一种镀膜设备的阴极布气结构的制作方法

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，具体是一种镀膜设备的阴极布气结构。

背景技术：

真空镀膜技术包括物理气相沉积(pvd)和化学气相沉积(cvd)，已经在很多领域得到广泛应用，如太阳能光伏、光热、led、磁存储材料制备等，近年尤甚，气氛均匀性是影响大面积薄膜材料均匀性的关键因素之一，保证大范围的气氛均匀性，才能保证大面积薄膜材料性能，以及规模化生产效率。在真空镀膜行业中，考证产品质量的一个重要指标是镀膜均匀性，影响其主要的因素是电场、磁场以及真空室的布气系统，传统的布气管道采用单管输气，在布气过程中，总是接近管道进气口的压力要高于远端压力，这样由于布气的不均匀造成了镀膜品质的下降。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种镀膜设备的阴极布气结构，以解决背景技术中的技术问题。

为实现前述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种镀膜设备的阴极布气结构，包括进气板和出气板，所述出气板安装在进气板下方，所述进气板上设有一主进气口，所述主进气口通过主气管连通若干个副进气口，所述出气板上设有若干条用于布气的气道，所述副进气口与气道连通，所述气道上设有若干个出气孔。

所述主进气口的左右两端对称设有两个副进气口，所述主进气口左侧的两个副进气口上下排布且相通形成第一副进气口组，所述主进气口右侧的两个副进气口上下排布且相通形成第二副进气口组，所述出气板上设有四条互不相通的沿着横向布置的气道分别与对应的副进气口相连通，所述气道上分别均布有出气孔。

所述主进气口的左右两端对称设有一个副进气口，分别为左副进气口和右副进气口，所述出气板上设有左气道和右气道与左副进气口和右副进气口连通，所述左气道和右气道的结构对称，所述左气道和右气道均为“h”型结构，所述左气道和右气道上分别均布有出气孔。

所述进气板的下方设有安装槽用于安装出气板。

所述出气孔的直径为0.3-3mm。

与现有技术相比，本实用新型提供的一种镀膜设备的阴极布气结构，通过二次布气和多种组合的布气结构，达到了布气的均匀性，能减少设备抽气对阴极布气的影响，保证了镀膜的品质，另外，进气板和出气板分成两层，易于组装，其加工制造成本也低，连方便后期的保养和维修。

附图说明

图1：一种镀膜设备的阴极布气结构立体结构示意图；

图2：一种镀膜设备的阴极布气结构主视图；

图3：进气板的底部结构示意图；

图4：出气板的立体结构示意图；

图5：实施例2中的进气板俯视图结构；

图6：实施例2中的出气板俯视图结构。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。

具体实施例1：请参阅图1到图4，本实用新型实施例中，一种镀膜设备的阴极布气结构，包括进气板1和出气板2，所述出气板2安装在进气板1下方，所述进气板1的下方设有安装槽101用于安装出气板2。所述进气板1上设有一主进气口3，所述主进气口3通过主气管5连通若干个副进气口4，所述出气板2上设有若干条用于布气的气道201，所述副进气口4与气道201连通，所述气道201上设有若干个出气孔201-1。

所述主进气口3的左右两端对称设有两个副进气口4，所述主进气口3左侧的两个副进气口4上下排布且相通形成第一副进气口组，所述主进气口3右侧的两个副进气口4上下排布且相通形成第二副进气口组，所述出气板2上设有四条互不相通的沿着横向布置的气道201分别与对应的副进气口4相连通，所述出气板2的左侧上下两端分别设有平行设置的两个气道201对应与第一副进气口组连通，所述出气板2的右侧上下两端分别设有平行设置的两个气道201对应与第二副进气口组连通，所述气道201上出气孔201-1的直径为0.3-3mm，本实施例采用的出气孔201-1直径为0.8mm。

具体实施例2：请参阅图5和图6，在实施例1的基础上，在所述进气板1上的主进气口3的左右两端对称设有一个副进气口4，分别为左副进气口和右副进气口，所述出气板2上设有左气道201和右气道201与左副进气口和右副进气口连通，所述左气道201和右气道201的结构对称，所述左气道201和右气道201均为“h”型结构，所述左气道201和右气道201上出气孔201-1的直径为0.3-3mm，本实施例采用的出气孔201-1直径为1mm。

与现有技术相比，本实用新型提供的一种镀膜设备的阴极布气结构，通过二次布气和多种组合的布气结构，达到了布气的均匀性，能减少设备抽气对阴极布气的影响，保证了镀膜的品质，另外，进气板和出气板分成两层，易于组装，其加工制造成本也低，连方便后期的保养和维修。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于前述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是前述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

技术特征：

1.一种镀膜设备的阴极布气结构，其特征在于：包括进气板和出气板，所述出气板安装在进气板下方，所述进气板上设有一主进气口，所述主进气口通过主气管连通若干个副进气口，所述出气板上设有若干条用于布气的气道，所述副进气口与气道连通，所述气道上设有若干个出气孔。

2.根据权利要求1所述的一种镀膜设备的阴极布气结构，其特征在于：所述主进气口的左右两端对称设有两个副进气口，所述主进气口左侧的两个副进气口上下排布且相通形成第一副进气口组，所述主进气口右侧的两个副进气口上下排布且相通形成第二副进气口组，所述出气板上设有四条互不相通的沿着横向布置的气道分别与对应的副进气口相连通，所述气道上分别均布有出气孔。

3.根据权利要求1所述的一种镀膜设备的阴极布气结构，其特征在于：所述主进气口的左右两端对称设有一个副进气口，分别为左副进气口和右副进气口，所述出气板上设有左气道和右气道与左副进气口和右副进气口连通，所述左气道和右气道的结构对称，所述左气道和右气道均为“h”型结构，所述左气道和右气道上分别均布有出气孔。

4.根据权利要求1所述的一种镀膜设备的阴极布气结构，其特征在于：所述进气板的下方设有安装槽用于安装出气板。

5.根据权利要求1-3任一所述的一种镀膜设备的阴极布气结构，其特征在于：所述出气孔的直径为0.3-3mm。

技术总结
本实用新型提供的一种镀膜设备的阴极布气结构，包括进气板和出气板，所述出气板安装在进气板下方，所述进气板上设有一主进气口，所述主进气口通过主气管连通若干个副进气口，所述出气板上设有若干条用于布气的气道，所述副进气口与气道连通，所述气道上设有若干个出气孔。与现有技术相比，本实用新型提供的一种镀膜设备的阴极布气结构，通过二次布气和多种组合的布气结构，达到了布气的均匀性，能减少设备抽气对阴极布气的影响，保证了镀膜的品质，另外，进气板和出气板分成两层，易于组装，其加工制造成本也低，连方便后期的保养和维修。

技术研发人员：林海天;胡致富;李立升
受保护的技术使用者：东莞市华升真空镀膜科技有限公司
技术研发日：2020.11.18
技术公布日：2021.07.30