专利名称：一种真空镀膜机的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及物理汽相沉积设备，特别是一种真空镀膜机。
目前，用于镀大平面板(如1.22×2.44m2)的镀膜机一般都是用许多个小弧源，如TG－20E、TG－20C、TG－42、TG－26L(尾数即弧源数)，而且要把镀板材卷成圆筒状，弧源被安置在筒形真空室室壁上，以轴向等距均匀分布。这样的设备的缺点是1.工件装卸不便；2.操作点多，20多个源都要保证正常工作，任何一个源发生故障都将导致成品的颜色、膜厚不均匀；3.每炉只能镀一张，最多不过两三张板，工作效率低，不能适应一般大批量生产；4.板料需在真空室中呈圆筒形状，而且不可避免会出现压边镀不着的地方。
为了克服上述缺陷，本实用新型的目的是提供一种新的镀膜机。
本实用新型的镀膜机包括真空室、用于加热工件的加热器和柱状电弧蒸发源或柱状溅射源，其中真空室为卧式圆筒形，且分为相联通的原料室、工作室和成品室，还包括使工件从原料室移动到工作室，再从工作室移动到成品室的传动装置。
该镀膜机中的柱状电弧源或柱状溅射源可选用现有的各种适用的源，如柱状磁控电弧源或柱状磁控溅射源。可根据具体情况使用一个或多个源。
该镀膜机特别适用于板状工件，而且一炉可镀一块或多块板，即可装有一块或多块板状工件。
所述加热器优选设置在工作室中，位于原料室和电弧源(或溅射源)之间，而且可根据具体情况设置一个或多个加热器，工件先经过加热器被加热，再经过电弧源或溅射源被镀膜。
该镀膜机中的传动装置优选设计成使工件分别经过电弧源(或溅射源)两侧，更进一步设计成使原料室中的两块板状工件轴向移经设置在工作室中的电弧源(或溅射源)的两侧，然后轴向移到成品室，在成品室中分别沿径向向两边移动，原料室中的轴向平行布置的其它板状工件向心移动，跟随前面的工件移动。
所述镀膜机中的原料室和成品室可分别设有门。
本实用新型的镀膜机工作效率高、镀膜均匀，能进行大批量生产，大大降低了镀板状工件所需的电弧源数或溅射源数，而且不需将工件卷成筒状即可均匀镀膜。镀膜机中的多个电弧源或溅射源可随意切换、增加或减少，源多则膜厚，少则膜薄，既使有的源出现问题也能镀得均匀的膜。
以下结合附图作进一步说明。
附
图1为所设计的一种镀膜机的结构示意图。
图2为
图1所示的镀膜机的俯视示意图。
图中标号1为原料室，2为工作室，3为成品室，4为加热器，5为加热器或电弧源(或溅射源)，6和7为电弧源(或溅射源)，8为原料板，9为成品板。
工作时先将清洗好的12块平板状工件(1.22×3.04m2)轴向平行布置于原料室［1］中，最靠中心部位的两块板在传动装置(未示出)带动下沿轴向向工作室［2］移动。工作室顶上开有四个法兰口，分别装有加热器和柱状磁控电弧源(或溅射源)，从原料室过来的板料首先分别经过加热器两侧被加热，然后经过电弧源(或溅射源)两侧被镀膜，被镀膜后的成品板在传动装置带动下进入成品室［3］，并分别向两边移动，把原来的位置让给下一张成品板。原料室的其它板料跟随前面的板运动，这样直至所有板都运动到成品室［3］中，即可冷却出炉。图2中箭头表示板的运动方向。该镀膜机中工作室用不锈钢制成，且带水冷套，原料室和成品室可用碳钢(较便宜)制成，且无需水套。
本实用新型的镀膜机可用于镀制大平面不锈钢板、大平面玻璃、装有专用夹具的瓷砖、或类似形状的工件。
权利要求1.一种真空镀膜机，包括真空室、用于加热工件的加热器和柱状电弧蒸发源或柱状溅射源，其特征是真空室为卧式圆筒形，且分为相联通的原料室、工作室和成品室，还包括使工件从原料室移动到工作室，再从工作室移动到成品室的传动装置。
2.如权利要求1所述的镀膜机，其特征是所述电弧蒸发源为柱状磁控电弧蒸发源或柱状磁控溅射源。
3.如权利要求1所述的镀膜机，其特征是装有一块或多块板状工件。
4.如权利要求1所述的镀膜机，其特征是所述加热器设置在工作室中，位于原料室和电弧源(溅射源)之间。
5.如权利要求1所述的镀膜机，其特征是所述加热器和电弧源(或溅射源)分别有一个或多个。
6.如权利要求1所述的镀膜机，其特征是所述传动装置如此设置，使多个工件分别经过电弧源(或溅射源)两侧。
7.如权利要求6所述的镀膜机，其特征是使原料室中的两块板状工件轴向移经设置在工作室中的电弧源(或溅射源)的两侧，然后轴向移到成品室，在成品室中分别沿径向向两边移动，原料室中的轴向平行布置的其它板状工件向心移动，跟随前面的工件移动。
8.如权利要求1所述的镀膜机，其特征是所述原料室和成品室分别设有门。
专利摘要本实用新型公开了一种真空镀膜机，该镀膜机的真空室为卧式圆筒形，且分为原料室、工作室和成品室。工作时板状工件从原料室移动至工作室，再移到成品室。该机工作效率高、镀膜均匀，能进行大批量生产，且大大降低了镀板状工件所需的电弧源或溅射源数，特别适用于镀制大平面不锈钢板、大平面玻璃、瓷砖或类似形状的工件。
文档编号C23C14/34GK2196124SQ94219770
公开日1995年5月3日 申请日期1994年8月30日 优先权日1994年8月30日
发明者马志坚 申请人:马志坚