1.一种用于在航空部件上沉积保护涂层的方法,包括:
在所述航空部件的表面上沉积阻挡层;和
在所述阻挡层上沉积催化氧化层。
2.如权利要求1所述的方法,其中所述阻挡层包括氧化铝、掺杂镁的氧化铝、它们的掺杂物或它们的任何组合。
3.如权利要求1所述的方法,其中所述阻挡层通过原子层沉积(ALD)工艺被沉积,并且其中所述ALD工艺包括顺序地使所述航空部件暴露于铝前驱物和氧化剂。
4.如权利要求3所述的方法,其中所述铝前驱物包括三(烷基)铝、三(烷氧基)铝、二酮铝、它们的络合物、它们的加合物、它们的盐或它们的任何组合,并且其中所述氧化剂包括水、臭氧、氧气(O2)、原子氧、一氧化氮、过氧化物、醇、它们的等离子体或它们的任何组合。
5.如权利要求1所述的方法,其中所述阻挡层具有约5nm至约250nm的厚度。
6.如权利要求1所述的方法,其中所述催化氧化层包括二氧化铈、氧化锆、钙铝锰氧化物、钡钇锰氧化物、镧铑锰氧化物、镥铁氧化物、钇钡钴氧化物、氧化镧硫酸盐、它们的掺杂物或它们的任何组合。
7.如权利要求1所述的方法,其中所述催化氧化层包括二氧化铈和掺杂剂,并且其中所述掺杂剂包括钆、锰、锶、钴、铜、铝、它们的合金、它们的氧化物或它们的任何组合。
8.如权利要求1所述的方法,其中所述催化氧化层包括通过原子层沉积(ALD)工艺沉积的二氧化铈,并且其中所述ALD工艺包括重复ALD循环直到所述催化氧化层具有约10nm至约500nm的厚度。
9.如权利要求1所述的方法,其中所述催化氧化层具有约20nm至约100nm的厚度。
10.如权利要求1所述的方法,其中所述铈前驱物包括β-二酮铈化合物、环戊二烯基铈化合物、醇盐铈化合物、氨化物铈化合物、乙脒基铈化合物、它们的加合物或它们的任何组合。
11.如权利要求10所述的方法,其中所述铈前驱物包括β-二酮铈化合物,并且其中所述β-二酮铈化合物是Ce(thd)4、Ce(thd)3、Ce(thd)3(phen)、它们的加合物或它们的任何组合。
12.如权利要求10所述的方法,其中所述铈前驱物包括环戊二烯基铈化合物,并且其中所述环戊二烯基铈化合物是(Cp)3Ce、(MeCp)3Ce、(EtCp)3Ce、(PrCp)3Ce、(BuCp)3Ce、它们的加合物或它们的任何组合。
13.如权利要求10所述的方法,其中所述铈前驱物包括醇盐铈化合物,并且其中所述醇盐铈化合物是Ce(mmp)4(四(1-甲氧基-2-甲基-2-丙酯)铈)、Ce(dmap)4(四(1-(二甲氨基)丙-2-酯)铈)、Ce(dmop)4(四(2-(4,4-二甲基-4,5-二氢恶唑-2-基)丙-2-酯)铈)、它们的加合物或它们的任何组合。
14.如权利要求10所述的方法,其中所述铈前驱物包括氨化物铈化合物或乙脒基铈化合物,并且其中所述铈前驱物是(hmdsa)3Ce或(iPrCp)2Ce(N-iPr-amd)。
15.如权利要求1所述的方法,其中所述航空部件是燃料喷嘴、燃烧器衬里、燃烧器护罩、热交换器、燃料管线、燃料阀或它们的任何组合,并且其中所述航空部件的清洁表面包括镍、镍超级合金、不锈钢、钴、铬、钼、铁、钛、它们的合金或它们的任何组合。
16.如权利要求1所述的方法,其中所述航空部件的所述表面是所述航空部件的内表面,并且其中所述航空部件的所述表面具有约5至约1,000的深宽比。
17.如权利要求1所述的方法,其中当所述航空部件在存在燃料的情况下被加热时,所述保护涂层降低或抑制生焦。
18.如权利要求1所述的方法,其中所述保护涂层具有约10nm至约5,000nm的厚度和小于5%的厚度偏差。
19.一种用于在航空部件上沉积保护涂层的方法,包括:
通过原子层沉积(ALD)工艺在所述航空部件的表面上沉积包括二氧化铈的催化氧化层,其中:
所述航空部件是燃料喷嘴、燃烧室衬里、燃烧器护罩、热交换器、燃料管线、燃料阀或它们的任何组合;
所述航空部件的所述表面具有约5至约1,000的深宽比;并且
所述催化氧化层具有约10nm至约500nm的厚度。
20.一种航空部件,包括:
保护涂层,所述保护涂层设置在所述航空部件的表面上,其中所述保护涂层包括:
包括氧化铝的阻挡层,所述阻挡层设置在所述航空部件的所述表面上;和
包括二氧化铈的催化氧化层,所述催化氧化层设置在所述阻挡层上。