一种制作双面透明导电氧化物薄膜的镀镆设备的制作方法

本发明涉及一种镀镆设备，特别是涉及一种制作双面透明导电氧化物薄膜的镀镆设备，属于薄膜制备技术领域。

背景技术：

透明导电氧化物薄膜是一种在可见光光谱范围(380nm＜λ＜780nm)透过率很高且电阻率较低的薄膜材料，透明导电氧化物薄膜材料主要有cdo、in2o3、sno2和zno等氧化物及其相应的复合多元化合物半导体材料，透明导电氧化物薄膜材料的应用范围很广，主要用于液晶显示器透明电极、触摸屏、柔性led屏幕、广播到元器件自己薄膜太阳能电池等领域，而在透明导电氧化物薄膜的制作过程中需要通过镀镆设备进行生产加工；

但现有的装置在使用的过程中，无法对透明薄膜的表面进行清洁，容易在镀镆完成之后导致离子镀镆的掉落，且传统的装置多采用两组离子镀镆源采用上下同时加工的方式进行镀镆，不仅增加了设备的制造成本，且镀镆过程中无法确保薄膜的上下表面同时均匀的镀镆，镀镆效果较差，另外传统的装置在对于薄膜输送的容易发生褶皱，影响镀镆效果，因此，本发明提出一种制作双面透明导电氧化物薄膜的镀镆设备以解决现有技术中存在的问题。

技术实现要素：

本发明的主要目的是为了提供一种制作双面透明导电氧化物薄膜的镀镆设备，以解决现有技术中镀镆效果差的问题。

本发明的目的可以通过采用如下技术技术方案达到：

一种制作双面透明导电氧化物薄膜的镀镆设备，包括底座，所述底座的顶部固定有真空室，所述真空室的一侧安装有真空泵，所述真空室内部的两侧皆固定有隔板，所述隔板上皆对称开设有通槽，所述真空室内顶部安装有镀镆源，所述真空室一侧的顶部设置有放膜卷，所述真空室靠近放膜卷一侧的底部设置有收膜卷，所述真空室内部靠近放膜卷的一侧设置有驱动机构，所述真空室内顶部靠近放膜卷的位置处设置有吸尘机构，所述真空室内部靠近收膜卷的一侧设置有导向辊，所述导向辊安装在隔板上，所述真空室内部远离放膜卷的一侧设置有薄膜翻转机构，所述真空室内部靠近薄膜翻转机构的一侧设置有张紧机构。

优选的：两组所述隔板之间固定有挡板，所述挡板位于薄膜的外侧。

优选的：所述驱动机构包括第一转杆、第二转杆和主动齿轮，所述第一转杆转动安装在真空室上，所述第二转杆位于第一转杆的底部，且第二转杆与真空室的内壁之间转动连接，所述放膜卷位于第一转杆上，所述收膜卷位于第二转杆上，所述第一转杆的一端固定有主动齿轮，所述第二转杆靠近主动齿轮的一端固定有从动齿轮，所述主动齿轮与从动齿轮啮合，所述真空室的外侧安装有电机，所述电机的输出端与第一转杆连接。

优选的：所述吸尘机构包括u型管、罩板和吸尘仓，所述u型管位于真空室的内部，所述u型管内侧的顶部与底部皆设置有罩板，所述放膜卷与收膜卷之间的薄膜通过u型管的内部，所述吸尘仓安装在真空室的外侧，所述吸尘仓与u型管的内部导通，所述吸尘仓的内部的一端安装有负压风机，所述吸尘仓内部的另一端安装有滤网。

优选的：所述真空室的内部设置有静电消除机构，所述静电消除机构位于放膜卷与吸尘机构之间。

优选的：所述静电消除机构包括u型板和除静电毛刷，所述u型板的内顶部与内底部皆固定有除静电毛刷，所述放膜卷与收膜卷之间的薄膜通过u型板的内部。

优选的：所述薄膜翻转机构包括第一横向压辊、第二横向压辊、第一纵向压辊和第二纵向压辊，所述第一横向压辊设置有两组，且第一横向压辊转动安装在真空室内部的一端，所述第二横向压辊设置有两组，所述第二横向压辊与第一横向压辊位于同一水平面上，所述第二横向压辊转动安装在远离第一横向压辊的一端，所述真空室内部靠近第一横向压辊的一侧转动安装有第一纵向压辊，所述第一纵向压辊设置有两组，所述真空室内部靠近第二横向压辊的一侧转动安装有第二纵向压辊，所述第二纵向压辊设置有两组。

优选的：所述张紧机构包括套管、滑杆和输送辊，所述套管固定在真空室内部靠近薄膜翻转机构的一侧，所述套管的内部滑动安装有滑杆，所述滑杆远离套管的一端转动安装有输送辊，所述输送辊与第一纵向压辊、第二纵向压辊之间水平，所述输送辊远离输送辊的一端固定有限位块，所述滑杆的外侧套设有弹簧，所述弹簧位于限位块以及套管的内端部之间。

优选的：所述真空室的外端部开设有检修门，所述检修门设置有三组，且相邻检修门之间的距离相同。

优选的：所述真空室端部的中间位置处设置有透明窗。

本发明的有益效果为：

本发明提供的一种制作双面透明导电氧化物薄膜的镀镆设备，通过u型管、罩板、吸尘仓、负压风机、滤网组成的吸尘机构能够在装置镀镆之前进行除尘，避免灰尘影响镀镆的效果，且通过吸尘机构配合u型板以及除静电毛刷组成的静电消除机构，能够降低灰尘与薄膜之间的粘连效果，提高了除尘的效果，真空室内部第一横向压辊、第二横向压辊、第一纵向压辊、第二纵向压辊组成的薄膜翻转机构的设置，能够使得薄膜的正反面同时进行镀镆，确保了镀镆的效果，且仅需要单一的镀镆源，降低了装置的生产成本，真空室内端部套管、滑杆、输送辊、限位块、弹簧组成的张紧机构的设置，能够在薄膜输送的过程中进行张紧，避免薄膜的表面产生褶皱，确保薄膜的表面均匀镀镆，通过第一转杆、第二转杆、主动齿轮、电机、从动齿轮组成的驱动机构的设置，能够在镀镆的过程中，同时进行放膜与收膜，确保了薄膜的平稳输送。

附图说明

图1为本发明的主视剖视图；

图2为本发明的俯视剖视图；

图3为本发明的驱动机构图；

图4为本发明的静电消除机构图；

图5为本发明的吸尘机构图；

图6为本发明的薄膜翻转机构图；

图7为本发明的主视示意图；

图8为本发明的隔板示意图；

图9为本发明的张紧机构示意图。

图中：1、底座；2、真空室；3、真空泵；4、隔板；5、通槽；6、镀镆源；7、驱动机构；8、放膜卷；9、收膜卷；10、导向辊；11、静电消除机构；12、吸尘机构；13、薄膜翻转机构；14、张紧机构；15、挡板；16、第一转杆；17、第二转杆；18、主动齿轮；19、电机；20、从动齿轮；21、u型板；22、除静电毛刷；23、u型管；24、罩板；25、吸尘仓；26、负压风机；27、滤网；28、第一横向压辊；29、第二横向压辊；30、第一纵向压辊；31、第二纵向压辊；32、检修门；33、透明窗；34、套管；35、滑杆；36、输送辊；37、限位块；38、弹簧。

具体实施方式

为使本技术领域人员更加清楚和明确本发明的技术方案，下面结合实施例及附图对本发明作进一步详细的描述，但本发明的实施方式不限于此。

如图1-图9所示，本实施例提供了一种制作双面透明导电氧化物薄膜的镀镆设备，包括底座1，底座1的顶部固定有真空室2，真空室2的一侧安装有真空泵3，真空室2内部的两侧皆固定有隔板4，隔板4上皆对称开设有通槽5，真空室2内顶部安装有镀镆源6，真空室2一侧的顶部设置有放膜卷8，真空室2靠近放膜卷8一侧的底部设置有收膜卷9，真空室2内部靠近放膜卷8的一侧设置有驱动机构7，真空室2内顶部靠近放膜卷8的位置处设置有吸尘机构12，真空室2内部靠近收膜卷9的一侧设置有导向辊10，导向辊10安装在隔板4上，真空室2内部远离放膜卷8的一侧设置有薄膜翻转机构13，真空室2内部靠近薄膜翻转机构13的一侧设置有张紧机构14。

在本实施例中，如图2所示，两组隔板4之间固定有挡板15，挡板15位于薄膜的外侧，利用挡板15水平设置在两组隔板4之间，有效的防止离子颗粒向隔板4的底部漂浮，确保薄膜的镀镆效果。

在本实施例中，如图3所示，驱动机构7包括第一转杆16、第二转杆17和主动齿轮18，第一转杆16转动安装在真空室2上，第二转杆17位于第一转杆16的底部，且第二转杆17与真空室2的内壁之间转动连接，放膜卷8位于第一转杆16上，收膜卷9位于第二转杆17上，第一转杆16的一端固定有主动齿轮18，第二转杆17靠近主动齿轮18的一端固定有从动齿轮20，主动齿轮18与从动齿轮20啮合，真空室2的外侧安装有电机19，电机19的输出端与第一转杆16连接，电机19的转动，控制第一转杆16上的放膜卷8转动，在放膜卷8对薄膜释放的过程中，第一转杆16上的主动齿轮18转动，配合第二转杆17上的从动齿轮20，控制收膜卷9进行转动，同时进行薄膜的收卷过程。

在本实施例中，如图5所示，吸尘机构12包括u型管23、罩板24和吸尘仓25，u型管23位于真空室2的内部，u型管23内侧的顶部与底部皆设置有罩板24，放膜卷8与收膜卷9之间的薄膜通过u型管23的内部，吸尘仓25安装在真空室2的外侧，吸尘仓25与u型管23的内部导通，吸尘仓25的内部的一端安装有负压风机26，吸尘仓25内部的另一端安装有滤网27，在薄膜的释放过程中，启动负压风机26在吸尘仓25的内部产生负压，通过u型管23将薄膜表面的灰尘吸入到吸尘仓25的内部进行存储。

在本实施例中，如图1所示，真空室2的内部设置有静电消除机构11，静电消除机构11位于放膜卷8与吸尘机构12之间，利用静电消除机构11降低灰尘与薄膜之间的粘连效果，方便进行除尘。

在本实施例中，如图4所示，静电消除机构11包括u型板21和除静电毛刷22，u型板21的内顶部与内底部皆固定有除静电毛刷22，放膜卷8与收膜卷9之间的薄膜通过u型板21的内部，薄膜在动放膜卷8的外侧释放之后先经过u型板21之间，消毒静电，在通过吸尘机构12进行除尘。

在本实施例中，如图6所示，薄膜翻转机构13包括第一横向压辊28、第二横向压辊29、第一纵向压辊30和第二纵向压辊31，第一横向压辊28设置有两组，且第一横向压辊28转动安装在真空室2内部的一端，第二横向压辊29设置有两组，第二横向压辊29与第一横向压辊28位于同一水平面上，第二横向压辊29转动安装在远离第一横向压辊28的一端，真空室2内部靠近第一横向压辊28的一侧转动安装有第一纵向压辊30，第一纵向压辊30设置有两组，真空室2内部靠近第二横向压辊29的一侧转动安装有第二纵向压辊31，第二纵向压辊31设置有两组，薄膜在传送的过程中，先通过两组第一横向压辊28，薄膜水平输送，然后薄膜翻转九十度通过两组第一纵向压辊30，以及第二纵向压辊31，然后再进行翻转九十度通过第二横向第二横向压辊29，薄膜翻转完成。

在本实施例中，如图9所示，张紧机构14包括套管34、滑杆35和输送辊36，套管34固定在真空室2内部靠近薄膜翻转机构13的一侧，套管34的内部滑动安装有滑杆35，滑杆35远离套管34的一端转动安装有输送辊36，输送辊36与第一纵向压辊30、第二纵向压辊31之间水平，输送辊36远离输送辊36的一端固定有限位块37，滑杆35的外侧套设有弹簧38，弹簧38位于限位块37以及套管34的内端部之间，在薄膜输送的过程中，输送辊36与薄膜的内侧贴合，在弹簧38弹力的作用下对薄膜进行正紧。

在本实施例中，如图7所示，真空室2的外端部开设有检修门32，检修门32设置有三组，且相邻检修门32之间的距离相同，方便对真空室2的不同位置处进行检修，使用更加方便。

在本实施例中，如图7所示，真空室2端部的中间位置处设置有透明窗33，方便对镀镆状况进行观测。

如图1-图9所示，本实施例提供了一种制作双面透明导电氧化物薄膜的镀镆设备的工作过程如下：

步骤1：使用前，先将放膜卷8外侧的薄膜从静电消除机构11、吸尘机构12的内部穿过，然后通过隔板4上的通槽5，薄膜在透过通槽5之后，通过薄膜翻转机构13进行转动，并通过张紧机构14进行张紧，薄膜在进行一百八十度翻转之后再次从通槽5的内部穿过，天和在导向辊10的顶部，并卷在收膜卷9上；

步骤2：使用时，启动真空泵3对真空室2的内部进行抽真空，启动电机19，电机19的转动，控制第一转杆16上的放膜卷8转动，在放膜卷8对薄膜释放的过程中，第一转杆16上的主动齿轮18转动，配合第二转杆17上的从动齿轮20，控制收膜卷9进行转动，同时进行薄膜的收卷过程；

步骤3：薄膜在经过静电消除机构11的内部时，利用除静电毛刷22与薄膜的上下表面贴合，消除静电，然后启动吸尘机构12内部的负压风机26，对薄膜外侧表面的灰尘进行吸收，并存储在吸尘仓25的内部；

步骤4：薄膜经过镀镆源6的底部之后，启动镀镆源6对薄膜的上下表面同时进行镀镆。

以上所述，仅为本发明进一步的实施例，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明所公开的范围内，根据本发明的技术方案及其构思加以等同替换或改变，都属于本发明的保护范围。