技术特征：
技术总结
一种蒸镀装置，用于将有机材料蒸镀到基板上，所述蒸镀装置包括真空腔室，设置在所述真空腔室内的材料槽、掩膜板和加热结构；所述材料槽与所述掩膜板之间形成有扁平的蒸发腔，所述有机材料设置在所述蒸发腔内，所述加热结构套设在所述材料槽的外侧以使所述蒸发腔内形成一致温度将所述有机材料垂直蒸镀到所述基板上。本发明的蒸镀装置可用于蒸镀大尺寸基板，其蒸镀材料垂直蒸镀到基板上，没有蒸发角的影响，有效防止了阴影现象。
技术研发人员：刘周英
受保护的技术使用者：昆山国显光电有限公司
技术研发日：2018.01.22
技术公布日：2018.07.13