一种安全可靠的离子溅射仪的制作方法

本实用新型属于溅射仪技术领域，具体涉及一种安全可靠的离子溅射仪。

背景技术：

离子溅射仪形成干涉膜是增进相间衬度显示组织的新方法。离子溅射镀膜是在部分真空的溅射室中辉光放电，产生正的气体离子；在阴极(靶)和阳极(试样)间电压的加速作用下，荷正电的离子轰击阴极表面，使阴极表面材料原子化;形成的中性原子，从各个方向溅出，射落到试样的表面，于是在试样表面上形成一层均匀的薄膜。所以说这种形成干涉膜的方法与湃澎霍夫蒸发的方法相似。通常8英寸晶圆，12英寸晶圆等常用到离子溅射仪。

现有的离子溅射仪，在使用时，通常在运输时，因其溅射室通常为玻璃结构，若发生磕碰，容易导致仪器损坏，且在使用过程中，若搬放不注意，也会对仪器的内部产生损伤的问题，为此我们提出一种安全可靠的离子溅射仪。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种安全可靠的离子溅射仪，以解决上述背景技术中提出的现有的离子溅射仪，在使用时，通常在运输时，因其溅射室通常为玻璃结构，若发生磕碰，容易导致仪器损坏，且在使用过程中，若搬放不注意，也会对仪器的内部产生损伤的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种安全可靠的离子溅射仪，包括溅射仪主体，所述溅射仪主体的顶部一侧固定设置有溅射底座，所述溅射底座的边缘处固定设置有限位凹槽，所述溅射底座的顶部固定设置有溅射室，所述溅射室的外表面罩合有保护壳，所述保护壳的内表面底部边缘处设置有限位凸起。

优选的，所述溅射仪主体的底部固定设置有缓冲座，所述缓冲座包括缓冲弹簧、缓冲杆、吸盘和缓冲器，所述缓冲器固定套合在缓冲杆的顶部，所述缓冲杆的外侧套合有缓冲弹簧，所述缓冲杆的底部固定设置有吸盘。

优选的，所述溅射仪主体的前表面设置有仪表盘。

优选的，所述保护壳与溅射底座通过限位凹槽与限位凸起卡合固定。

优选的，所述溅射仪主体的后表面设置有插线接头。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

（1）在该溅射仪的溅射室外表面设置有一层旋转卡合的保护壳，因为溅射室为透明的玻璃结构，在使用时火车运输过程中容易发生磕碰，有可能导致溅射室发生开裂或者破碎，通过保护壳的作用提高了了该溅射仪的使用安全性；

（2）在该溅射仪主体的底部固定设置有一个缓冲底座，在使用该仪器时，搬运过程中，放置时有可能不注意，导致用力过大，对仪器的内部线路产生影响，提高了该仪器的使用寿命。

附图说明

图1为本实用新型的主视结构示意图；

图2为本实用新型的俯视结构示意图；

图3为本实用新型缓冲底座的结构示意图；

图4为本实用新型吸盘的结构示意图；

图5为本实用新型保护壳的结构示意图；

图中：1、保护壳；2、溅射底座；3、缓冲弹簧；4、缓冲杆；5、吸盘；6、缓冲器；7、溅射室；8、溅射仪主体；9、仪表盘；10、限位凹槽；11、限位凸起；12、缓冲座。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例1

请参阅图1、图2、图3、图4和图5，本实用新型提供一种技术方案：一种安全可靠的离子溅射仪，包括溅射仪主体8，溅射仪主体8的顶部一侧固定设置有一体式的溅射底座2，溅射底座2的边缘处设置有一体式的限位凹槽10，溅射底座2的顶部固定装设有溅射室7，溅射室7的外表面罩合有保护壳1，保护壳1的内表面底部边缘处设置有一体式的限位凸起11。

为了放置时可以更稳，本实施例中，优选的，溅射仪主体8的底部通过螺纹旋合有缓冲座12，缓冲座12包括缓冲弹簧3、缓冲杆4、吸盘5和缓冲器6，缓冲器6固定套合在缓冲杆4的顶部，缓冲杆4的外侧套合有缓冲弹簧3，缓冲杆4的底部通过螺纹旋合有吸盘5。

为了更好的观察数据，本实施例中，优选的，溅射仪主体8的前表面装设有仪表盘9。

为了更好的固定，本实施例中，优选的，保护壳1与溅射底座2通过限位凹槽10与限位凸起11卡合固定。

为了更好的连接溅射室7，本实施例中，优选的，溅射仪主体8的后表面装设有插线接头。

实施例2

请参阅图1、图2、图3、图4和图5，本实用新型提供一种技术方案：一种安全可靠的离子溅射仪，包括溅射仪主体8，溅射仪主体8的顶部一侧固定设置有一体式的溅射底座2，溅射底座2的边缘处设置有一体式的限位凹槽10，溅射底座2的顶部固定装设有溅射室7，溅射室7的外表面罩合有保护壳1，保护壳1的内表面底部边缘处设置有一体式的限位凸起11。

为了放置时可以更稳，本实施例中，优选的，溅射仪主体8的底部焊接有缓冲座12，缓冲座12包括缓冲弹簧3、缓冲杆4、吸盘5和缓冲器6，缓冲器6固定套合在缓冲杆4的顶部，缓冲杆4的外侧套合有缓冲弹簧3，缓冲杆4的底部通过螺纹旋合有吸盘5。

为了更好的观察数据，本实施例中，优选的，溅射仪主体8的前表面装设有仪表盘9。

为了更好的固定，本实施例中，优选的，保护壳1与溅射底座2通过限位凹槽10与限位凸起11卡合固定。

为了更好的连接溅射室7，本实施例中，优选的，溅射仪主体8的后表面装设有插线接头。

本实用新型的工作原理及使用流程：该装置在使用时，在溅射室7的外部罩合有保护壳1，使用前通过旋转将保护壳1拆卸，将溅射仪主体8上的线路与溅射室7连接，通过保护壳1的作用可以避免仪器在运输过程中或者闲置时发生磕碰，导致溅射室7破损，且在该仪器的底部还设置有缓冲座12，使用前在搬运时，可以避免仪器放置时用力过大，导致仪器内部出现问题，且通过吸盘5的作用可以将溅射仪主体8固定的更稳。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。