蓝宝石抛光用无蜡吸附垫的制作方法

本发明涉及高档数控装备与数控加工技术领域，具体是蓝宝石抛光用无蜡吸附垫。

背景技术：

在蓝宝石晶片抛光时，广泛使用cmp化学机械抛光技术，其中一种方法为使用无蜡吸附垫吸附晶片，目前所使用的无蜡吸附垫在进行抛光时，由于中心点受压相对较重，会使蓝宝石晶片在无蜡吸附垫的中心处和边缘处的受力不同，容易造成蓝宝石晶片弯曲度不达标，所以还需对蓝宝石晶片进行淬火处理，使蓝宝石晶片的弯曲度合格，但是这样会使加工的流程十分复杂，造成作业人员的劳动强度过大。

技术实现要素：

本发明的目的在于提供蓝宝石抛光用无蜡吸附垫，以解决目前的无蜡吸附垫在进行抛光时容易造成蓝宝石晶片弯曲度不达标而导致还需进行淬火处理使弯曲度合格，从而造成作业人员的劳动强度过大的问题。

为解决上述的技术问题，本发明采用以下技术方案：

一种蓝宝石抛光用无蜡吸附垫，设置于抛光机的抛光台上，包括吸附垫本体，所述吸附垫本体上侧的中部设有能降低蓝宝石晶片抛光弯曲度的第一凹槽，所述第一凹槽呈螺旋形。

作为优选，进一步的技术方案是，环绕所述吸附垫本体的圆周设有第二凹槽，所述第二凹槽呈环形。

更进一步的技术方案是，所述抛光台上设有连接槽，所述吸附垫本体设置于连接槽内。

更进一步的技术方案是，所述吸附垫本体的下侧设有连接座，所述连接座设置于连接槽内，所述连接座的侧壁上设有弧形卡槽，在所述抛光台内环绕所述连接槽的侧壁设置有收纳腔，所述收纳腔通过连接孔与连接槽相连通，所述收纳腔内活动连接设有卡块，所述卡块从连接孔穿过并卡设在弧形卡槽内。

更进一步的技术方案是，所述连接槽内设有横板，所述连接座设置于横板上，所述横板下侧的中部设有推动件，所述连接槽的槽底设有控制按钮，所述推动件用于推动控制按钮，所述收纳腔内横向设有伸缩杆，所述伸缩杆的伸缩端与卡块相连，所述控制按钮与伸缩杆信号连接。

更进一步的技术方案是，所述推动件呈“t”字形，包括一体成型的横部和竖部，所述横部的上侧与横板相连，所述竖部的上端与横部下侧的中段相连，所述竖部的下端用于推动控制按钮，所述横部的下侧设有第一弹簧，所述竖部位于第一弹簧的内侧，所述第一弹簧的下端与连接槽的槽底相连。

更进一步的技术方案是，所述横板下侧竖向设置有若干个第二弹簧，所述若干个第二弹簧在横板的下侧呈周向分布。

更进一步的技术方案是，所述卡块包括卡设部和连接部，所述连接部的一侧与所述伸缩杆的伸缩端相连，另一侧与卡设部相连，在卡块卡设进弧形卡槽内时，所述卡设部从连接孔穿过并卡设在弧形卡槽内，所述连接部位于收纳腔内。

更进一步的技术方案是，所述收纳腔的底部横向滑动连接设有第一滑板，所述收纳腔在与连接槽相连的一侧的侧壁上竖向滑动连接设有第二滑板，所述第一滑板上侧的中段转动连接设有连接杆，所述转动杆与第二滑板一侧的中段转动相连，所述第二滑板用于封堵所述连接孔。

更进一步的技术方案是，所述收纳腔在与连接槽相连的一侧的侧壁上设有卷线转轴，所述卷线转轴位于第二滑板的下侧，所述第一滑板上设有导向轮，所述卷线转轴上缠绕连接设有连接线，所述连接线从导向轮穿过后折回到卷线转轴的一侧并与收纳腔的内壁相连，所述卷线转轴与所述控制按钮信号连接。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：将所需抛光的蓝宝石晶片吸附在吸附垫本体上，由于在吸附垫本体的中部设置有第一凹槽，在抛光时，便可减少中间的受理，使得边缘处和中心处的受力相对均匀，使得抛光加工后的蓝宝石晶片中心店的厚度偏差较小，从而达到弯曲度的要求，避免后续的淬火处理，使加工过程更加简单，降低了作业人员的劳动强度。

附图说明

图1为无蜡吸附垫在抛光台上设置的结构示意图。

图2为抛光台上侧的结构示意图。

图3为抛光台竖向的截面图。

图4为图3中a处的局部放大图。

图5为推动件的结构示意图。

图中：1、抛光台；2、吸附垫本体；3、第一凹槽；4、第二凹槽；5、连接槽；6、连接座；7、弧形卡槽；8、收纳腔；9、连接孔；10、卡块；11、横板；12、推动件；13、控制按钮；14、伸缩杆；15、第二弹簧；16、第一滑板；17、第二滑板；18、转动杆；19、卷线转轴；20、导向轮；101、卡设部；102、连接部；121、横部；122、竖部；123、第一弹簧。

具体实施方式

为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。

图1-5示出了蓝宝石抛光用无蜡吸附垫的实施例。

实施例一：

本实施例作为基础实施例，提供一种蓝宝石抛光用无蜡吸附垫，设置于抛光机的抛光台1上，包括吸附垫本体2，所述吸附垫本体2上侧的中部设有能降低蓝宝石晶片抛光弯曲度的第一凹槽3，所述第一凹槽3呈螺旋形。

在抛光加工时，先将蓝宝石晶片放置于抛光台1上的吸附垫本体2上，通过吸附垫本体2对蓝宝石晶片的吸附作用，使蓝宝石晶片能稳固的放置，然后在对蓝宝石晶片的上侧面进行抛光加工，具体的通过抛光机的陶瓷盘的抛光面的转动对吸附垫本体2上的蓝宝石晶片进行抛光，抛光面与蓝宝石晶片相适配。

通过在吸附垫本体2的上侧的中部设置第一凹槽3，并使第一凹槽3呈螺旋形，即是在吸附垫本体2的上侧面以螺纹状的形式分布，在抛光时，便可使蓝宝石晶片中心处的受力减小，从而使中心处和边缘处的受力相对均匀，使得抛光加工后的蓝宝石晶片中心店的厚度偏差较小，从而达到弯曲度的要求，避免后续的淬火处理，使加工过程更加简单，降低了作业人员的劳动强度。

实施例二：

在实施例一的基础上，进一步的，环绕所述吸附垫本体2的圆周设有第二凹槽4，所述第二凹槽4呈环形。

而在加工过程中，由于中心点受压相对较重，还会把蓝宝石晶片边缘压得稍微翘起来一点，导致蓝宝石晶片的边缘先接触抛光面进行磨削，同样的加工时间，边缘也跟着下尺寸，边缘依然是低点，中间依然是高点，晶片整体的厚度差（ttv）以及局部厚度差（ltv）差值较大，统称为平整度不好，表面就不合格，针对ttv和ltv的问题，环绕吸附垫本体2的圆周开设第二凹槽4，并使第二凹槽4呈环形，这样在受压过程中，蓝宝石晶片的边缘由于有第二凹槽4，受压过程中下面没有支撑点，边缘就不会先受力，抛光过程中有效抛光时间就会变少，中间的磨削量会略微大于边缘，最终下来整体的厚度差就会达到加工要求，达到良好的ltv和ttv。

而通过与实施例1中技术方案的结合，在同时设置有第一凹槽3和第二凹槽4时，便可使抛光后的蓝宝石晶片具有合格的弯曲度、ltv和ttv。

实施例三：

在实施例二的基础上，进一步的，所述抛光台1上设有连接槽5，所述吸附垫本体2设置于连接槽5内。

通过在抛光台1内设置连接槽5来用于固定吸附垫本体2的位置，连接槽5的槽口朝上，连接槽5的形状与吸附垫本体2的形状相适配；连接槽5的截面和吸附垫本体2的截面均可以设置为圆形，且而在的直接相同。

实施例四：

在实施例三的基础上，进一步的，所述吸附垫本体2的下侧设有连接座6，所述连接座6设置于连接槽5内，所述连接座6的侧壁上设有弧形卡槽7，在所述抛光台1内环绕所述连接槽5的侧壁设置有收纳腔8，所述收纳腔8通过连接孔9与连接槽5相连通，所述收纳腔8内活动连接设有卡块10，所述卡块10从连接孔9穿过并卡设在弧形卡槽7内。

在吸附垫半体2的下侧设置连接座6，使连接座6卡设进连接槽5内，可以实现吸附垫本体2与连接槽5之间的初步连接，在连接座6的侧壁上设置弧形卡槽7，并在收纳腔8内设置卡块10，通过卡块10的横向运动使卡块10的卡设端穿过连接孔9并卡设进弧形卡槽7内，从而实现吸附垫本体2与连接槽5之间的进一步连接。

卡块10设置为多个并环绕连接座6设置，弧形卡槽7与卡块10相适配。

实施例五：

在实施例四的基础上，进一步的，所述连接槽5内设有横板11，所述连接座6设置于横板11上，所述横板11下侧的中部设有推动件12，所述连接槽5的槽底设有控制按钮13，所述推动件13用于推动控制按钮13，所述收纳腔8内横向设有伸缩杆14，所述伸缩杆14的伸缩端与卡块10相连，所述控制按钮13与伸缩杆14信号连接。

在将连接座6放置于连接槽5内后，连接座6将放置于横板11上，通过逐渐将吸附垫本体2往下压，便可带动连接座6在连接槽5内向下运动，从而推动横板11向下运动，由于在横板11的下侧设置有推动件12，推动件12也可逐渐向下运动并顶到控制按钮13，将控制按钮13按下后，便可使伸缩杆14做伸长运动，便可带动卡块10的横向运动，实现卡块10的卡设端穿过连接孔9并卡设进弧形槽7中。

伸缩杆14为现有电动伸缩杆，伸缩杆14与控制按钮13之间的信号连接为现有技术，便不在多做赘述。

实施例六：

在实施例五的基础上，进一步的，所述推动件12呈“t”字形，包括一体成型的横部121和竖部122，所述横部121的上侧与横板11相连，所述竖部122的上端与横部121下侧的中段相连，所述竖部122的下端用于推动控制按钮13，所述横部121的下侧设有第一弹簧123，所述竖部122位于第一弹簧123的内侧，所述第一弹簧123的下端与连接槽5的槽底相连。

推动件12具体可以设置为一体成型的横部121和竖部122，横部121起到连接竖部122和横板11的作用，竖部122的下端具体起到按动控制按钮13的作用。

抛光台1的一侧还设置有控制伸缩杆14收缩的按钮，通过按动收缩按钮，便可使伸缩杆14收缩，然后便可带动卡块10收回带收纳腔8内，由于在横部121的下侧设置有第一弹簧123，在下压的过程中，第一弹簧123逐渐缩短，此时，当上侧未限位时，第一弹簧123便可做伸长运动，从而带动推动件12向上运动，便可使横板11向上运动，进而将连接座6和吸附垫本体2弹出，便于将吸附垫本体2从连接槽5内取出。

实施例七：

在实施例六的基础上，进一步的，所述横板11下侧竖向设置有若干个第二弹簧15，所述若干个第二弹簧15在横板11的下侧呈周向分布。

通过设置多个第二弹簧15，可以使横板11受力更加均衡，使得横板11在乡下运动的过程中能更加平稳的运动。使多个第二弹簧15在横板11的下侧沿同一圆周均匀分布，可以进一步保持受力均匀。

实施例八：

在实施例七的基础上，进一步的，所述卡块10包括卡设部101和连接部102，所述连接部102的一侧与所述伸缩杆14的伸缩端相连，另一侧与卡设部101相连，在卡块10卡设进弧形卡槽7内时，所述卡设部101从连接孔9穿过并卡设在弧形卡槽7内，所述连接部102位于收纳腔8内。

卡块10具体可以包括一体成型的卡设部101和连接部102，卡设部101的形状与弧形卡槽7的形状相适配，并且卡设部101可以设置为多个，并在连接部102上从上至下均匀分布，具体的可以设置为3个。

卡设部101具体起到卡设进弧形卡槽7的作用，连接部102起到连接伸缩杆14和卡设部101的作用，使卡设部101能通过伸缩杆14带动运动。

实施例九：

在实施例八的基础上，进一步的，所述收纳腔8的底部横向滑动连接设有第一滑板16，所述收纳腔8在与连接槽5相连的一侧的侧壁上竖向滑动连接设有第二滑板17，所述第一滑板16上侧的中段转动连接设有连接杆18，所述转动杆18与第二滑板17一侧的中段转动相连，所述第二滑板17用于封堵所述连接孔9。

收纳腔8在与连接槽5相连的一侧的侧壁上设置有滑槽，第二滑板17滑动连接设置在滑槽内，第二滑板17与滑槽槽底相接触的一侧设置有滑轮，便于第二滑板17的滑动，同时滑槽还起到限位的效果，保证第二滑板17只能在竖向进行滑动。

通过第一滑板16的横向运动，便可带动第二滑板17的竖向运动，当第一滑板16靠近第二滑板17的一侧滑动时，第二滑板17向上运动，当第一滑板16远离第二滑板17的一侧滑动时，第二滑板17向下运动，连接杆18的两端分别转动连接设置在第一滑板16和第二滑板17上，起到连接和传动的作用。

具体的，连接杆18的一端可以转动连接设置在第一滑板16上侧的中段，另一端可以转动连接设置在第二滑板17靠近第一滑杆16一侧的中段。

在不进行抛光处理时，第二滑板17向上滑动后将连接孔9进行封堵，避免收纳腔8内进入灰尘而影响收纳腔8内原件的工作；在进行抛光处理使，第二滑板17向下滑动使连接孔9敞开，从而使卡块10的卡设部101能从连接孔9穿过。

实施例十：

在实施例九的基础上，进一步的，所述收纳腔8在与连接槽5相连的一侧的侧壁上设有卷线转轴19，所述卷线转轴19位于第二滑板17的下侧，所述第一滑板16上设有导向轮20，所述卷线转轴19上缠绕连接设有连接线，所述连接线从导向轮20穿过后折回到卷线转轴19的一侧并与收纳腔8的内壁相连，所述卷线转轴19与所述控制按钮13信号连接。

按下控制按钮13可以使卷线转轴19松开，控制按钮13松开后，卷线转轴19进行收线运动。

在按下控制按钮13后，卷线转轴19松开，此时第二滑板17便可在重力的作用下往下滑动，进而带动第一滑板16朝着远离第二滑板17的一侧滑动，此时连接线逐渐从卷线转轴19中卷出，并且随着第二滑板17的逐渐向下滑动，便可使连接孔9敞开，此时卡块10的卡设部101便可从连接孔9穿过并卡设进弧形卡槽7中。

在伸缩杆14收缩使连接座6和吸附垫本体2弹出后，控制按钮13处于松开状态，此时便可使卷线转轴19做收线运动，使连接线收回卷线转轴19中，此时便可带动第一滑板16朝着第二滑板17的一侧滑动，进而使第二滑板17将连接孔9进行封堵，避免灰尘进入收纳腔8中。

尽管这里参照本发明的多个解释性实施例对本发明进行了描述，但是，应该理解，本领域技术人员可以设计出很多其他的修改和实施方式，这些修改和实施方式将落在本申请公开的原则范围和精神之内。更具体地说，在本申请公开、附图和权利要求的范围内，可以对主题组合布局的组成部件和/或布局进行多种变型和改进。除了对组成部件和/或布局进行的变形和改进外，对于本领域技术人员来说，其他的用途也将是明显的。