应用于蒸镀镀金工艺的坩埚的制作方法

文档序号:14384856阅读:1634来源:国知局
应用于蒸镀镀金工艺的坩埚的制作方法

本实用新型涉及一种LED蒸镀设备镀金工艺技术领域,更具体地说,它涉及一种应用于蒸镀镀金工艺的坩埚。



背景技术:

蒸镀是LED加工过程中的一个重要环节,即在真空腔体内加热有机小分子材料,使其升华或者熔融气化成材料蒸汽,透过金属光罩的开孔沉积在基板上。在传统的LED蒸镀镀金工艺中,镀金的坩埚直接放在水冷底座的上方,这样的方式,具有以下缺点:

1、坩埚直接与底座接触,底座内有冷却水装置,受水冷影响,电子枪加热过程需要更高的能量;

2、蒸镀过程,坩埚外壁温度低,坩埚内的黄金在溶化过程,电子枪打坩埚中心位置,黄金在靠近坩埚壁的温度比中心位置的温度低,不容易溶化,坩埚内的黄金在蒸镀过程中心位置容易耗尽,容易出现凹坑的情况;

3、黄金在蒸镀过程受凹坑的影响,工艺过程镀金的速率不稳定,电子枪功率波动大。



技术实现要素:

针对现有技术存在的不足,本实用新型的目的在于提供一种应用于蒸镀镀金工艺的坩埚,能够较少地受冷却水的影响。

为实现上述目的,本实用新型提供了如下技术方案:

一种应用于蒸镀镀金工艺的坩埚;包括坩埚本体,所述坩埚本体的底部可拆卸连接有石墨垫片,所述石墨垫片呈环形;所述石墨垫片的内径为20mm,外径为37mm。

优选地,所述坩埚本体的底部设置有嵌槽,所述石墨垫片的顶部设置有与嵌槽适配的顶块;所述坩埚本体上设置有用于将所述顶块锁定于嵌槽内的锁定组件。

优选地,所述锁定组件包括套环、锁杆和弹簧;所述套环螺纹连接于坩埚本体的底部;所述嵌槽的侧壁与坩埚本体的外侧壁之间贯穿设置有通槽,所述锁杆活动设置于所述通槽内;所述通槽的内壁上具有第一限位座,所述锁杆的杆体上设置有第二限位座,所述弹簧套设于锁杆位于第一限位座与第二限位座之间的杆体上;所述锁杆的另一端伸出通槽;所述套环的内侧设置有倾斜面,所述倾斜面朝向坩埚本体的外侧倾斜;所述顶块的侧壁上设置有锁孔。

优选地,所述锁杆伸出通槽的一端呈半球形设置。

与现有技术相比,本实用新型的优点是:

1、在增加了石墨垫片后,隔绝了Au坩埚与冷却水直接接触,石墨片具有耐高温、导热性的特点,这样可使Au坩埚表面均匀加热,不会出现坩埚中央凹槽的情况;

2、有垫石墨片的炉次与不垫石墨片的炉次对比,镀金速率(简称:镀率)更稳定;

3、有垫石墨片的炉次与炉次对比,功率差异较大,但有垫石墨片的炉次的功率稳定性更佳,且功率在15%左右,功率更低;

4、电压的功率降低,有助于电子枪灯丝的保护,同时将低电子枪灯丝的损耗,同时降低电能的消耗,节约了生产成本。

附图说明

图1为实施例中坩埚的结构示意图;

图2为图1中A部的放大图;

图3、图4为实施中的实验数据图。

附图标记:1、坩埚本体;2、石墨垫片;21、顶块;211、锁孔;3、套环;31、倾斜面;4、锁杆;41、第二限位座;5、弹簧;6、通槽;61、第一限位座。

具体实施方式

下面结合实施例及附图,对本实用新型作进一步的详细说明,但本实用新型的实施方式不仅限于此。

参照图1,本实施例提供一种应用于蒸镀镀金工艺的坩埚,其包括坩埚本体1,坩埚本体1的底部可拆卸连接有石墨垫片2,该石墨垫片2呈环形,在具体实施时,该石墨垫片2的内径为20mm,外径为37mm。

下面,介绍石墨垫片2与坩埚本体1的具体连接结构:

参照图2,该坩埚本体1的底部设置有嵌槽,石墨垫片2的顶部设置有与嵌槽适配的顶块21;坩埚本体1上设置有用于将顶块21锁定于嵌槽内的锁定组件。本实施例中,该锁定组件包括套环3、锁杆4和弹簧5;套环3螺纹连接于坩埚本体1的底部;嵌槽的侧壁与坩埚本体1的外侧壁之间贯穿设置有通槽6,锁杆4活动设置于通槽6内;通槽6的内壁上具有第一限位座61,锁杆4的杆体上设置有第二限位座41,弹簧5套设于锁杆4位于第一限位座61与第二限位座41之间的杆体上;锁杆4的另一端伸出通槽6,并呈半球形设置;套环3的内侧设置有倾斜面31,倾斜面31朝向坩埚本体1的外侧倾斜。

因此,石墨垫片2的安装过程是:先将弹簧5套在锁杆4上,然后将两者同时插入到通槽6内;再将套环3旋入到坩埚本体1的底部,并保证倾侧面不会将锁杆4的另一端顶出通槽6;然后再将石墨垫片2上的顶块21嵌入到该嵌槽内并保持;最后旋转套环3,使其向下运动,在这个过程中,倾斜面31逐渐地将锁杆4向通槽6的另一端推动,直到进入到锁孔211内。

参照图3、图4,本实施例还给出了相应的实验数据图,其中,图3为有垫石墨片的炉次(0919/0925)与无石墨垫片的炉次(0904)对比,镀率更稳定。图4为有垫石墨片的炉次(0919/0925)与无石墨垫片的炉次(0828/0904)对比,功率差异较大,但有垫石墨片的炉次的功率稳定性更佳,且功率在15%左右,功率更低。

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