一种PECVD炉的制作方法

本实用新型涉及太阳能电池片生产领域，尤其涉及一种PECVD炉。

背景技术：

随着多晶硅太阳能电池片生产技术的日渐成熟，行业对生产电池片的设备精度要求越来越高。太阳能硅片在加工的过程中需要用到PECVD设备。PECVD设备是通过一个密闭的管子来实现工艺生产，主要组成部分是一根两头通透的石英管，外加两套法兰及炉门将其合并起来，组成一个密封体，然后用真空泵将其内部抽成真空状态，往管子内部通入氨气、硅烷等特殊气体进行反应。其中，温度、密封性能对产品的质量有重大影响，目前的设备在靠近管口的位置的温度往往比管内其他地方的温度略低，这会降低产品质量；另外，目前的设备的密封性能不够好，容易造成漏气现象，而且其密封与解密封的过程繁杂，降低加工效率。

技术实现要素：

本实用新型为解决现有的技术缺陷，提供了一种PECVD炉，其能提高管内温度均匀性，简化密封与解密封的过程，提高密封性能，提高加工效率。其具体的技术方案如下：

本实用新型公开一种PECVD炉，包括有炉体、密封盖、密封塞，炉体呈管状，炉体上设有第一气压管，密封塞与炉体的内管口密封配合，密封盖设于密封塞远离炉体的一侧，密封盖与密封塞相对的一侧设有凹槽，密封盖上设有第二气压管，第二气压管一端设于凹槽内，第二气压管的另一端贯穿凹槽的侧壁；密封盖与炉体的外管口密封连接；密封盖、密封塞及炉体把凹槽封闭成一个密封空间。

进一步地，密封塞的插入端设于炉体的内部，密封塞的密封端设有第一裙板，炉体的内管口边缘设有第一沉台，第一裙板与第一沉台配合，第一裙板与第一沉台之间设有第一密封层。

进一步地，炉体的外管口边缘设有第二裙板，第二裙板与密封盖板相对的一侧设有第二沉台；密封盖的端部侧壁与第二沉台配合，第二沉台与第二裙板之间设有第二密封层。

进一步地，密封塞上设有隔热层，隔热层设于密封塞的密封端端面。

进一步地，凹槽内设有连接座，连接座设有导向孔，导向孔的孔口面积小于导向孔的内径截面积；密封塞设有导向杆，导向杆设于密封塞与凹槽相对的一侧，导向杆与导向孔配合，导向杆远离密封塞的一端设有限定块，限定块的面积大于导向孔的孔口面积。

进一步地，密封盖与炉体相对的端面侧壁设有连接杆，连接杆远离密封盖的一端与炉体外壁螺纹连接。

本实用新型的有益效果：本实用新型的密封盖、密封塞及炉体把凹槽封闭成一个密封空间，通过改变凹槽内的气压与炉体内的气压，使两者之间形成一个压力差，从而使密封塞进入或退出炉体内管，从而对炉体的管口进行密封或解密封，简化密封或解密封的过程，提高效率；炉体工作时，凹槽内为真空状态，可以对炉体管口形成真空保温作用，提高炉体内温度的均匀性；密封盖与炉体端口密封连接，可进一步增加炉体的密封性能。

附图说明

图1为本实用新型实施例的整体结构示意图；

图2为本实用新型实施例的零部件组合示意图。

图中标注：炉体100，第一气压管101，第一沉台102，第二沉台103，第二裙板104，密封盖200，第二气压管201，连接座202，凹槽203，连接杆204，密封塞300，第一裙板301，隔热层302，导向杆303，限定块304，第二密封层400，第一密封层500。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

下面通过具体实施方式结合附图对本实用新型作进一步详细说明。请参阅图1至图2。

本实用新型公开一种PECVD炉，包括有炉体100、圆柱状的密封盖200、圆柱状的密封塞300，炉体100呈管状，炉体100上邻近炉体100端口的位置设有第一气压管101，密封塞300的一端伸进炉体100的内管以便与炉体100的内管口密封配合，密封盖200设于密封塞300远离炉体100的一侧，密封盖200与密封塞300相对的一侧设有圆柱状凹槽203，密封盖200上设有第二气压管201，第二气压管201一端设于凹槽203内，第二气压管201的另一端贯穿凹槽203的侧壁、伸出密封盖200板外；密封盖200通过螺丝或锁扣件盖合并固定在炉体100的端口并与炉体100的外管口密封连接；当密封塞300伸进炉体100内管并且密封盖200与炉体100的端口密封连接时，密封盖200、密封塞300及炉体100把凹槽203封闭成一个密封空间，以便对凹槽203进行抽真空处理。本实用新型的密封盖200、密封塞300及炉体100把凹槽203封闭成一个密封空间，通过改变凹槽203内的气压与炉体100内的气压，使两者之间形成一个压力差，从而使密封塞300进入或退出炉体100内管，从而对炉体100的管口进行密封或解密封，简化密封或解密封的过程，提高效率；炉体100工作时，凹槽203内为真空状态，凹槽203内的气压略大于炉体100内的气压，以使密封塞300紧塞住炉体100的内管管口，真空状态可以对炉体100管口形成真空保温作用，提高炉体100内温度的均匀性；密封盖200与炉体100端口密封连接，可进一步增加炉体100的密封性能

进一步地，优选地，密封塞300的插入端插入炉体100的内部，密封塞300的密封端外伸出炉体100的内管口，并且该端设有第一裙板301，第一裙板301沿着密封塞300的圆周侧面环绕设置。炉体100的内管口边缘开设有环形的第一沉台102，第一裙板301与第一沉台102配合，第一裙板301与第一沉台102之间设有第一密封层500，优选地，第一密封层500为环状的耐高温硅胶层，第一密封层500固定在第一裙板301上。这设计可以提高密封性能。

进一步地，炉体100的外管口边缘设有第二裙板104，第二裙板104绕着炉体100的圆周侧壁围成环状，第二裙板104与密封盖200板相对的一侧设有环状的第二沉台103；密封盖200开设有凹槽203的一端的端部侧壁与第二沉台103配合，第二沉台103与第二裙板104之间设有第二密封层400，优选地，第二密封层400固定在第二沉台103上，第二密封层400优选为耐高温硅胶材料。这样的设计可提高炉体100的密封性能。

进一步地，密封塞300上设有隔热层302，优选地，隔热层302为隔热性能好的陶瓷纤维层，隔热层302固定在密封塞300的密封端端面。隔热层302能对炉体100起到保温作用，同时，也可以起到隔热的效果，避免炉体100内的高温损坏第二密封层400，以及避免影响凹槽203内的压力。

进一步地，凹槽203的最里端的端壁上设有连接座202，连接座202通过螺丝固定在凹槽203上，连接座202设有导向孔，导向孔截面呈圆形，导向孔贯通整个连接座202，导向孔远离密封盖200的一端的孔口面积小于导向孔的内径截面积；密封塞300设有导向杆303，导向杆303通过螺丝固定在密封塞300与凹槽203相对的一侧壁上，导向杆303与导向孔配合，导向杆303远离密封塞300的一端通过螺丝连接有限定块304，限定块304的面积大于导向孔的孔口面积。这结构设计可以把密封塞300与密封盖200可活动地连接在一起，不仅简化密封与解密封的过程，还能提高密封塞300运动的稳定性。

进一步地，密封盖200与炉体100相对的端面侧壁设有连接杆204，连接杆204远离密封盖200的一端与炉体100外壁螺纹连接。优选的，炉体100的外壁设有凸块，凸块设有通孔，连接杆204的一端设有螺纹，并且该端穿过凸块的通过后，再上固定螺母进行固定。这可以提高连接稳定性，提高密封效果。

以上内容是结合具体的实施方式对本实用新型所作的进一步详细说明，不能认定本实用新型的具体实施只局限于这些说明。对于本实用新型所属技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干简单推演或替换。