一种阴极挡板的驱动结构的制作方法

本实用新型涉及真空镀膜机领域，特别涉及一种真空镀膜机的阴极挡板的驱动结构。

背景技术：

随着真空镀膜技术的发展，出现了多元复合涂层以及多层复合涂层等各种新型膜系，因此需要镀膜装备具备多组阴极，多组阴极能够同时工作，并且多组阴极同时工作还能提高工业生产中的镀膜生产效率。

目前大型工业生产中使用的主流镀膜设备，其中的挡板设计为开合式挡板，现有技术中的开合型挡板的开合驱动结构十分复杂，从而导致该开合型挡板占用腔体的空间大，从而增加了设备的成本。

技术实现要素：

本实用新型的目的时提供一种结构简单、可以节省腔体空间，降低设备成本的真空镀膜机的阴极挡板的驱动结构。

为了实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种阴极挡板的驱动结构，包括驱动气缸、铰链结构、腔体和阴极挡板，所述阴极挡板的两端分别可转动的安装在腔体上，所述阴极挡板的一端与链接结构的一端相链接，所述铰链结构的另一端与驱动气缸的活塞杆铰接，所述驱动气缸通过铰链结构可驱动阴极挡板做旋转开合运动。

进一步的，所述铰链结构包括第一铰链部和第二铰链部，所述阴极挡板包括左阴极挡板和右阴极挡板，所述第一铰链部的下端铰接在左阴极挡板上，所述第二铰链部的下端铰接在右阴极挡板上。

进一步的，所述第一铰链部包括第一连杆和第二连杆，所述第一连杆的下端与第二连杆的上端之间通过第一接驳槽和第一螺丝固定连接。

进一步的，所述左阴极挡板的前端面设置有多个第一安装孔，所述第一安装孔用于与第二连杆铰接，所述第二连杆通过第一垫片和第一螺栓安装在第一安装孔上。

进一步的，所述第二铰链部包括第三连杆和第四连杆，所述第三连杆的下端与第四连杆的上端之间通过第二接驳槽和第二螺丝固定连接。

进一步的，所述右阴极挡板的前端面设置有多个第二安装孔，所述第二安装孔用于与第四连杆铰接，所述第四连杆通过第二垫片和第二螺栓安装在第二安装孔上。

进一步的，所述驱动气缸包括活塞杆、波纹管金属机械密封件、气缸筒、气缸顶盖、第一密封部和第二密封部，所述活塞杆通过波纹管金属机械密封件安装在气缸筒内，所述活塞杆可在气缸筒内做升降运动，所述气缸顶盖设置在气缸筒顶部，所述第一密封部安装在气缸顶盖上，所述第二密封部安装在气缸顶盖内，所述第一密封部和第二密封部用于对气缸顶盖进行密封，所述波纹管金属机械密封件用于对活塞杆在气缸筒内进行密封。

进一步的，所述活塞杆的下端分别与第三连杆和第一连杆的上端相铰接。

本实用新型的有益效果为：

本实用新型的驱动气缸通过铰链结构连接阴极挡板，当需要打开阴极挡板时，驱动气缸驱动铰链结构下降，从而将阴极挡板打开，当需要闭合阴极挡板时，则驱动气缸驱动铰链结构上升，从而将阴极挡板关闭，本实用新型整体的驱动结构只需要设置一组即可实现对阴极挡板的开合而且阴极挡板的开合控制在有限的空间内，同时也保证阴极挡板的功能，还大大的节省了腔体空间，降低了设备的成本。

附图说明

图1是本实用新型的局部剖视图；

图2是本实用新型铰链结构和阴极挡板的局部剖视图；

图3是本实用新型驱动气缸的剖视图。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型进行进一步说明：

如图1到图3所示的，一种阴极挡板的驱动结构，包括驱动气缸1、铰链结构2、腔体3和阴极挡板4，所述阴极挡板4的两端分别可转动的安装在腔体3上，所述阴极挡板4的一端与链接结构2的一端相链接，所述铰链结构2的另一端与驱动气缸1的活塞杆铰接，所述驱动气缸1通过铰链结构2可驱动阴极挡板4做旋转开合运动。

本实用新型的驱动气缸1通过铰链结构2连接阴极挡板4，当需要打开阴极挡板4时，驱动气缸1驱动铰链结构2下降，从而将阴极挡板4打开，当需要闭合阴极挡板4时，则驱动气缸1驱动铰链结构2上升，从而将阴极挡板4关闭，本实用新型整体的驱动结构只需要设置一组即可实现对阴极挡板4的开合而且阴极挡板4的开合控制在有限的空间内，同时也保证阴极挡板4的功能，还大大的节省了腔体空间，降低了设备的成本。

本实施例中，所述铰链结构包括第一铰链部和第二铰链部，所述阴极挡板包括左阴极挡板41和右阴极挡板42，所述第一铰链部的下端铰接在左阴极挡板41上，所述第二铰链部的下端铰接在右阴极挡板42上。

本实施例中，所述第一铰链部包括第一连杆211和第二连杆212，所述第一连杆211的下端与第二连杆212的上端之间通过第一接驳槽213和第一螺丝214固定连接。通过将第一铰链部设置成两段，一段为第一连杆211，另一端为第二连杆212，第一连杆211的下端与第二连杆212的上端之间通过第一接驳槽213和第一螺丝214固定连接，从而大大的方便了第一交接部的安装。

本实施例中，所述左阴极挡板41的前端面设置有多个第一安装孔411，所述第一安装孔411用于与第二连杆212铰接，所述第二连杆212通过第一垫片和第一螺栓216安装在第一安装孔411上。设置多个第一安装孔411，从而可以方便左阴极挡板41的开合的角度进行调节。

本实施例中，所述第二铰链部包括第三连杆221和第四连杆222，所述第三连杆221的下端与第四连杆222的上端之间通过第二接驳槽223和第二螺丝224固定连接。

本实施例中，所述右阴极挡板的前端面设置有多个第二安装孔412，所述第二安装孔412用于与第四连杆222铰接，所述第四连杆222通过第二垫片和第二螺栓226安装在第二安装孔412上。

本实施例中，所述驱动气缸包括活塞杆11、波纹管金属机械密封件12、气缸筒13、气缸顶盖14、第一密封部15和第二密封部16，所述活塞杆11通过波纹管金属机械密封件12安装在气缸筒13内，所述活塞杆11可在气缸筒13内做升降运动，所述气缸顶盖14设置在气缸筒13顶部，所述第一密封部15安装在气缸顶盖14上，所述第二密封16部安装在气缸顶盖14内，所述第一密封部15和第二密封部16用于对气缸顶盖14进行密封，所述波纹管金属机械密封件12用于对活塞杆11在气缸筒13内进行密封。本实施例中采用波纹管金属机械密封件12具有强度高，柔性好，重量轻等特点，而且由于活塞杆11是做直线运动的，而油封结构一般用于转动中的密封，因此相对于使用油封结构对活塞杆进行密封，波纹管金属机械密封件12具有更稳定的性能和更耐用的优点。

本实施例中，所述活塞杆11的下端分别与第三连杆221和第一连杆211的上端相铰接。

以上所述并非对本实用新型的技术范围作任何限制，凡依据本实用新型技术实质对以上的实施例所作的任何修改、等同变化与修饰，均仍属于本实用新型的技术方案的范围内。

技术特征：

1.一种阴极挡板的驱动结构，其特征在于：包括驱动气缸、铰链结构、腔体和阴极挡板，所述阴极挡板的两端分别可转动的安装在腔体上，所述阴极挡板的一端与链接结构的一端相链接，所述铰链结构的另一端与驱动气缸的活塞杆铰接，所述驱动气缸通过铰链结构可驱动阴极挡板做旋转开合运动。

2.根据权利要求1所述的一种阴极挡板的驱动结构，其特征在于：所述铰链结构包括第一铰链部和第二铰链部，所述阴极挡板包括左阴极挡板和右阴极挡板，所述第一铰链部的下端铰接在左阴极挡板上，所述第二铰链部的下端铰接在右阴极挡板上。

3.根据权利要求2所述的一种阴极挡板的驱动结构，其特征在于：所述第一铰链部包括第一连杆和第二连杆，所述第一连杆的下端与第二连杆的上端之间通过第一接驳槽和第一螺丝固定连接。

4.根据权利要求3所述的一种阴极挡板的驱动结构，其特征在于：所述左阴极挡板的前端面设置有多个第一安装孔，所述第一安装孔用于与第二连杆铰接，所述第二连杆通过第一垫片和第一螺栓安装在第一安装孔上。

5.根据权利要求2所述的一种阴极挡板的驱动结构，其特征在于：所述第二铰链部包括第三连杆和第四连杆，所述第三连杆的下端与第四连杆的上端之间通过第二接驳槽和第二螺丝固定连接。

6.根据权利要求5所述的一种阴极挡板的驱动结构，其特征在于：所述右阴极挡板的前端面设置有多个第二安装孔，所述第二安装孔用于与第四连杆铰接，所述第四连杆通过第二垫片和第二螺栓安装在第二安装孔上。

7.根据权利要求5所述的一种阴极挡板的驱动结构，其特征在于：所述驱动气缸包括活塞杆、波纹管金属机械密封件、气缸筒、气缸顶盖、第一密封部和第二密封部，所述活塞杆通过波纹管金属机械密封件安装在气缸筒内，所述活塞杆可在气缸筒内做升降运动，所述气缸顶盖设置在气缸筒顶部，所述第一密封部安装在气缸顶盖上，所述第二密封部安装在气缸顶盖内，所述第一密封部和第二密封部用于对气缸顶盖进行密封，所述波纹管金属机械密封件用于对活塞杆在气缸筒内进行密封。

8.根据权利要求7所述的一种阴极挡板的驱动结构，其特征在于：所述活塞杆的下端分别与第三连杆和第一连杆的上端相铰接。

技术总结
本实用新型提供了一种阴极挡板的驱动结构，包括驱动气缸、铰链结构、腔体和阴极挡板，所述阴极挡板的两端分别可转动的安装在腔体上，所述阴极挡板的一端与链接结构的一端相链接，所述铰链结构的另一端与驱动气缸的活塞杆铰接，所述驱动气缸通过铰链结构可驱动阴极挡板做旋转开合运动。本实用新型整体的驱动结构只需要设置一组即可实现对阴极挡板的开合而且阴极挡板的开合控制在有限的空间内，同时也保证阴极挡板的功能，还大大的节省了腔体空间，降低了设备的成本。

技术研发人员：林海天;胡致富;李立升
受保护的技术使用者：东莞市华升真空镀膜科技有限公司
技术研发日：2020.11.18
技术公布日：2021.07.30