膜厚检测装置及蒸镀机的制作方法

文档序号:14923832发布日期:2018-07-13 09:13

本发明涉及显示技术领域,特别涉及一种膜厚检测装置及蒸镀机。



背景技术:

有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode,OLED)显示器,也称为有机电致发光显示器,是一种新兴的平板显示装置,由于其具有制备工艺简单、成本低、功耗低、发光亮度高、工作温度适应范围广、体积轻薄、响应速度快,而且易于实现彩色显示和大屏幕显示、易于实现和集成电路驱动器相匹配、易于实现柔性显示等优点,因而具有广阔的应用前景。

目前OLED的主流制备方法是蒸镀法,即在OLED蒸镀机的腔体内加热有机小分子材料,使其升华或者熔融气化成材料蒸汽,透过金属光罩的开孔沉积在基板上。通常,OLED蒸镀机的腔体内都设有膜厚监控仪(Thickness Monitor),所述膜厚监控仪包括壳体、设于壳体内的转盘、膜厚监测传感器(sensor),所述转盘上设有通孔,所述膜厚监控仪使用时,所述数个膜厚监测传感器中的一个移至该通孔处。蒸镀时,真空OLED蒸镀机的腔体内的有机小分子材料挥发至该通孔,并沉积于膜厚监测传感器的表面,所述膜厚监测传感器通过监测自身表面的膜厚经过换算后得出镀在基板表面的膜厚。但是在设备调试及生产过程中发现转盘的通孔容易被蒸镀材料堵塞,导致无法检测镀膜速率,需要执行降温、开腔、清洁、升温、Tooling的动作后才能继续生产,影响生产效率。



技术实现要素:

本发明的目的在于提供一种膜厚检测装置及蒸镀机,以解决蒸镀材料对通孔的堵塞导致的生产效率低的技术问题。

本发明提供一种膜厚检测装置,用于在基板蒸镀时检测所述基板的蒸镀速率,包括蒸镀源、膜厚检测器、调节部、气体管道与加热部,所述蒸镀源具有喷嘴,在第一方向上所述喷嘴、所述气体管道、所述调节部以及所述膜厚检测器依次排列,所述喷嘴与所述气体管道的进料口连通,所述调节部可绕固定轴旋转,且所述调节部中设有数个间隔设置的通孔,所述加热部围绕所述气体管道外周设置,进而从所述喷嘴中蒸发的蒸镀材料在所述第一方向上穿过所述气体管道时保持气态,并经所述通孔蒸镀于所述膜厚检测器上。

其中,所述气体管道可在其轴线方向上振动。

其中,数个所述通孔围绕所述调节部的中心沿着径向间隔设置形成一调节区,所述气体管道的出料口与所述膜厚检测器均对准所述调节区。

其中,所述加热部为加热丝,所述加热丝缠绕所述气体管道。

其中,所述加热部为加热棒,所述加热棒为数个,且围成一个加热腔,所述气体管道置于所述加热腔中。

其中,所述气体管道为空心圆筒,所述空心圆筒包括所述进料口与所述出料口,所述进料口的直径等于所述出料口的直径。

其中,所述气体管道为空心圆台,所述空心圆台包括所述进料口与所述出料口,所述进料口的直径小于所述出料口的直径。

其中,所述膜厚检测器可自动切换,以使其中一个所述膜厚检测器达到蒸镀上限时,另一个所述膜厚检测器可自动切换蒸镀。

其中,所述膜厚检测装置包括驱动件,所述驱动件驱动所述调节部转动以及驱动所述气体管道振动。

本发明提供一种蒸镀机,包括上述的膜厚检测装置。

综上所述,本发明的所述加热部围绕所述气体管道实现了在所述蒸镀材料穿过所述气体管道时,所述蒸镀材料保持气态,进而在所述蒸镀材料穿过所述调节部中的所述通孔时,所述蒸镀材料不会沉积,进而降低了所述蒸镀材料对所述通孔的堵塞,进一步避免了塞孔后对所述调节部的降温、清洁以及升温,提高了生产效率。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本发明实施例提供的膜厚检测装置的平面结构示意图。

图2是图1中调节部的俯视结构示意图。

图3是本发明第一实施例提供的加热丝缠绕空心圆筒的结构示意图。

图4是本发明第二实施例提供的加热棒围绕空心圆筒的结构示意图。

图5是本发明第三实施例提供的加热丝缠绕空心圆台的结构示意图。

图6是本发明第四实施例提供的加热棒围绕空心圆台的结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。

请参阅图1与图2,本发明提供一种膜厚检测装置,用于在基板100蒸镀时检测所述基板100的蒸镀速率,包括蒸镀源10、调节部20、膜厚检测器30、气体管道50与加热部60,所述蒸镀源10具有喷嘴101,在第一方向上所述喷嘴101、所述气体管道50、所述调节部20以及所述膜厚检测器30依次排列,所述喷嘴101与所述气体管道50的进料口501连通,所述调节部20可绕固定轴旋转,且所述调节部20中设有数个间隔设置的通孔201,所述加热部60围绕所述气体管道50外周设置,进而从所述喷嘴101中蒸发的蒸镀材料在所述第一方向上穿过所述气体管道50时保持气态,并经所述通孔201蒸镀于所述膜厚检测器30上。所述膜厚监测器30通过监测自身表面的膜厚经过换算后得出蒸镀在所述基板100表面的膜厚。在本实施例中,所述膜厚检测装置包括外壳40,所述气体管道50与所述加热部60置于所述外壳40中。所述调节部20连接有驱动件,所述驱动件驱动所述调节部20旋转。所述驱动件包括马达。所述调节部20为转盘。所述膜厚检测器30为晶振片。所述通孔201位条形通槽。所述第一方向为从所述喷嘴101的轴线向外延伸的方向。

数个所述通孔201围绕所述调节部20的中心沿着径向间隔设置形成一调节区70,所述气体管道50的出料口502与所述膜厚检测器30均对准所述调节区70。具体为,所述调节部20可绕固定轴旋转,在所述调节部20转动的过程中,所述通孔201绕着所述固定轴旋转,所述通孔201所旋转过的区域形成所述调节区70,进而所述蒸镀材料穿过所述调节区70蒸镀于所述膜厚检测器30上。

本发明所述喷嘴101与所述气体管道50的进料口501的连通实现了所述蒸镀材料穿过所述气体管道50并穿过所述通孔201蒸镀于所述膜厚检测器30上,避免了所述蒸镀材料蒸镀于所述膜厚检测装置的其他区域;所述加热部60置于所述外壳40中实现了阻隔所述加热部60产生的热量扩散到所述外壳40外,进而起到对所述气体管道50的保温作用,提高了热量的利用率。所述调节部20中设有的所述通孔201实现了根据所述通孔201的尺寸控制到达所述膜厚检测器30上的蒸镀材料的量,进而可控制所述膜厚检测器30上的蒸镀材料量,提高了所述膜厚检测器30的使用寿命。所述加热部60围绕所述气体管道50实现了在所述蒸镀材料穿过所述气体管道50时,所述蒸镀材料保持气态,进而在所述蒸镀材料穿过所述调节部20中的所述通孔201时,所述蒸镀材料不会沉积,进而降低了所述蒸镀材料对所述通孔201的堵塞,进一步避免了塞孔后对所述调节部20的降温、清洁以及升温,提高了生产效率。且当所述蒸镀材料全部蒸镀于所述膜厚检测器30上时,换算后的所述基板100上的所述蒸镀材料的蒸镀速率更准确。

所述膜厚检测器30可自动切换,以使其中一个所述膜厚检测器30达到蒸镀上限时,另一个所述膜厚检测器30可自动切换蒸镀。具体为,所述膜厚检测器30通过一承载盒90承载,所述承载盒90具有一口部,其中一个所述膜厚检测器30置于所述口部,当所述膜厚检测器30上蒸镀的所述蒸镀材料达到蒸镀上限时,所述膜厚检测器30自动切换,另一个所述膜厚检测器30切换到所述口部继续蒸镀,实现了所述膜厚检测装置的智能化。

所述气体管道50可在其轴线方向上振动。所述驱动件驱动所述气体管道50振动。具体为,所述气体管道50的所述出料口502连接有安装部80,所述安装部80与所述气体管道50一起成型。所述安装部80连接于所述驱动件,在所述蒸镀材料蒸镀过程中,所述驱动件驱动所述安装部80振动,所述安装部80带动所述气体管道50沿着其自身的轴线方向在一定范围内振动,进而使所述蒸镀材料不容易蒸镀于所述通孔201中,进而降低了所述蒸镀材料对所述通孔201的堵塞,进一步避免了塞孔后对所述调节部20的降温、清洁以及升温,提高了生产效率。

请参阅图3,本发明的第一实施例中,所述加热部60为加热丝601,所述加热丝601缠绕所述气体管道50。所述气体管道50为空心圆筒503。具体为,所述空心圆筒503包括所述进料口501与所述出料口502,所述进料口501的直径等于所述出料口502的直径。缠绕有所述加热丝601的所述空心圆筒503置于所述外壳40中。在蒸镀过程中,通过对所述加热丝601的通电实现对所述空心圆筒401中的蒸镀材料进行加热,进而使所述蒸镀材料保持气态;所述加热丝601连接有温度传感器,所述温度传感器用于实时监测所述加热丝601的温度,进而在所述加热丝601的温度发生变化时,所述温度传感器发出信号以调整所述加热丝601的温度。

请参阅图4,本发明的第二实施例中,所述加热部60为加热棒602,所述加热棒602为数个,且围成一个加热腔603,所述气体管道50置于所述加热腔603中。所述气体管道50为空心圆筒503。具体为,所述空心圆筒503包括所述进料口501与所述出料口502,所述进料口501的直径等于所述出料口502的直径。所述空心圆筒503与所述外壳40之间的间隙形成一空间,所述加热棒602置于所述空间中且围成一加热腔603,所述空心圆筒503置于所述加热腔603中。在蒸镀过程中,通过对所述加热棒602的通电实现对所述空心圆筒503中的蒸镀材料进行加热,进而使所述蒸镀材料保持气态,且所述加热棒602保证了向所述空心圆筒401各个方向传递的热量均相同,进而保证所述空心圆筒401中的所述蒸镀材料受热的均一性;所述加热棒602连接有温度传感器,所述温度传感器用于实时监测所述加热棒602的温度,进而在所述加热棒602的温度发生变化时,所述温度传感器发出信号以调整所述加热棒602的温度。本发明的所述加热棒602实现了向所述空心圆筒503各个方向传递的热量均相同,进而保证所述空心圆筒503中的所述蒸镀材料受热的均一性;且在所述加热棒602中的其中一根发生损坏时,其余所述加热棒602仍然可产生热量加热所述空心圆筒503,保证了所述蒸镀材料受热的持续性,进而所述蒸镀不会发生沉积,进而降低了所述蒸镀材料对所述通孔201的堵塞,进一步避免了塞孔后对所述调节部20的降温、清洁以及升温,提高了生产效率。

请参阅图5,本发明的第三实施例中,所述加热部60为加热丝601,所述加热丝601缠绕所述气体管道50。所述气体管道50为空心圆台504。具体为,所述空心圆台502包括所述进料口501与所述出料口502,且所述进料口501的直径小于所述出料口502的直径。在蒸镀过程中,缠绕有所述加热丝601的所述空心圆台504置于所述外壳40中,通过对所述加热丝601的通电实现对所述空心圆台504中的蒸镀材料进行加热,进而使所述蒸镀材料保持气态;所述加热丝601连接有温度传感器,所述温度传感器用于实时监测所述加热丝601的温度,进而在所述加热丝601的温度发生变化时,所述温度传感器发出信号以调整所述加热丝601的温度。所述进料口501的直径小于所述出料口502的直径实现了从所述进料口501进入所述空心圆台504中的蒸镀材料较少,且穿过所述出料口502到达所述调节部20的所述通孔201的蒸镀材料将更少,进而降低了所述蒸镀材料对所述通孔201的堵塞,进一步避免了塞孔后对所述调节部20的降温、清洁以及升温,提高了生产效率。

请参阅图6,本发明的第四实施例中,所述加热部60为加热棒602,所述加热棒602为数个,且围成一个加热腔603,所述气体管道50置于所述加热腔603中。所述气体管道为空心圆台504。具体为,所述空心圆台504的所述进料口501的直径小于所述出料口502的直径,进而从直径较小的所述进料口501进入所述空心圆台504中的蒸镀材料较少,且当所述蒸镀材料穿过直径较大的所述出料口502到达所述调节部20的所述通孔201时,所述蒸镀材料将更少,降低了所述蒸镀材料对所述通孔201的堵塞,避免了所述通孔201塞孔后对所述调节部20的降温、清洁以及升温,提高了生产效率。

所述空心圆台504与所述外壳40之间的间隙形成一空间,所述加热棒602置于所述空间中且围成一加热腔603,所述空心圆台504置于所述加热腔603中。在蒸镀过程中,通过对所述加热棒602的通电实现对所述空心圆台504中的蒸镀材料进行加热,进而使所述蒸镀材料保持气态,且所述加热棒602保证了向所述空心圆台504各个方向传递的热量均相同,进而保证所述空心圆台504中的所述蒸镀材料受热的均一性;且在所述加热棒602中的其中一根发生损坏时,其余所述加热棒602仍然可产生热量加热所述空心圆台504,保证了所述蒸镀材料受热的持续性,进而所述蒸镀不会发生沉积,降低了所述蒸镀材料对所述通孔201的堵塞,进一步避免了所述通孔201塞孔后对所述调节部20的降温、清洁以及升温,提高了生产效率。所述加热棒602连接有温度传感器,所述温度传感器用于实时监测所述加热棒602的温度,进而在所述加热棒602的温度发生变化时,所述温度传感器发出信号以调整所述加热棒602的温度。

本发明提供一种蒸镀机,包括上述的膜厚检测装置。本发明的所述蒸镀机实现了在所述蒸镀材料穿过所述调节部20中的所述通孔201时,所述蒸镀材料不会沉积,进而降低了所述蒸镀材料对所述通孔201的堵塞,进一步避免了塞孔后对所述调节部20的降温、清洁以及升温,提高了生产效率。

以上所揭露的仅为本发明较佳实施例而已,当然不能以此来限定本发明之权利范围,本领域普通技术人员可以理解实现上述实施例的全部或部分流程,并依本发明权利要求所作的等同变化,仍属于发明所涵盖的范围。

再多了解一些
当前第1页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1