一种靶材加工用立式贴合设备的制作方法

本实用新型涉及靶材加工技术领域，具体为一种靶材加工用立式贴合设备。

背景技术：

镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。简单说的话，靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料，用于高能激光武器中，不同功率密度、不同输出波形、不同波长的激光与不同的靶材相互作用时，会产生不同的杀伤破坏效应。例如：蒸发磁控溅射镀膜是加热蒸发镀膜、铝膜等。更换不同的靶材(如铝、铜、不锈钢、钛、镍靶等)，即可得到不同的膜系如(超硬、耐磨、防腐的合金膜等)，但是靶材在成型过程中需要使用到贴合设备。

但是现有的贴合设备在使用过程中，靶材贴合效果较差，且靶材在贴合过程中设备稳定性较差，容易造成靶材的脱落，从而导致靶材贴合失败，为此我们设计了一款新型的一种靶材加工用立式贴合设备，解决了传统的靶材加工用立式贴合设备使用不便的问题。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种靶材加工用立式贴合设备，以解决现有的技术缺陷和不能达到的技术要求。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种靶材加工用立式贴合设备，包括机体、第一气室、气管、真空泵、铰链、第二气室和溅射装置，所述机体右侧设有电源端口，所述机体顶部设有第一气室，所述第一气室表面设有温度计，所述温度计与第一气室粘贴连接，所述第一气室内部设有工作台、夹具和调节件，所述工作台位于第一气室内部中侧，所述工作台顶部两侧设有夹具，所述夹具与工作台可拆卸连接，所述夹具外侧设有调节件，所述调节件与夹具可拆卸连接，所述第一气室左侧设有气管，所述气管右端延伸至第一气室内部左侧，所述气管左侧设有真空泵，所述真空泵通过管道与气管连接，所述真空泵外侧设有控制阀，所述真空泵顶部设有铰链，所述铰链左侧设有第二气室，所述第二气室通过铰链与第一气室连接，所述第二气室顶部设有溅射装置。

作为本实用新型的一种优选实施方式，所述工作台底部设有振荡器，所述振荡器通过导线与机体连接。

作为本实用新型的一种优选实施方式，所述振荡器两侧设有加热装置，所述加热装置通过安装孔与工作台连接。

作为本实用新型的一种优选实施方式，所述第二气室底部设有电磁放气阀，所述电磁放气阀通过导线与溅射装置连接。

作为本实用新型的一种优选实施方式，所述机体表面设有控制屏，所述控制屏与机体通过镶嵌连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

1.改良后的一种靶材加工用立式贴合设备在设备上设有加热装置和振荡器，在靶材进行进行贴合的时启动振荡器，振荡器通过震荡工作台，使工作台抖动，增大工作台表面靶材受到的溅射面积，加热装置能够加热工作台，通过加热工作台使靶材加热，从而实现增加靶材的贴合效果，通过以上设置，靶材贴合效果好。

2.改良后的一种靶材加工用立式贴合设备在设备上设有夹具，夹具能够固定工作台上的靶材，防止靶材在工作台表面脱落，通过以上设置，且靶材在贴合过程中设备稳定性较强，不会造成靶材的脱落，导致靶材贴合失败。

附图说明

图1为本实用新型一种靶材加工用立式贴合设备结构示意图；

图2为本实用新型一种靶材加工用立式贴合设备第一气室内部结构示意图；

图3为本实用新型一种靶材加工用立式贴合设备调节件结构示意图。

图中：机体-1，控制屏-2，电源端口-3，第一气室-4，温度计-5，气管-6，真空泵-7，控制阀-8，铰链-9，第二气室-10，溅射装置-11，电磁放气阀-12，工作台-13，振荡器-14，夹具-15，调节件-16，加热装置-17。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：一种靶材加工用立式贴合设备，包括机体1、第一气室4、气管6、真空泵7、铰链9、第二气室10和溅射装置11，所述机体1右侧设有电源端口3，所述机体1顶部设有第一气室4，所述第一气室4表面设有温度计5，所述温度计5与第一气室4粘贴连接，所述第一气室4内部设有工作台13、夹具15和调节件16，所述工作台13位于第一气室4内部中侧，所述工作台13顶部两侧设有夹具15，所述夹具15与工作台13可拆卸连接，所述夹具15外侧设有调节件16，所述调节件16与夹具15可拆卸连接，所述第一气室4左侧设有气管6，所述气管6右端延伸至第一气室4内部左侧，所述气管6左侧设有真空泵7，所述真空泵7通过管道与气管6连接，所述真空泵7外侧设有控制阀8，所述真空泵7顶部设有铰链9，所述铰链9左侧设有第二气室10，所述第二气室10通过铰链9与第一气室4连接，所述第二气室10顶部设有溅射装置11。

请参阅图2，所述工作台13底部设有振荡器14，所述振荡器14通过导线与机体1连接，通过设有振荡器14能够使靶材贴合更加均匀，在靶材进行进行贴合的时，启动振荡器14振荡器14通过震荡工作台13，使工作台13抖动，增大工作台13表面靶材受到的溅射面积。

请参阅图2，所述振荡器14两侧设有加热装置17，所述加热装置17通过安装孔与工作台13连接，加热装置17能够加热工作台13，通过加热工作台13使靶材加热，从而实现增加靶材的贴合效果。

请参阅图1，所述第二气室10底部设有电磁放气阀12，所述电磁放气阀12通过导线与溅射装置11连接，电子放气阀12能够控制溅射装置11释放电磁，通过溅射装置11通过释放的电磁对靶材进行贴合。

请参阅图1，所述机体1表面设有控制屏2，所述控制屏2与机体1通过镶嵌连接，通过设有控制屏2能够控制设备运行。

当使用本实用新型一种靶材加工用立式贴合设备时,在确定一种靶材加工用立式贴合设备能正常运行的状态下，将靶材放进第一气室4内工作台13表面，使用夹具15固定靶材，然后通过铰链9使第一气室4和第二气室10闭合，调节电磁放气阀12，电磁放气阀12能够控制溅射装置11释放电磁，通过溅射装置11通过释放的电磁对靶材进行贴合，拧动控制阀8，启动真空泵7排空第一气室4和第二气室10的空气，在靶材进行进行贴合的时启动振荡器14，振荡器14通过震荡工作台13，使工作台13抖动，增大工作台13表面靶材受到的溅射面积，贴合完成后，关闭控制阀8和电磁放气阀12，取出靶材。

本实用新型的机体1、控制屏2、电源端口3、第一气室4、温度计5、气管6、真空泵7、控制阀8、铰链9、第二气室10、溅射装置11、电磁放气阀12、工作台13、振荡器14、夹具15、调节件16、加热装置17，上述部件均为通用标准件或本领域技术人员知晓的部件，其结构和原理都为本技术人员均可通过技术手册得知或通过常规实验方法获知，本实用新型解决的问题是，现有的贴合设备在使用过程中，靶材贴合效果较差，且靶材在贴合过程中设备稳定性较差，容易造成靶材的脱落，从而导致靶材贴合失败，本实用新型通过上述部件的互相组合能够实现，贴合设备在使用过程中，靶材贴合效果好，且靶材在贴合过程中设备稳定性较强，不会造成靶材的脱落，导致靶材贴合失败。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点,对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。