一种化学气相沉积炉及其电极加热装置的制作方法

本实用新型涉及加热炉技术领域，特别涉及一种化学气相沉积炉及其电极加热装置。

背景技术：

化学气相沉积是一种化工技术，该技术主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法。对于碳碳坩埚而言，即将浸渍后的碳纤维编织体在加热炉中进行高温处理，使其内部组织、结构趋于稳定。然而，现有加热炉内部的加热装置占用较多空间，安装、布置形式不尽合理，有必要对其进行改进。

技术实现要素：

有鉴于此，本实用新型的目的在于提供一种化学气相沉积炉及其电极加热装置，旨在保证加热要求的前提下，充分利用加热炉内部空间，以适应产品加热需求。

为实现以上目的，本实用新型采用的技术方案如下：

首先，本实用新型提供了一种电极加热装置，包括：三组呈环形阵列均布设置的加热组件；所述加热组件包括：截面为v形的上导电板、下导电板，以及电加热棒；所述上导电板、下导电板相对设置，且v形顶点朝向环形中心设置；所述电加热棒两端分别通过紧固机构可拆卸安装于上导电板、下导电板上。

进一步地，所述电加热棒沿导电板长度延伸方向均布设置多根。

进一步地，所述电加热棒为硅碳棒。

进一步地，所述紧固机构包括：套筒、螺套、以及至少两块胀紧块，所述螺套与套筒端部外圆螺纹旋接，所述套筒端部内孔中同轴设有内锥面，相应地，胀紧块一侧设有与内锥面相配合的外锥面，另一侧设有圆弧面，当拧紧螺套时，胀紧块在外锥面与内锥面配合限位下，沿径向收缩抱紧电加热棒。

其次，本实用新型提供了一种化学气相沉积炉，包括：炉体、炉底，所述炉体内部中空，其下端开口且盖合于炉底上，所述炉体内壁上安装有上述电极加热装置。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：旨在保证加热要求的前提下，充分利用加热炉内部空间，以适应产品加热需求。本实用新型中的紧固机构在安装、更换单根电加热棒时，非常方便，无需将整个加热组件拆下进行相应更换。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它相关的附图。

图1为本实用新型主视结构示意图；

图2为本实用新型图1中俯剖结构示意图；

图3为本实用新型图1中a处局部放大结构示意图；

图4为本实用新型图3中b-b剖面结构示意图。

图中：100、炉体；101、炉底；1、加热组件；11、上导电板；12、下导电板；13、电加热棒；14、紧固机构；141、套筒；142、螺套；143、胀紧块；144、内锥面；145、外锥面。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-图4，在一个具体的实施例中，本实用新型实施例提供了一种电极加热装置，包括：三组呈环形阵列均布设置的加热组件1；所述加热组件1包括：截面为v形的上导电板11、下导电板12，以及电加热棒13；所述上导电板11、下导电板12在竖直方向上相对设置，且v形顶点朝向环形中心设置；所述电加热棒13两端分别通过紧固机构14可拆卸安装于上导电板11、下导电板12上。

具体地，可以采用星形连接法，即三组上导电板11分别连接三相电源的正极，下导电板12接地，从而使电加热棒13通电后产生高温用以加热，

本实施例中，优选地，所述电加热棒13沿导电板长度延伸方向均布设置多根。

本实施例中，优选地，所述电加热棒13为硅碳棒。

本实施例中，优选地，所述紧固机构14包括：套筒141、螺套142、以及至少两块胀紧块143，所述螺套142与套筒141端部外圆螺纹旋接，所述套筒141端部内孔中同轴设有内锥面144，相应地，胀紧块143一侧设有与内锥面144相配合的外锥面145，另一侧设有圆弧面，当拧紧螺套142时，胀紧块143在外锥面145与内锥面144配合限位下，沿径向收缩抱紧电加热棒13。该紧固机构14在安装、更换单根电加热棒13时，非常方便，无需将整个加热组件1拆下进行相应更换。

其次，本实用新型提供了一种化学气相沉积炉，包括：炉体100、炉底101，所述炉体100内部中空，其下端开口且盖合于炉底101上，所述炉体100内壁上安装有上述电极加热装置，且该电极加热装置安放于相邻两工件之间的间隙处，加热组件1上的电线贯穿炉体100壁设置，且贯穿处采用耐高温材料的绝缘件进行包覆。

具体地，炉底101上端设有放置工件(即坩埚)的工作台，工件可以堆叠放多层形成一摞，且在工作台上呈环形阵列放置三摞工件，通过吊装装置将炉体100盖合于炉底101上时，使得加热组件1恰好位于相邻两摞之间的空间中，可以理解地，在保证加热要求的前提下，充分利用加热炉内部空间，适应产品加热需求。

需要说明的是，在本文中，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

本文中应用了具体个例对本实用新型的原理及实施方式进行了阐述，以上实例的说明只是用于帮助理解本实用新型的方法及其核心思想。以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，由于文字表达的有限性，而客观上存在无限的具体结构，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进、润饰或变化，也可以将上述技术特征以适当的方式进行组合；这些改进润饰、变化或组合，或未经改进将实用新型的构思和技术方案直接应用于其它场合的，均应视为本实用新型的保护范围。

技术特征：

1.一种电极加热装置，其特征在于，包括：三组呈环形阵列均布设置的加热组件(1)；所述加热组件(1)包括：截面为v形的上导电板(11)、下导电板(12)，以及电加热棒(13)；所述上导电板(11)、下导电板(12)相对设置，且v形顶点朝向环形中心设置；所述电加热棒(13)两端分别通过紧固机构(14)可拆卸安装于上导电板(11)、下导电板(12)上。

2.根据权利要求1所述的电极加热装置，其特征在于，所述电加热棒(13)沿导电板长度延伸方向均布设置多根。

3.根据权利要求1所述的电极加热装置，其特征在于，所述电加热棒(13)为硅碳棒。

4.根据权利要求1所述的电极加热装置，其特征在于，所述紧固机构(14)包括：套筒(141)、螺套(142)、以及至少两块胀紧块(143)，所述螺套(142)与套筒(141)端部外圆螺纹旋接，所述套筒(141)端部内孔中同轴设有内锥面(144)，相应地，胀紧块(143)一侧设有与内锥面(144)相配合的外锥面(145)，另一侧设有圆弧面，当拧紧螺套(142)时，胀紧块(143)在外锥面(145)与内锥面(144)配合限位下，沿径向收缩抱紧电加热棒(13)。

5.一种化学气相沉积炉，包括：炉体(100)、炉底(101)，所述炉体(100)内部中空，其下端开口且盖合于炉底(101)上，其特征在于，所述炉体(100)内壁上安装有如权利要求1-4中任一项所述的电极加热装置。

技术总结
本实用新型公开了一种化学气相沉积炉及其电极加热装置，所述的电极加热装置包括：三组呈环形阵列均布设置的加热组件；所述加热组件包括：截面为V形的上导电板、下导电板，以及电加热棒；所述上导电板、下导电板相对设置，且V形顶点朝向环形中心设置；所述电加热棒两端分别通过紧固机构可拆卸安装于上导电板、下导电板上。所述的化学气相沉积炉，包括：炉体、炉底，所述炉体内部中空，其下端开口且盖合于炉底上，所述炉体内壁上安装有上述电极加热装置。本实用新型目的旨在保证加热要求的前提下，充分利用加热炉内部空间，以适应产品加热需求。

技术研发人员：刘俊锋
受保护的技术使用者：湖南碳谷新材料有限公司
技术研发日：2020.11.26
技术公布日：2021.07.30