一种外置式的晶棒自动夹持机构的制作方法

文档序号:17968342发布日期:2019-06-21 23:01阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种外置式的晶棒自动夹持机构,其特征在于,包括机械手组件、机械手安装座、自动复位装置与驱动组件;

所述机械手安装座前侧设有机械手安装框架,所述机械手安装框架包括底板及四周的四块侧板;机械手安装框架上前侧板上设有横向的移动机械手导轨,移动机械手导轨端部设有固定侧机械手,移动机械手导轨上通过滑块设有移动侧机械手;机械手安装框架内部设有移动机械手丝杠组件,移动机械手丝杠组件端部连接同步带轮组件;移动机械手导轨上下两侧设有两个与导轨平行的条形孔;条形孔内均设有移动机械手固定板,所述移动机械手固定板一端连接移动侧机械手的顶端与底端,另一端与移动机械手丝杠组件的丝杠副连接;

所述自动复位装置包括自动复位滑轨、自动复位调节装置与自动复位弹簧装置,自动复位滑轨水平安装于机械手安装框架后侧板顶端,机械手转接板通过滑块与自动复位滑轨相连;自动复位调节装置包括两块限位板,分别安装在机械手转接板和机械手安装框架后侧板上;安装在机械手安装框架后侧板上的限位板设有螺杆,该螺杆端面顶着另一块限位板,通过拧动螺杆能调节机械手安装框架和机械手转接板之间的相对位置;自动复位弹簧装置包括限位板和弹簧安装座,弹簧安装座安装在机械手转接板上,限位板安装在机械手安装框架后侧板上;弹簧安装座内部设有弹簧,弹簧一端与其接触,另一端与限位板接触;通过自动复位调节装置的调整,能改变机械手安装框架和机械手转接板之间的相对位置,并调整弹簧的压缩量至合适值;

所述驱动组件包括驱动电机,驱动电机通过电机安装座固设于机械手安装框架底部,电机转接板分别与电机安装座和驱动电机相固定;同步带轮组件分别于驱动电机和移动机械手丝组件相连,用于传递扭矩和转动;同步带调节装置固定在电机安装座上,通过螺纹调节驱动电机与移动机械手丝杆组件之间的距离,能调整同步带的松紧程度。

2.根据权利要求1所述的夹持机构,其特征在于,所述驱动电机为伺服电机。

3.根据权利要求1所述的夹持机构,其特征在于,所述机械手安装框架顶部设有限位传感器,所述限位传感器数量为三个,分别用于前后限位及原点信号。

4.根据权利要求1所述的夹持机构,其特征在于,所述机械手安装框架顶部还设有聚氨酯隔套作为机械限位。

5.根据权利要求1所述的夹持机构,其特征在于,同步带防护罩固定在机械手安装框架前侧板底部,将同步带轮组件罩起来。

6.根据权利要求1所述的夹持机构,其特征在于,所述移动机械手丝杆组件中的丝杆选用滚珠丝杆。

7.根据权利要求1所述的夹持机构,其特征在于,机械手调节装置包括固定块和调节螺钉,固定块上设有调节螺钉,安装在机械手安装座上,左右各一个,调节螺钉的端面紧贴机械手转接板的下表面,通过转动调节螺钉,能调节机械手转接板左右的高低,保证固定处机械手平面与晶棒夹持面平行。

8.根据权利要求1所述的夹持机构,其特征在于,两个缓冲垫分别设于移动侧机械手和固定侧机械手上,作为晶棒夹持的缓冲部分。

9.根据权利要求8所述的夹持机构,其特征在于,所述缓冲垫为尼龙缓冲垫。

当前第2页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1