一种磁控溅射沉积镍膜和氧化镍膜的方法与流程

文档序号:15457839发布日期:2018-09-15 01:40阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种磁控溅射沉积镍膜和氧化镍膜的方法,其特征在于:在靶枪和镍靶之间放一个非铁磁性的金属圆片,采用磁控溅射在玻璃衬底上沉积一层镍膜或氧化镍膜。

2.根据权利要求1所述的磁控溅射沉积镍膜和氧化镍膜的方法,其特征在于:所述非铁磁性的金属圆片为铝圆片或铜圆片。

3.根据权利要求2所述的磁控溅射沉积镍膜和氧化镍膜的方法,其特征在于:所述铝圆片或铜圆片的厚度为3~5mm,直径与镍靶相同。

4.根据权利要求1~3任意一项所述的磁控溅射沉积镍膜和氧化镍膜的方法,其特征在于磁控溅射沉积镍膜的具体操作过程为:将清洗干净的玻璃衬底装在磁控溅射设备的样品夹具上,将非铁磁性的金属圆片放在靶枪上面,接着将镍靶放在非铁磁性的金属圆片上,关上磁控溅射设备的真空室盖子,用机械泵和分子泵将沉积室抽真空至5.0×10-4~7.0×10-4Pa,接着打开氩气通气阀,并打开质量流量计,控制氩气流速为25.0~30.0sccm,先调节沉积室压强至1.5~2.0Pa、溅射功率为28~30W启辉,再调节沉积室压强至0.5~0.6Pa、溅射功率至95~100W,预溅射1~2分钟以除去镍靶表面的污染,接着打开挡板开始沉积,沉积结束后自然冷却至室温,即得到镍膜。

5.根据权利要求1~3任意一项所述的磁控溅射沉积镍膜和氧化镍膜的方法,其特征在于:其特征在于磁控溅射沉积氧化镍膜的具体操作过程为:将清洗干净的玻璃衬底装在磁控溅射设备的样品夹具上,将非铁磁性的金属圆片放在靶枪上面,接着将镍靶放在非铁磁性的金属圆片上,关上磁控溅射设备的真空室盖子,用机械泵和分子泵将沉积室抽真空至5.0×10-4~7.0×10-4Pa Pa,接着打开氩气通气阀和氧气通气阀,并打开质量流量计,控制氧气流速为10.0~15.0sccm、氩气流速为15.0~20.0sccm,并控制氩气和氧气的总流速为25.0~30.0sccm,先调节沉积室压强至1.5~2.0Pa、溅射功率为28~30W启辉,再调节沉积室压强至0.5~0.6Pa、溅射功率至95~100W,预溅射1~2分钟以除去镍靶表面的污染,接着打开挡板开始沉积,沉积结束后自然冷却至室温,即得到氧化镍膜。

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