技术特征：
技术总结
本发明涉及一种线性蒸发源及蒸发装置。线性蒸发源包括：加热炉，具有喷嘴安装面；线性喷嘴组，包括设置在喷嘴安装面上的若干个喷嘴，若干个喷嘴沿第一方向线性排布；第一加热单元，用以加热加热炉靠近线性喷嘴组的一侧，第一加热单元包括若干条环绕设置于加热炉外部的第一加热丝；若干条第一加热丝包括位于加热炉沿第一方向两端的两个第一波浪线段，且第一波浪线段自加热炉的中间位置向两端的振幅和/或频率逐渐增大；以及第二加热单元，用以加热加热炉远离线性喷嘴组的一侧，第二加热单元环绕设置于加热炉的外部。本发明的线性蒸发源能够减小加热炉中间与两端的温度差异，改善加热炉内材料温度的均一性，从而改善线源方向上膜厚的均一性。
技术研发人员：陈海涛
受保护的技术使用者：昆山国显光电有限公司
技术研发日：2018.05.02
技术公布日：2018.09.14