本实用新型涉及镀膜设备技术领域，具体涉及一种内壁镀膜介电管的真空镀膜设备。
背景技术：
当前使用的臭氧发生器所用的管状介电管，由于其内壁附着的导电层存在与电介质附着不紧密、离隙、电荷分布不均匀、电介质与导电层间部分被空气介质绝缘、电密度低、电阻大、易发热、噪音大、易产生火花放电，容易产生热击穿和电击穿，致使出现介电管运行寿命短、臭氧内耗大、介电管不可能重复利用、运行和维护费高等严重缺陷。在以空气为气源制取臭氧化空气的情况下由于火花放电产生的高温极易生成氮氧化物，形成污染的副产物。
由此，需要一种内壁镀膜介电管的真空镀膜设备来改善臭氧发生装置中介电管的性能，使介电管内壁镀上一层导电层。
在公开号CN2729090的专利文件中，公开了一种内壁镀膜介电管的真空镀膜设备，其包括一真空镀膜台，其台面下为设备层部分，其台面以上为介电管的内壁镀膜部件，该介电管内壁镀膜部件包括：固设在真空镀膜台台面上的真空镀膜座；直接以电插座方式固定插接在真空镀膜座上的真空镀膜杆；以及由介电管构成的真空室。本实用新型内壁真空镀膜设备在传统设备的基础上，增设了真空镀膜座、真空镀膜杆和利用介电管本身构成的真空室，从而实现了对介电管内壁进行镀膜的目的；这样便无需大型昂贵的真空镀膜设备，而且最大限度地缩小真空镀膜室体积，并能够大幅度降低获取高真空度的能耗；但该实用新型中的镀膜杆稳定性不足，镀膜杆的加热过程无法监测，安全性不足。
技术实现要素：
针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种内壁镀膜介电管的真空镀膜设备，能稳定有效地对介电管内壁镀膜，实时监测镀膜加热过程，增加了安全性。
为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种内壁镀膜介电管的真空镀膜设备，包括壳体，壳体内设有支撑台，支撑台上方设有真空室、油扩散泵、前级真空泵和预抽真空泵，真空室中间设有镀膜杆，真空室底端设有承载台，镀膜杆插在承载台上；油扩散泵、前级真空泵和预抽真空泵对应连接配合用于抽离真空室内的气体；支撑台下方设有配电装置，配电装置通过一控制器与承载台电性连接，控制器还与一微处理器连接，微处理器分别与一用于检测真空室内温度的温度传感器、一用于检测真空室内真空度的真空度检测仪和一显示器电性连接。
优选地，温度传感器的探头对准承载台。
优选地，真空度检测仪位于真空室的侧面。
优选地，真空室顶端设有密封盖。
优选地，密封盖底部设有卡块，卡块卡嵌在镀膜杆顶端。
本实用新型提供了一种内壁镀膜介电管的真空镀膜设备，介电管套在真空室内的镀膜杆上，通过油扩散泵、前级真空泵和预抽真空泵之间的配合能有效地保证真空室内的真空状态；通过微处理器能有效地对配电装置进行控制；真空度检测仪能有效地检测真空室内的真空度；温度传感器能有效地检测真空室内温度，尤其是承载台处的温度，能实时监控镀膜杆的加热状态；显示器能显示真空度和温度的测量数据；密封盖上设有卡块，能有效地固定镀膜杆。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
实施例：
如图1所示，本实施例的一种内壁镀膜介电管的真空镀膜设备，包括壳体1，壳体1内设有支撑台2，支撑台2上方设有真空室3、油扩散泵6、前级真空泵7和预抽真空泵8，真空室3中间设有镀膜杆4，真空室3底端设有承载台5，镀膜杆4插在承载台5上；油扩散泵6、前级真空泵7和预抽真空泵8对应连接配合用于抽离真空室3内的气体；支撑台2下方设有配电装置10，配电装置10通过一控制器11与承载台5电性连接，控制器11还与一微处理器12连接，微处理器12分别与一用于检测真空室内温度的温度传感器13、一用于检测真空室内真空度的真空度检测仪14和一显示器15电性连接。
本实施例中，温度传感器13的探头对准承载台5。真空度检测仪14位于真空室3的侧面。真空室3顶端设有密封盖9。密封盖9底部设有卡块91，卡块91卡嵌在镀膜杆4顶端。
本实施例中，温度传感器13通过信号调理电路与微处理器12连接。
本实施例中，在进行镀膜操作前，打开密封盖9，将介电管套在镀膜杆4上，接着接通油扩散泵6的油加热电源和冷却水，启动前级真空泵7，使高真空系统进入运行制备阶段，与此同时，启动真空系统的预抽真空泵8，使其可立即投入预抽真空状态；接着加热镀膜杆4，使其在真空状态下快速彻底清除介电管内壁的残余水汽和镀膜杆4和镀膜料上所附着的气体，同时使镀膜料呈半熔化状态，当通过真空度检测仪14检测达到预设镀膜控制要求后，即可开始镀膜。
经真空度检测仪14检测达到预设镀膜控制要求后，在热状态下突然加大电压和电流到最佳设定值，以升华态瞬间镀膜，适时切断镀膜电源。至此，在介电管内壁就形成紧密附着的导电层。
以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神和范围。