技术特征：
技术总结
本发明提供一种补料装置，包括坩埚、喂线机构、压力感应器和控制件，坩埚设于真空反应室内，喂线机构安装在真空反应室的内壁上，喂线机构向坩埚输送线型材料，线型材料在坩埚内被熔融为液体并蒸发，压力感应器用于检测坩埚的重量，并将检测到的重量数据传输至控制件，控制件根据预设模式控制喂线机构的喂线速度，以使坩埚内熔融的蒸镀材料的体积在规定范围内。通过压力感应器监测坩埚的重量，控制件根据压力感应器提供的不同数据，根据预设模式控制喂线机构的喂线速度，从而使得坩埚内熔融的蒸镀材料的体积在规定范围内，从而使得补料装置可以实现自动控制补料操作，避免停机，提高工作效率。本发明还提供了一种蒸镀设备。
技术研发人员：张佳;匡友元
受保护的技术使用者：深圳市华星光电技术有限公司
技术研发日：2018.05.09
技术公布日：2018.09.14