技术特征：
技术总结
本发明涉及一种连续镀膜溅镀系统，包括真空结构，真空结构的两端分别设有升降机，真空结构的下部连接有支架，真空结构内和支架的底部均设有输送装置；真空结构中镀膜溅膜工艺室包括依次连接的第一氧化物镀膜室、金属镀膜室、氮化物镀膜室、氮化物和氧化物的混合物镀膜室、第二氧化物镀膜室和第三氧化物镀膜室；且真空结构之间设有真空阀门。本发明可以在太阳能平板集热器生产中，对板芯表面进行连续的完成6层膜的镀膜溅镀，使得太阳能平板集热器有效吸收太阳热能。本发明的真空阀门中由于连接轴与阀门主轴之前设有弹性膜片式联轴器，使得阀门主轴不易变形；互锁装置，在阀门闭合时，避免了突然破真空时，对阀门造成的损坏。
技术研发人员：于春锋
受保护的技术使用者：山东三齐能源有限公司
技术研发日：2018.07.09
技术公布日：2018.09.14