一种高热传导的新型等离子源的制作方法

本实用新型涉及离子束溅射或离子束刻蚀设备中的离子束发射源技术领域，具体为一种高热传导的新型等离子源。

背景技术：

在光学薄膜领域，离子束辅助沉积是一种将薄膜沉积与离子轰击融为一体的光学表面镀膜技术，通常是在高真空中利用荷能离子轰击正在沉积的薄膜，从而获得具有特殊效果的膜层。

在镀膜过程中，由于外来离子对凝聚中粒子的动量传递，使得膜料粒子在基底表面的迁移率增加，并因此影响粒子的凝结及薄膜生长速率，从而可使薄膜的堆积密度接近于1，大幅度提高了膜层与基底的附着力。

传统的等离子源中的金属块和阳极之间安装的陶瓷片为绝热绝缘的陶瓷片，绝热绝缘的陶瓷片无法使得金属块上的高热量高效的传递给阳极，易导致电子大量积聚在金属块上，而造成金属块的放电，进而损坏等离子源，使得等离子源无法正常的工作，降低了等离子源的使用寿命。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种高热传导的新型等离子源，以解决上述背景技术中提出的问题。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供如下技术方案：一种高热传导的新型等离子源，包括等离子源本体，所述等离子源本体中安装设有阳极，所述阳极上部设有金属块，所述金属块和阳极之间安装有导热绝缘陶瓷片，所述导热绝缘陶瓷片沿周边缘延伸有凸起部。

所述导热绝缘陶瓷片的表面设有若干微小的凹槽。

与现有技术相比，本实用新型所达到的有益效果是：

1.本实用新型在金属块和阳极之间安装有导热绝缘陶瓷片，该陶瓷片具有导热绝缘的作用，可将金属块上的高热量高效的传递给阳极，避免金属块上的电子大量的积聚，进而避免了金属块的放电，使得等离子源可正常的工作，延长了等离子源的使用寿命；

2.本实用新型中的导热绝缘陶瓷片沿周边缘延伸有凸起部可卡紧住金属块和阳极，可起到稳定金属块和阳极的作用，同时，可增大导热绝缘陶瓷片的面积，进而提高了传热的效率。

3.本实用新型中的导热绝缘陶瓷片的表面设有若干微小的凹槽，微小的凹槽增大了导热绝缘陶瓷片的面积，进而提高了传热的效率，同时提高了导热绝缘陶瓷片的粗糙度，保证了金属块和阳极安装的稳定性。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是本实用新型中导热绝缘陶瓷片的示意图；

图3是图2中a-a处的剖面图；

图中：1等离子源本体；2阳极；3金属块；4导热绝缘陶瓷片；41凹槽。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3，本实用新型提供技术方案：一种高热传导的新型等离子源，包括等离子源本体1，等离子源本体1中安装设有阳极2，阳极2上部设有金属块3，金属块3和阳极2之间安装有导热绝缘陶瓷片4，导热绝缘陶瓷片4沿周边缘延伸有凸起部。

导热绝缘陶瓷片4的表面设有若干微小的凹槽41。

本实用新型在金属块和阳极之间安装有导热绝缘陶瓷片，该陶瓷片具有导热绝缘的作用，可将金属块上的高热量高效的传递给阳极，避免金属块上的电子大量的积聚，进而避免了金属块的放电，使得等离子源可正常的工作，延长了等离子源的使用寿命；导热绝缘陶瓷片沿周边缘延伸有凸起部可卡紧住金属块和阳极，可起到稳定金属块和阳极的作用，同时，可增大导热绝缘陶瓷片的面积，进而提高了传热的效率；导热绝缘陶瓷片的表面设有若干微小的凹槽，微小的凹槽增大了导热绝缘陶瓷片的面积，进而提高了传热的效率，同时提高了导热绝缘陶瓷片的粗糙度，保证了金属块和阳极安装的稳定性。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

技术特征：

1.一种高热传导的新型等离子源，包括等离子源本体(1)，其特征在于：所述等离子源本体(1)中安装设有阳极(2)，所述阳极(2)上部设有金属块(3)，所述金属块(3)和阳极(2)之间安装有导热绝缘陶瓷片(4)，所述导热绝缘陶瓷片(4)沿周边缘延伸有凸起部。

2.根据权利要求1所述的一种高热传导的新型等离子源，其特征在于：所述导热绝缘陶瓷片(4)的表面设有若干微小的凹槽(41)。

技术总结
本实用新型提供了一种高热传导的新型等离子源，包括等离子源本体，等离子源本体中安装设有阳极，阳极上部设有金属块，金属块和阳极之间安装有导热绝缘陶瓷片，导热绝缘陶瓷片沿周边缘延伸有凸起部。本实用新型在金属块和阳极之间安装有导热绝缘陶瓷片，该陶瓷片具有导热绝缘的作用，可将金属块上的高热量高效的传递给阳极，避免金属块上的电子大量的积聚，进而避免了金属块的放电，使得等离子源可正常的工作，延长了等离子源的使用寿命，同时提高了金属块和阳极安装的稳定性。

技术研发人员：徐鸣;唐欢欢;安建昊
受保护的技术使用者：江苏微凯机械有限公司
技术研发日：2020.10.13
技术公布日：2021.08.03