带传送,转杆的上端设置有与齿圈相啮合的齿轮。本方案与原有翻转系统相比,驱动方式从箱式镀膜机顶部中心驱动改为镀膜机底部侧面传动,结构紧凑,对于贵金属的热蒸发镀膜较为经济、节约。

进一步地,所述支撑装置包括支撑座,支撑座的侧壁上开设有通孔A,通孔A内设置有轴承A,轴承A中装配有转杆A,转杆A的前端连接有滚轮A,滚轮A位于转台的下端。在本方案中,设置在转台下端面的滚轮A用于支承转台的旋转。

作为本实用新型的优选结构,所述机架上设置有底座,底座上开设有通孔B,通孔B内设置有轴承B,轴承B中转配有连杆B,连杆B的上端连接有与转台侧壁接触的滚轮B。在本方案中,滚轮B的设置用于在水平方向限制转台的转动范围,以保证转台的转动中心与真空室的室体中心跳动误差≤2mm。

综上所述,本实用新型的有益效果是:

1、将待镀膜的基片卡设在基片架上,真空室内被加热的靶材蒸发后沉降在基片表面,待基片的第一面镀膜完成后,启动拨动装置,在拨动装置的作用下基片架开始翻转,待翻转到合适位置时,限位装置将对翻转基片架进行限位,提高了翻转系统的结构稳定性。与此同时,采用拨动装置使得基片架的翻转更为灵活可靠。

2、在本方案中,拨动装置拨动星轮时,夹架将带动夹设在其上的基片翻转,操作简单方便。

3、在转台旋转开始基片第一面镀膜时,拨杆处于收回状态,不会导致基片架翻转。在第一面镀膜完成后,启动气缸,气缸将启动拨杆使之伸长作用在星轮的相邻两个轮齿间。星轮在转台的带动下将往前移动,由于拨杆的位置固定,星轮将实现翻转。星轮为90°四等分,每次翻转角度为90°,两次翻转即可实现第二面即背面的镀膜。

4、在星轮翻转时,限位块将被弹开,此时弹簧处于拉伸状态,待星轮翻转完后,弹簧将把限位块拉回星轮的上端相邻两个齿轮间,对星轮的位置进行固定,避免在镀膜时星轮发生翻转影响镀膜效果。

5、本方案与原有翻转系统相比,驱动方式从箱式镀膜机顶部中心驱动改为镀膜机底部侧面传动,结构紧凑,对于贵金属的热蒸发镀膜较为经济、节约。

6、在本方案中,设置在转台下端面的滚轮A用于支承转台的旋转。

7、在本方案中,滚轮B的设置用于在水平方向限制转台的转动范围,以保证转台的转动中心与真空室的室体中心跳动误差≤2mm。

附图说明

图1为一种热蒸发镀膜机的结构示意图;

图2为镀膜机的剖视图;

图3为星轮翻转前的结构示意图;

图4为星轮翻转后的结构示意图;

图5为支撑装置的结构示意图;

图6为底座、滚轮B的结构示意图;

其中附图标记所对应的零部件名称如下:1-机架,2-真空室,3-钟罩,4-转台,5-基片架,6-拨动装置,7-支板,8-星轮,9-星轮轴,10-夹架,11-气缸,12-拨杆,13-转轴,14-限位块,15-弹簧,16-支撑装置,17-齿圈,18-电机,19-皮带轮A,20-转杆,21-皮带轮B,22-齿轮,23-支撑座,24-滚轮A,25-底座,26-连杆B,27-滚轮B。

具体实施方式

为更好地实现本实用新型,下面结合附图及具体实施例对本实用新型做进一步详细地说明,但本实用新型的实施方式并不限于此。

如图1、图2、图3、图4、图5、图6所示,一种热蒸发镀膜机,包括机架1,机架1内设置有真空室2,真空室2上罩设有钟罩3,真空室2的上方转动设置有转台4,转台4的台边均匀设置有多个基片架5,所述机架1上设置有翻转基片架5的拨动装置6,基片架5上还设置有限制基片架5翻转的限位装置。将待镀膜的基片卡设在基片架5上,真空室2内被加热的靶材蒸发后沉降在基片表面,待基片的第一面镀膜完成后,启动拨动装置6,在拨动装置6的作用下基片架5开始翻转,待翻转到合适位置时,限位装置将对翻转基片架5进行限位,提高了翻转系统的结构稳定性。与此同时,采用拨动装置6使得基片架5的翻转更为灵活可靠。

为更好地实现本实用新型,所述基片架5包括固定在转台4上的支板7,支板7的背面设置有可转动的星轮8,星轮8上连接有星轮轴9,星轮轴9穿过支板7的一端连接有夹架10,所述拨动装置6作用在星轮8上。在本实施例中,拨动装置6拨动星轮8时,夹架10将带动夹设在其上的基片翻转,操作简单方便。

作为本实用新型的优选,所述拨动装置6包括气缸11以及与气缸11活塞杆连接的拨杆12,气缸11固定在机架1上,所述拨杆12作用在星轮8下端相邻的两个轮齿间。在转台4旋转开始基片第一面镀膜时,拨杆12处于收回状态,不会导致基片架5翻转。在第一面镀膜完成后,启动气缸11,气缸11将启动拨杆12使之伸长作用在星轮8的相邻两个轮齿间。星轮8在转台4的带动下将往前移动,由于拨杆12的位置固定,星轮8将实现翻转。星轮8为90°四等分,每次翻转角度为90°,两次翻转即可实现第二面即背面的镀膜。

进一步地,所述限位装置包括铰接在支板7上的转轴13,转轴13上铰接有限位块14,限位块14作用在星轮8上端相邻的两个轮齿间,所述支板7上还设置有弹簧15,弹簧15的一端与限位块14连接。在星轮8翻转时,限位块14将被弹开,此时弹簧15处于拉伸状态,待星轮8翻转完后,弹簧15将把限位块14拉回星轮8的上端相邻两个齿轮间,对星轮8的位置进行固定,避免在镀膜时星轮8发生翻转影响镀膜效果。

为更好地实现本实用新型,所述机架1上设置有支撑转台4旋转的支撑装置16,转台4的下端设置有齿圈17,机架1的侧壁上设置有电机18以及与电机18连接的皮带轮A19,机架1上设置有转杆20,转杆20的下端设置有皮带轮B21,皮带轮B21与皮带轮A19通过皮带传送,转杆20的上端设置有与齿圈17相啮合的齿轮22。本实施例与原有翻转系统相比,驱动方式从箱式镀膜机顶部中心驱动改为镀膜机底部侧面传动,结构紧凑,对于贵金属的热蒸发镀膜较为经济、节约。

进一步地,所述支撑装置16包括支撑座23,支撑座23的侧壁上开设有通孔A,通孔A内设置有轴承A,轴承A中装配有转杆A,转杆A的前端连接有滚轮A24,滚轮A24位于转台4的下端。在本实施例中,设置在转台4下端面的滚轮A24用于支承转台4的旋转。

为更好地实现本实用新型,所述机架1上设置有底座25,底座25上开设有通孔B,通孔B内设置有轴承B,轴承B中转配有连杆B26,连杆B26的上端连接有与转台4侧壁接触的滚轮B27。在本实施例中,滚轮B27的设置用于在水平方向限制转台4的转动范围,以保证转台4的转动中心与真空室2的室体中心跳动误差≤2mm。

实施例1

一种热蒸发镀膜机,包括机架1,机架1内设置有真空室2,真空室2上罩设有钟罩3,真空室2的上方转动设置有转台4,转台4的台边均匀设置有多个基片架5,所述机架1上设置有翻转基片架5的拨动装置6,基片架5上还设置有限制基片架5翻转的限位装置。

实施例2

本实施例在实施例1的基础上,所述基片架5包括固定在转台4上的支板7,支板7的背面设置有可转动的星轮8,星轮8上连接有星轮轴9,星轮轴9穿过支板7的一端连接有夹架10,所述拨动装置6作用在星轮8上。

实施例3

本实施例在实施例2的基础上,所述拨动装置6包括气缸11以及与气缸11活塞杆连接的拨杆12,气缸11固定在机架1上,所述拨杆12作用在星轮8下端相邻的两个轮齿间。

实施例4

本实施例在实施例2或实施例3的基础上,所述限位装置包括铰接在支板7上的转轴13,转轴13上铰接有限位块14,限位块14作用在星轮8上端相邻的两个轮齿间,所述支板7上还设置有弹簧15,弹簧15的一端与限位块14连接。

实施例5

本实施例在实施例1至实施例4中任意一项的基础上,所述机架1上设置有支撑转台4旋转的支撑装置16,转台4的下端设置有齿圈17,机架1的侧壁上设置有电机18以及与电机18连接的皮带轮A19,机架1上设置有转杆20,转杆20的下端设置有皮带轮B21,皮带轮B21与皮带轮A19通过皮带传送,转杆20的上端设置有与齿圈17相啮合的齿轮22。

实施例6

本实施例在实施例1至实施例5中任意一项的基础上,所述支撑装置16包括支撑座23,支撑座23的侧壁上开设有通孔A,通孔A内设置有轴承A,轴承A中装配有转杆A,转杆A的前端连接有滚轮A24,滚轮A24位于转台4的下端。

实施例7

本实施例在实施例1至实施例6中任意一项的基础上,所述机架1上设置有底座25,底座25上开设有通孔B,通孔B内设置有轴承B,轴承B中转配有连杆B26,连杆B26的上端连接有与转台4侧壁接触的滚轮B27。

如上所述,可较好地实现本实用新型。

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