冷却装置及镀膜设备的制作方法

本实用新型涉及镀膜设备技术领域，尤其是涉及一种冷却装置及镀膜设备。

背景技术：

蒸发源是指真空镀膜行业中使用蒸发的方法进行镀膜的工艺中的核心设备，在生产中蒸发源所产生的热量需要通过冷却装置进行隔离处理。冷却装置是指避免蒸发源内的高温传导散失在外界的机构，可以有效保护环境温度。现有技术中通常使用旋绕的办法将冷却管做成螺旋的冷却套，通过冷却套套设蒸发源达到冷却的效果。由于冷却管旋绕而成，因此，冷却管之间的空隙处冷却效果不佳，并且进、出接口分别位于螺旋冷却套的两端，不利于蒸发源及其他部件布置。

技术实现要素：

有鉴于此，本实用新型的目的在于提供一种冷却装置及镀膜设备，以解决现有技术中螺旋冷却管冷却效果不佳的技术问题。

第一方面，本实用新型提供的冷却装置，包括换热体，换热体围设形成周向封闭的容纳空间，且换热体设置有围绕容纳空间的封闭冷却腔，以及分别与封闭冷却腔连通的进液口和出液口。

结合第一方面，本实用新型提供了第一方面的第一种可能的实施方式，其中，换热体包括内壁以及套设于内壁外部的外壁，内壁和外壁之间形成封闭冷却腔。

结合第一方面的第一种可能的实施方式，本实用新型提供了第一方面的第二种可能的实施方式，其中，换热体包括底端板和顶端板；底端板盖设于封闭冷却腔的底端；顶端板盖设于封闭冷却腔的顶端。

结合第一方面的第二种可能的实施方式，本实用新型提供了第一方面的第三种可能的实施方式，其中，进液口设置于封闭冷却腔的底端，出液口设置于封闭冷却腔的顶端。

结合第一方面的第二种可能的实施方式，本实用新型提供了第一方面的第四种可能的实施方式，其中，进液口和出液口均设于封闭冷却腔的同一端。

结合第一方面的第四种可能的实施方式，本实用新型提供了第一方面的第五种可能的实施方式，其中，封闭冷却腔内设置有高位出液管，高位出液管的进液端靠近顶端板并与顶端板之间具有间隙，高位出液管的出液端与出液口连通。

结合第一方面的第五种可能的实施方式，本实用新型提供了第一方面的第六种可能的实施方式，其中，高位出液管的进液端设有防湍流结构。

结合第一方面的第六种可能的实施方式，本实用新型提供了第一方面的第七种可能的实施方式，其中，防湍流结构为斜面，斜面与高位出液管的轴线夹角小于90度。

结合第一方面，本实用新型提供了第一方面的第八种可能的实施方式，其中，冷却装置包括出液管和进液管，出液管与出液口连通，进液管与进液口连通。

第二方面，本实用新型提供的镀膜设备，包括第一方面提供的冷却装置。

本实用新型实施例带来了以下有益效果：采用换热体围设形成周向封闭的容纳空间，且换热体设置有围绕容纳空间的封闭冷却腔，以及分别与封闭冷却腔连通的进液口和出液口的方式，通过封闭冷却腔存储冷却液，冷却液由进液口流入封闭冷却腔，并经出液口流出，从而吸收并带走位于容纳空间内的热源的热量。由于本实施例提供的冷却装置具有周向封闭的封闭冷却腔，因此不存在现有的螺旋冷却管的相邻的螺旋之间存在的空隙问题，因此冷却效果更佳。

为使本实用新型的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或相关技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或相关技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例一提供的第一种冷却装置示意图；

图2为本实用新型实施例一提供的第二种冷却装置示意图；

图3为本实用新型实施例一提供的第二种冷却装置的换热体与高位出液管的示意图；

图4为本实用新型实施例二提供的镀膜设备的示意图。

图标：1-换热体；11-封闭冷却腔；12-进液口；13-出液口；14-外壁；15-内壁；16-顶端板；17-底端板；2-高位出液管；3-热源；4-出液管；5-进液管。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

实施例一

如图2所示，本实用新型实施例提供的冷却装置，包括换热体1，换热体1围设形成周向封闭的容纳空间，且换热体1设置有围绕容纳空间的封闭冷却腔11，以及分别与封闭冷却腔11连通的进液口12和出液口13。

具体地，容纳空间内用于容纳热源3，冷却液通过进液口12流入封闭冷却腔11，并经过出液口13排出，换热体1的制造材料选用金属导热材料，从而吸收热源3的热量，并将热量传递至封闭冷却腔11内的冷却液中，使用纯水等作为冷却液，用以吸收并带走热量。

如图1所示，螺旋冷却管冷却装置沿轴线方向螺旋冷却管间存在较大的缝隙，由此导致冷却液容量较低，冷却液流量不足，螺旋冷却管缝隙处无法进行换热，冷却效果不佳。

在本实用新型的实施例中，封闭冷却腔11内充满冷却液，解决了螺旋冷却管冷却存在缝隙的问题，增大了冷却液的容量和冷却液的覆盖空间，从而可以充分吸收热源3散发的热量，达到换热体1外侧恒温的效果。

在本实用新型实施例中，换热体1包括内壁15以及套设于内壁15外部的外壁14，内壁15和外壁14之间形成封闭冷却腔11。

具体的，内壁15和外壁14的截面均为环形，由此，在内壁15和外壁14之间形成的封闭冷却腔11环绕容纳空间，以实现对容纳空间内热源3的包裹，避免热源3的热量散发至外壁14的外侧。

进一步地，换热体1包括：底端板17和顶端板16；

底端板17盖设于封闭冷却腔11的底端；

顶端板16盖设于封闭冷却腔11的顶端。

具体的，内壁15和外壁14之间形成截面为环形的封闭冷却腔11，且封闭冷却腔11的轴线沿铅垂方向设置。顶端板16和底端板17均为环形盖板，顶端板16焊接在内壁15和外壁14的顶端，底端板17焊接在内壁15和外壁14的底端，由此在外壁14、内壁15、顶端板16和底端板17之间形成密闭的封闭冷却腔11。

进一步的，进液口12设置于封闭冷却腔11的底端，出液口13设置于封闭冷却腔11的顶端。

具体的，减低温度的冷却液自进液口12流入封闭冷却腔11内，封闭冷却腔11内的冷却液吸收容纳空间内的热源3的热量，并通过出液口13排出，进液口12位于封闭冷却腔11的底端，出液口13位于封闭冷却腔11的顶端，由此使封闭冷却腔11内的冷却液自下向上流动，以实现冷却液充满封闭冷却腔11，并且低温冷却液进入，高温冷却液流出，实现对换热体1散热。此外，可将进液口12设置于封闭冷却腔11的顶端，出液口13设置于封闭冷却腔11的底端，从而使封闭冷却腔11内的冷却液自上向下流动，亦可实现对换热体1散热。

可选地，进液口12和出液口13均设置于封闭冷却腔11的同一端。

具体的，冷却液自进液口12流入封闭冷却腔11，并通过出液口13流出，进液口12和出液口13均设于顶端板16，以使进液口12和出液口13均位于封闭冷却腔11的顶端；或者，冷却液自进液口12流入封闭冷却腔11，并通过出液口13流出，进液口12和出液口13均设于底端板17，以使进液口12和出液口13均位于封闭冷却腔11的底端。在封闭冷却腔11的一端设置进液口12和出液口13，从而无需在换热体1的轴线方向的两端设置液管，从而不影响换热体1的容纳空间内容纳热源3，亦不占用换热体1外侧空间，便于冷却装置的安装实施。其中，进液口12和出液口13均为设置在底端板17上的通孔，冷却液通过进液口12穿过底端板17进入封闭冷却腔11，封闭冷却腔11内的冷却热通过出液口13穿过底端板17流出。冷却装置用于对真空蒸镀的蒸发器进行隔离，避免蒸发器的热量传递至周边环境。在真空蒸镀过程中，冷却装置的上端为蒸发器的工作区域，由此将进液口12和出液口13均设置在底端板17上，相比于螺旋冷却管冷却，能够使进液口12和出液口13位于换热体1轴线方向的一端，有利于简化冷却液的管路连接。

进一步的，封闭冷却腔11内设置有高位出液管2，高位出液管2的进液端靠近顶端板16，并与顶端板16之间具有间隙，高位出液管2的出液端与出液口13连通。

具体的，高位出液管2的底端焊接底端板17，高位出液管2与出液口13同轴，高位出液管2沿换热体1的轴线方向设置，且高位出液管2的顶端靠近顶端板16，并与顶端板16之间具有间隙。自进液口12流入封闭冷却腔11内的冷却液，在吸收热量后，流经高位出液管2与顶端板16之间的缝隙进入高位出液管2中，并沿高位出液管2流动至出液口13排出，由此实现冷却液在封闭冷却腔11内的全面流动，解决了冷却液未充分流动造成的换热体1各个部位冷热不均的问题，可以对换热体1进行全面冷却。

此外，高位出液管2位于封闭冷却腔11内，由此不占用换热体1的容纳空间和换热体1的外侧空间，进而不妨碍容纳空间内部布置热源3，亦不妨碍换热体1外侧设置其余工作器件，达到结构紧凑的目的，有利于冷却装置结构整齐化和精简缩小化。

需要说明的是，高位出液管2的进液端位于底端板17的上方，当冷却液通过进液口12流入封闭冷却腔11内时，封闭冷却腔11内的冷却液液面逐渐上升，当冷却液液面上升至与高位出液管2的进液端平齐后，在冷却液通过进液口12流入封闭冷却腔11的同时，由于冷却液液面需升高至与高位出液管2的进液端平齐，才可使封闭冷却腔11的冷却液通过高位出液管2流出，从而可以确保冷却液充满封闭冷却腔11，即通过高位出液管2限制封闭冷却腔11内的液位高度，以实现封闭冷却腔11内充满冷却液，达到最佳的冷却效果。

此外，通过限制进液口12和出液口13的冷却液流速亦可达到控制封闭冷却腔11内液位的目的。具体的，当封闭冷却腔11中液位较低时，进液口12处的冷却液流入速度大于出液口13处冷却液流出速度；当封闭冷却腔11充满冷却液时，进液口12处的冷却液流入速度等于出液口13处冷却液流出速度。进液口12和出液口13处的冷却液流速均可通过连接调速阀进行控制实现。

进一步的，高位出液管2的进液端设有防湍流结构。

具体的，防湍流结构为沿高位出液管2圆周方向设置的多个槽口，从而当封闭冷却腔11内的液面升至槽口处时，在冷却液通过进液口12流入封闭冷却腔11的同时，封闭冷却腔11的冷却液通过高位出液管2进液端的槽口流入高位出液管2内，并依次经过高位出液管2和出液口13排出。由于冷却液通过槽口流入高位出液管2，从而使冷却液并未完全淹没高位出液管2的进液端，从而防止高位出液管2的进液端产生湍流，进而实现冷却液的平稳流动。

如图3所示，防湍流结构为斜面，斜面与高位出液管2的轴线夹角小于90度。其中，斜面与高位出液管2的轴线夹角为30度、45度或60度，通过设置斜面可使高位出液管2进液端的开口倾斜，当冷却液升至高位出液管2进液端，且未完全淹没高位出液管2进液端时，冷却液流入高位出液管2中，并通过出液口13排出，亦可达到防止高位出液管2的进液端产生湍流的目的，从而实现冷却液的平稳流动。

进一步的，冷却装置包括出液管4和进液管5，出液管4与出液口13连通，进液管5与进液口12连通。

具体的，出液管4焊接连接底端板17，并与出液口13同轴设置，进液管5焊接连接底端板17，并与进液口12同轴设置，通过液泵将冷却液输入至进液管5中，冷却液依次流经进液口12、封闭冷却腔11、高位出液管2和出液口13，并通过出液管4排出。冷却液在封闭冷却腔11内时吸收换热体1和热源3的热量，吸热后的冷却液通过出液管4流出，较低温度的冷却液再次通过进液管5流入封闭冷却腔11中，如此循环流动实现对换热体1的冷却。

实施例二

如图4所示，本实用新型实施例提供的镀膜设备，包括实施例一提供的冷却装置。

具体的，热源3为蒸发器，蒸发器位于换热体1的容纳空间中，用于进行真空镀膜，蒸发器产生的热量被换热体1吸收，并通过冷却液流动实现散热，从而避免蒸发器的热量传递至周边环境中，达到恒温目的。本实施例提供的镀膜设备的技术效果与实施例一提供的冷却装置的技术效果相同，故在此不再赘述。

最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围。