1.一种沉积装置，其包括：
蒸发源，所述蒸发源包括容纳沉积原料的坩埚、支撑在所述坩埚外部的加热器单元和支撑在所述加热器单元外部的冷却单元；
腔室，所述腔室中容纳有所述蒸发源，并提供放置沉积基板的沉积空间；
重量测量设备，所述重量测量设备设置在所述腔室内，并被配置成检测所述蒸发源的总重量；和
控制器，所述控制器设置在所述腔室外部，并被配置成向所述重量测量设备发送信号和从所述重量测量设备接收信号。
2.如权利要求1所述的沉积装置，其还包括：
多个支撑件，所述多个支撑件设置在所述冷却单元下方并被配置成在所述重量测量设备上支撑所述蒸发源。
3.如权利要求2所述的沉积装置，其中，所述支撑件可拆卸地固定在所述重量测量设备上。
4.如权利要求2所述的沉积装置，其中，所述支撑件包括承受真空压力的材料。
5.如权利要求1所述的沉积装置，其中，所述重量测量设备包括测压元件、压电元件和电子秤中的一种。
6.如权利要求2所述的沉积装置，其中，在对应于所述支撑件的位置处设置多个所述重量测量设备。
7.如权利要求1所述的沉积装置，其中，所述控制器实时接收由所述重量测量设备测量的重量，并且基于所测量的重量的变化来计算所述沉积原料的剩余量。
8.如权利要求6所述的沉积装置，其中，所述控制器考虑每个重量测量设备的安装位置来计算所述沉积原料的剩余量。