线性蒸发源及蒸发装置的制作方法

文档序号:15457827发布日期:2018-09-15 01:40

本发明涉及显示技术领域,特别是涉及一种线性蒸发源及蒸发装置。



背景技术:

有机电致发光显示器是一种基于有机电致发光材料的电流型半导体发光器件,其主要依靠金属电极向发光层施加一定的电压,使发光层中的有机电致发光材料发光,从而实现图像响应。它具有自主发光、高对比度、广视角、快速响应等特性,而被誉为下一代“梦幻显示器”。

制作有机电致发光显示器时,一般利用线性蒸发源蒸镀工艺将有机电致发光材料或者金属材料蒸镀到目标基板上,以制作其中的发光层或者电极。然而,采用传统的线性蒸发源制得的膜层在线源方向(喷嘴的排布方向)上的厚度不均匀,影响有机电致发光显示器的显示效果。



技术实现要素:

基于此,有必要针对如何改善线源方向上膜厚均一性的问题,提供一种能够改善线源方向上膜厚均一性的线性蒸发源及蒸发装置。

一种线性蒸发源,包括:

加热炉,用以蒸发蒸镀材料,所述加热炉具有喷嘴安装面;

线性喷嘴组,包括设置在所述喷嘴安装面上的若干个喷嘴,所述若干个喷嘴沿第一方向线性排布;

第一加热单元,用以加热所述加热炉靠近所述线性喷嘴组的一侧,所述第一加热单元包括若干条环绕设置于所述加热炉外部的第一加热丝;所述若干条第一加热丝包括位于所述加热炉沿第一方向两端的两个第一波浪线段,且所述第一波浪线段自所述加热炉的中间位置向两端的振幅和/或频率逐渐增大;以及

第二加热单元,用以加热所述加热炉远离所述线性喷嘴组的一侧,所述第二加热单元环绕设置于所述加热炉的外部。

本发明的线性蒸发源中,由于第一加热单元的第一波浪线段自加热炉的中间位置向两端的振幅和/或频率逐渐增大,加热时能够对加热炉的两端进行热补偿。这样能够减小加热炉中间与两端的温度差异,改善加热炉内材料温度的均一性,从而改善线源方向(第一方向)上膜厚的均一性,有利于应用。

在其中一个实施例中,所述若干条第一加热丝还包括位于所述加热炉沿第一方向的中间位置的第一直线段,所述两个第一波浪线段分别位于所述第一直线段的两端。

在其中一个实施例中,所述第一直线段与所述第一波浪线段的长度比为10:1~1:10。

在其中一个实施例中,所述第二加热单元包括若干条平行设置的第二加热丝,所述若干条第二加热丝包括位于所述加热炉沿第一方向中间位置的第二直线段、以及分别位于所述第二直线段两端的两个第二波浪线段,且所述第二波浪线段沿远离所述第二直线段方向的振幅和/或频率逐渐增大。

在其中一个实施例中,所述第二直线段与所述第二波浪线段的长度比为10:1~1:10。

在其中一个实施例中,所述第二加热单元包括若干条平行设置的第三加热丝,所述若干条第三加热丝包括位于所述加热炉沿第一方向中间位置的第三波浪线段、以及分别位于所述第三波浪线段两端的两个第三直线段,且所述第三波浪线段自两端向中间的振幅和/或频率逐渐增大。

在其中一个实施例中,所述第三直线段与所述第三波浪线段的长度比为10:1~1:10。

在其中一个实施例中,所述第一加热单元与所述第二加热单元相互独立,且所述第二加热单元的位置可调,以靠近或者远离所述第一加热单元。

一种蒸发装置,包括上述的线性蒸发源。

本发明的蒸发装置包括上述线性蒸发源,由于第一加热单元的第一波浪线段自加热炉的中间位置向两端的振幅和/或频率逐渐增大,加热时能够对加热炉的两端进行热补偿。这样能够减小加热炉中间与两端的温度差异,改善加热炉内材料温度的均一性,从而改善线源方向(第一方向)上膜厚的均一性,有利于应用。

附图说明

图1为第一实施方式的线性蒸发源的立体示意图;

图2为第一实施方式的线性蒸发源的正面示意图;

图3为第二实施方式的线性蒸发源的正面示意图。

具体实施方式

为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂,下面结合附图对本发明的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本发明。但是本发明能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施,本领域技术人员可以在不违背本发明内涵的情况下做类似改进,因此本发明不受下面公开的具体实施例的限制。

本发明的发明人经过研究发现:线性蒸发源是长条型的,中间与两端的热传导路径不同,坩埚中间温度高于两端,从而使基板中间的膜厚比两端高。为了改善线源方向上膜厚均一性的问题,发明人研究得到本发明的线性蒸发源。

请参见图1和图2,本发明第一实施方式的线性蒸发源100包括加热炉110、线性喷嘴组120、第一加热单元130以及第二加热单元140。

其中,加热炉110用以蒸发蒸镀材料,加热炉110具有喷嘴安装面112。加热炉110的内部形成有用以盛放蒸镀材料的蒸镀腔。加热炉110的外形呈长方体。

其中,线性喷嘴组120包括设置在喷嘴安装面112上的若干个喷嘴122,若干个喷嘴122沿第一方向线性排布。其中,第一方向指的是若干个喷嘴122线性排布的方向,且形成了线源方向。

第一实施方式中,喷嘴122的个数为7个。当然,喷嘴122的个数不限于此,亦可根据蒸镀的需求进行设置。此外,喷嘴122的口径以及相邻两个喷嘴122之间的距离亦可根据蒸镀的需求进行设置。

其中,第一加热单元130用以加热加热炉110靠近线性喷嘴组120的一侧,也就是如图1和图2所示的加热炉110的上侧。

第一加热单元130包括若干条环绕设置于加热炉110外部的第一加热丝132。若干条第一加热丝132包括位于加热炉110沿第一方向两端的两个第一波浪线段134,且第一波浪线段134自加热炉110的中间位置向两端的振幅和频率逐渐增大。

若干条第一加热丝132还包括位于加热炉110沿第一方向的中间位置的第一直线段136,两个第一波浪线段134分别位于第一直线段136的两端。

如图1和图2所示,左端的第一波浪线段134、中间的第一直线段136以及右端的第一波浪线段134依次连接。加热蒸镀的过程中,第一加热丝132在加热炉110中间位置覆盖的面积较小,而向两端覆盖的面积逐渐增加,能够对加热炉110的两端进行热补偿。这样能够减小加热炉110中间与两端的温度差异,改善加热炉110内材料温度的均一性,从而改善线源方向(第一方向)上膜厚的均一性,有利于应用。

此外,由于第一加热单元130用以加热加热炉110靠近线性喷嘴组120的一侧,本实施方式能够保证从线性喷嘴组120蒸发出来的蒸镀材料的温度均一性。

需要说明的是,第一实施方式中,第一波浪线段134自加热炉110的中间位置向两端的振幅和频率均逐渐增大。但其不限于此,第一波浪线段134自加热炉110的中间位置向两端的振幅或频率之一逐渐增大亦可。

此外,第一波浪线段134自加热炉110的中间位置向两端的振幅或频率的大小可以根据不同尺寸和材料的加热炉110设置。

其中,第二加热单元140用以加热加热炉110远离线性喷嘴组120的一侧,第二加热单元140环绕设置于加热炉110的外部。

在前述实施方式的基础上,第一直线段136与第一波浪线段134的长度比为10:1~1:10。这样能够对加热炉110靠近线性喷嘴组120一侧的两端温度进行有效的补偿,改善加热炉110内材料温度的均一性。

其中,第一波浪线段134的长度指的是自第一波浪线段134的起始点至终止点的直线距离,而非第一波浪线段134的起始点至终止点的曲线距离。

在前述实施方式的基础上,第二加热单元140包括若干条平行设置的第二加热丝142。若干条第二加热丝142包括位于加热炉110沿第一方向中间位置的第二直线段144、以及分别位于第二直线段144两端的两个第二波浪线段146,且第二波浪线段146沿远离第二直线段144方向的振幅和频率逐渐增大。

当然,在其他实施方式中,第二波浪线段146沿远离第二直线段144方向的振幅或频率之一逐渐增大亦可。

在前述实施方式的基础上,第二直线段144与第二波浪线段146的长度比为10:1~1:10。这样能够对加热炉110远离线性喷嘴组120一侧的两端温度进行有效的补偿,改善加热炉110内材料温度的均一性。

在前述实施方式的基础上,第一加热单元130与第二加热单元140相互独立,且第二加热单元140的位置可调,以靠近或者远离第一加热单元130。这样能够根据实际加热情况来调整第二加热单元140的位置,从而保证加热炉110整体的温度均一性。

此外,线性蒸发源100还包括分别位于加热炉110的上方两端的两个晶振探头150。晶振探头150用于监控蒸镀材料的蒸镀速率。

需要说明的是,在将第一加热丝132缠绕于加热炉110的外部之前,可以对加热炉110的热传导及第一加热丝132提供的热量进行模拟,从而可以针对不同尺寸和材料的加热炉110采取相应的缠绕方式。

第一实施方式的线性蒸发源100中,第一加热单元130与第二加热单元140均能够对加热炉110的两端进行热补偿,共同保证加热炉110整体的温度均一性,改善加热炉内材料温度的均一性,从而改善线源方向(第一方向)上膜厚的均一性。

但第二加热单元不限于此,在其他实施方式中,第二加热单元亦可用于对加热炉远离线性喷嘴组的一侧的中间位置进行热补偿。

请参见图3,本发明第二实施方式的线性蒸发源200包括加热炉210、线性喷嘴组220、第一加热单元230、第二加热单元240以及晶振探头150。

本实施方式中,第二加热单元240包括若干条平行设置的第三加热丝242,若干条第三加热丝242包括位于加热炉210沿第一方向中间位置的第三波浪线段244、以及分别位于第三波浪线段244两端的两个第三直线段246,且第三波浪线段244自两端向中间的振幅和频率逐渐增大。

在实际蒸镀过程中,会出现加热炉210的底部中间温度较低的情况,采用第二实施方式的线性蒸发源200,能够对加热炉210的底部中间进行热补偿,从而改善加热炉210的受热均一性。

当然,在其他实施方式中,第三波浪线段244自两端向中间的振幅或频率之一逐渐增大亦可。

在前述实施方式的基础上,第三直线段246与第三波浪线段244的长度比为10:1~1:10。这样能够有效对加热炉210的底部中间进行热补偿,从而改善加热炉210的受热均一性。

本发明的线性蒸发源中,由于第一加热单元的第一波浪线段自加热炉的中间位置向两端的振幅和/或频率逐渐增大,加热时能够对加热炉的两端进行热补偿。这样能够减小加热炉中间与两端的温度差异,改善加热炉内材料温度的均一性,从而改善线源方向(第一方向)上膜厚的均一性,有利于应用。

一实施方式的蒸发装置,包括上述的线性蒸发源。

本发明的蒸发装置包括上述线性蒸发源,由于第一加热单元的第一波浪线段自加热炉的中间位置向两端的振幅和/或频率逐渐增大,加热时能够对加热炉的两端进行热补偿。这样能够减小加热炉中间与两端的温度差异,改善加热炉内材料温度的均一性,从而改善线源方向(第一方向)上膜厚的均一性,有利于应用。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合,为使描述简洁,未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述,然而,只要这些技术特征的组合不存在矛盾,都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式,其描述较为具体和详细,但并不能因此而理解为对发明专利范围的限制。应当指出的是,对于本领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明构思的前提下,还可以做出若干变形和改进,这些都属于本发明的保护范围。因此,本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。

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