一种内置于真空腔体的磁钢摆动式端头组件的制作方法

本发明涉及磁控溅射镀膜的端头设备领域，尤其涉及一种内置于真空腔体的磁钢摆动式端头组件。

背景技术：

在旋转阴极连续镀膜生产线上，端头带动靶材旋转，在满足一定的工艺环境要求下，将靶材溅射到玻璃基片上，以获得符合产品要求的膜层。

现有设备中，包括以下三种结构：1、端头内置于真空腔体且磁钢静止不动式；2、端头外置于真空腔体且磁钢静止不动式；3、端头外置于真空腔体且磁钢摆动式。

如图1所示，为端头内置于真空腔体且磁钢静止不动式的结构，此端头结构主要缺点是：磁钢无法摆动，影响靶材溅射速率及成膜均一性。

如图2所示，为端头外置于真空腔体且磁钢静止不动式的结构，此端头结构主要缺点是：磁钢无法摆动，端头外形尺寸稍大，占用较大空间。

如图3所示，端头外置于真空腔体且磁钢摆动式的结构，此端头结构主要缺点是：端头外形尺寸较大，占用更多空间，不利于整线布局，使用较为不便。

因此，如何获得更好的靶材溅射沉积速率以及更小的安装空间，以及如何优化产线布局，是需要解决的问题。

技术实现要素：

(一)发明目的

为解决背景技术中存在的技术问题，本发明提出一种内置于真空腔体的磁钢摆动式端头组件，具有更好的靶材溅射沉积速率，以及更小的安装空间和更加优化的产线布局。

(二)技术方案

为解决上述问题，本发明提供了一种内置于真空腔体的磁钢摆动式端头组件，包括装置本体、磁钢、靶管、磁钢芯轴、轴承、盖板、端头、第一传动部件、第二传动部件、靶管旋转传动件和磁钢摆动传动件；

磁钢与靶管均转动设置在装置本体内部；装置本体设置在端头的上方；盖板设置在端头的一侧；其中，盖板朝向装置本体与端头的一侧为真空环境，盖板另一侧为大气环境；

磁钢的底部与磁钢芯轴连接；磁钢芯轴转动安装在端头内部，其中，磁钢芯轴顶部和中部的外周均设置有轴承，轴承设置在端头内部；磁钢芯轴下部与第一传动部件传动连接；

靶管与端头通过卡箍连接，磁钢设置在靶管内部；靶管的下部与第二传动部件传动连接；

磁钢摆动传动件的一端穿过盖板伸入端头内部并与第一传动部件传动连接，其另一端与马达动力连接；

靶管旋转传动件的一端穿过盖板伸入端头内部并与第二传动部件传动连接，其另一端连接动力机构。

优选的，马达上设有用于控制马达转动角度的控制器和控制系统。

本发明的上述技术方案具有如下有益的技术效果：

本发明中，靶管溅射沉积速率更高，膜层均一性更好，相比于磁钢静止不动时的效果更好，具有更小的安装空间和更加优化的产线布局。

本发明中，实现磁钢在靶管内部旋转的过程，马达通过磁钢摆动传动件、第一传动部件而带动磁钢的摆动，控制器和控制系统用于控制马达旋转角度，从而实现对磁钢的摆动的角度的控制。

附图说明

图1为现有技术中，端头内置且磁钢静止不动式的结构示意图。

图2为现有技术中，端头外置且磁钢静止不动式的结构示意图。

图3为现有技术中，端头外置且磁钢摆动式的结构示意图。

图4为本发明提出的内置于真空腔体的磁钢摆动式端头组件的结构示意图。

图5为本发明提出的内置于真空腔体的磁钢摆动式端头组件的侧视图。

具体实施方式

为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚明了，下面结合具体实施方式并参照附图，对本发明进一步详细说明。应该理解，这些描述只是示例性的，而并非要限制本发明的范围。此外，在以下说明中，省略了对公知结构和技术的描述，以避免不必要地混淆本发明的概念。

如图4-5所示，本发明提出的一种内置于真空腔体的磁钢摆动式端头组件，包括装置本体3、磁钢1、靶管2、磁钢芯轴6、轴承7、盖板4、端头5、第一传动部件8、第二传动部件、靶管旋转传动件9和磁钢摆动传动件10；

磁钢1与靶管2均转动设置在装置本体3内部；装置本体3设置在端头5的上方；盖板4设置在端头5的一侧；其中，盖板4朝向装置本体3与端头5的一侧为真空环境，盖板4另一侧为大气环境；

磁钢1的底部与磁钢芯轴6连接；磁钢芯轴6转动安装在端头5内部，其中，磁钢芯轴6顶部和中部的外周均设置有轴承7，轴承7设置在端头5内部；磁钢芯轴6下部与第一传动部件8传动连接；

靶管2与端头5通过卡箍连接，磁钢1设置在靶管2内部；靶管2的下部与第二传动部件传动连接；

磁钢摆动传动件10的一端穿过盖板4伸入端头5内部并与第一传动部件8传动连接，其另一端与马达动力连接；

靶管旋转传动件9的一端穿过盖板4伸入端头5内部并与第二传动部件传动连接，其另一端连接动力机构。

本发明中，采用端头内置且磁钢摆动是结构；在靶管2旋转的过程中，磁钢1同时能够在一定的角度范围内匀速摆动，使得靶管2溅射沉积速率更高，膜层均一性更好，相比于磁钢静止不动时的效果更好；即，本设备具有更好的靶材溅射沉积速率，以及更小的安装空间和更加优化的产线布局。

本发明中，磁钢芯轴6为自转动结构，磁钢芯轴6顶部和中部的外周均设置有轴承7，轴承7设置在端头5内部，以实现磁钢1在靶管2内部旋转的过程。其中，马达通过磁钢摆动传动件10、第一传动部件8而带动磁钢1的摆动。

在一个可选的实施例中，马达上设有用于控制马达转动角度的控制器和控制系统。

本发明中，控制器和控制系统用于控制马达旋转角度，从而实现对磁钢1的摆动的角度的控制。

应当理解的是，本发明的上述具体实施方式仅仅用于示例性说明或解释本发明的原理，而不构成对本发明的限制。因此，在不偏离本发明的精神和范围的情况下所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。此外，本发明所附权利要求旨在涵盖落入所附权利要求范围和边界、或者这种范围和边界的等同形式内的全部变化和修改例。

技术特征：

1.一种内置于真空腔体的磁钢摆动式端头组件，其特征在于，包括装置本体(3)、磁钢(1)、靶管(2)、磁钢芯轴(6)、轴承(7)、盖板(4)、端头(5)、第一传动部件(8)、第二传动部件、靶管旋转传动件(9)和磁钢摆动传动件(10)；

磁钢(1)与靶管(2)均转动设置在装置本体(3)内部；装置本体(3)设置在端头(5)的上方；盖板(4)设置在端头(5)的一侧；其中，盖板(4)朝向装置本体(3)与端头(5)的一侧为真空环境，盖板(4)另一侧为大气环境；

磁钢(1)的底部与磁钢芯轴(6)连接；磁钢芯轴(6)转动安装在端头(5)内部，其中，磁钢芯轴(6)顶部和中部的外周均设置有轴承(7)，轴承(7)设置在端头(5)内部；磁钢芯轴(6)下部与第一传动部件(8)传动连接；

靶管(2)与端头(5)通过卡箍连接，磁钢(1)设置在靶管(2)内部；靶管(2)的下部与第二传动部件传动连接；

磁钢摆动传动件(10)的一端穿过盖板(4)伸入端头(5)内部并与第一传动部件(8)传动连接，其另一端与马达动力连接；

靶管旋转传动件(9)的一端穿过盖板(4)伸入端头(5)内部并与第二传动部件传动连接，其另一端连接动力机构。

2.根据权利要求1所述的内置于真空腔体的磁钢摆动式端头组件，其特征在于，马达上设有用于控制马达转动角度的控制器和控制系统。

技术总结
一种内置于真空腔体的磁钢摆动式端头组件，包括装置本体、磁钢、靶管、磁钢芯轴、轴承、盖板、端头、第一传动部件、第二传动部件、靶管旋转传动件和磁钢摆动传动件；磁钢与靶管均转动设置在装置本体内部；装置本体设置在端头的上方；磁钢的底部与磁钢芯轴连接；磁钢芯轴转动安装在端头内部，磁钢芯轴外周设置有轴承；磁钢芯轴下部与第一传动部件传动连接；靶管设置在磁钢的外周，靶管的下部与第二传动部件传动连接；磁钢摆动传动件一端与第一传动部件传动连接，另一端与马达动力连接；靶管旋转传动件的一端与第二传动部件传动连接，另一端连接动力机构。本发明中，具有更好的靶材溅射沉积速率，以及更小的安装空间和更加优化的产线布局。

技术研发人员：朱世元;闫乃明
受保护的技术使用者：深圳市金耀玻璃机械有限公司
技术研发日：2019.08.30
技术公布日：2019.11.15