一种用于卧式半导体设备的石墨舟推送装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明属于卧式半导体设备技术领域，更具体的，涉及一种用于卧式半导体设备的石墨舟推送装置。
【背景技术】
[0002]在硅基体太阳电池的制造工艺过程中，通常需要采用薄膜沉积工艺进行硅片的镀膜，例如可米用 PECVD (Plasma Enhanced Chemical VapourDeposit1n，等离子增强化学气相沉积)的沉积工艺对硅片进行氮化硅的真空镀膜，使在硅片表面形成钝化层。
[0003]以四管卧式等离子体增强化学气相沉积设备为例，在高真空石英腔体内利用高频电场激发，分解工艺气体SiH4、NH3，在样品表面的沉积形成Si3N4薄膜，从而提高硅片中载流子迀移率，具有体钝化的作用，极大的提高电池片转换效率；该卧式半导体设备自动化程度高，能够满足太阳能电池生产线需求。
[0004]在太阳电池制造过程中，在进行硅片表面镀膜时，将未镀膜的硅片插入PECVD真空镀膜设备的载片器上，通常载片器由石墨舟来实现，即，将未经镀膜的硅片插入石墨舟，然后，将载有硅片的石墨舟放置在PECVD真空镀膜设备腔体内，采用PECVD工艺对硅片进行镀膜。镀膜结束后，从真空镀膜设备腔体内取出石墨舟，然后再将经过镀膜的硅片从石墨舟上卸取下来。
[0005]在四管卧式PECVD中，石墨舟推送装置是设备的关键部件，它是设备的送料出料装置，是保证工艺的最重要的结构之一。通常由石墨舟推送装置将承载有未镀膜硅片的石墨舟推入反应腔室内，镀膜完成后，承载有已镀膜硅片的石墨舟通过石墨舟推送装置拉出反应腔室，进彳T卸片工序。
[0006]而现有的石墨舟推送装置，通常使用材质为不锈钢的金属铲子作为石墨舟的承载体，金属铲子随着石墨舟共同进入反应腔室进行薄膜淀积，镀膜完成后，金属铲子将承载有已镀膜硅片的石墨舟拉出反应腔室，进行卸片工序。由于反应腔室内的沉积工艺温度较高，用于支撑石墨舟的金属铲子长时间在反应腔室中加热，金属铲子很容易在高温下变形，而且金属铲子比较重，结构较复杂，加工难度大。针对上述问题，业界亟需提供一种用于卧式半导体设备的石墨舟推送装置以解决上述问题。
【发明内容】
[0007]本发明的目的是针对现有技术中存在上述缺陷，提供了一种用于卧式半导体设备中耐高温、防变形且机械机构简单的的石墨舟推送装置。
[0008]为解决上述问题，本发明提供一种用于卧式半导体设备的石墨舟推送装置，包括炉门，还包括穿过炉门的连接杆；所述连接杆的一端在炉门外侧，用于与外部操作设备连接，所述连接杆的另一端伸入炉门内侧的反应腔室内，用于固定连接石墨舟支撑杆；其中，所述石墨舟支撑杆包括两根并列设置的碳化硅杆，所述碳化硅杆上设有至少两个用以支撑石墨舟的金属支撑架；所述碳化硅杆的内侧端通过第一固定装置与所述连接杆固定连接，所述碳化硅杆的外侧端设有用于固定其自身的第二固定装置。
[0009]优选的，所述碳化硅杆的内部，沿其轴向方向设有若干根防止形变的加强筋。
[0010]优选的，所述金属支撑架的外表面上方设有绝缘板，以使所述石墨舟与所述金属支撑架绝缘。
[0011]优选的，所述第一固定装置为夹持块，所述夹持块具有多个通孔以及紧固件，所述通孔的直径分别与所述连接杆以及碳化硅杆的直径相适应；所述第二固定装置为金属连接块，所述金属连接块具有与所述碳化硅杆直径相适应的通孔。
[0012]优选的，所述碳化硅杆的外侧端设有绝缘套，以使所述石墨舟与所述碳化硅杆绝缘。
[0013]优选的，所述绝缘套为陶瓷绝缘板。
[0014]优选的，所述炉门包括炉门电极，所述石墨舟包括石墨舟电极块，所述炉门电极与所述石墨舟电极块之间通过电极引入装置连接，所述电极引入装置将射频引入所述石墨舟，以形成电场。
[0015]优选的，所述电极引入装置包括两个并列设置的电极支架；所述电极支架的一端与所述炉门电极相连，所述电极支架的另一端为金属电极触头，与所述石墨舟电极块相连。
[0016]优选的，所述石墨舟电极块上具有凹槽，所述金属电极触头上设有与所述凹槽相配合的凸起。
[0017]从上述技术方案可以看出，本发明提供的用于卧式半导体设备的石墨舟推送装置，使用单根连接杆夹持碳化硅双杆的结构，使石墨舟放置在两根碳化硅杆上，依靠石墨舟支撑架定位、陶瓷板绝缘，由于碳化硅双杆耐温在1000多度，在PECVD反应室进行薄膜淀积时，变形很小；并且单杆夹持碳化硅双杆结构，机械机构简单，成本低，装配难度降低，整体悬臂的质量轻，能够防止悬臂的变形量。
【附图说明】
[0018]结合附图，并通过参考下面的详细描述，将会更容易地对本发明有更完整的理解并且更容易地理解其伴随的优点和特征，其中:
[0019]图1是本发明实施例一种用于卧式半导体设备的石墨舟推送装置的结构示意图。
[0020][图中附图标记]:
[0021]10、炉门；20、连接杆；30、石墨舟支撑杆；40、夹持块；50、金属连接块；60、金属支撑架；70、绝缘板；80、绝缘套；90、炉门电极；100、电极支架；110、金属电极触头。
【具体实施方式】
[0022]为使本发明的内容更加清楚易懂，以下结合说明书附图，对本发明的内容作进一步说明。当然本发明并不局限于该具体实施例，本领域内的技术人员所熟知的一般替换也涵盖在本发明的保护范围内。其次，本发明利用示意图进行了详细的表述，在详述本发明实例时，为了便于说明，示意图不依照一般比例局部放大，不应以此作为对本发明的限定。
[0023]需要说明的是，在下述的实施例中，利用图1的结构示意图对按本发明一种用于卧式半导体设备的石墨舟推送装置进行了详细的表述。在详述本发明的实施方式时，为了便于说明，各示意图不依照一般比例绘制并进行了局部放大及省略处理，因此，应避免以此作为对本发明的限定。
[0024]请参阅图1，图1是本发明实施例一种用于卧式半导体设备的石墨舟推送装置的结构示意图。本发明提供一种用于卧式半导体设备的石墨舟推送装置，包括炉门10以及穿过炉门10的连接杆20 ;连接杆20的一端在炉门10外侧，用于与外部操作设备连接，连接杆20的另一端伸入炉门10内侧的反应腔室内，用于固定连接石墨舟支撑杆30，连接杆10优选金属单。其中，石墨舟支撑杆30优选为两根并列设置的碳化硅杆，碳化硅杆上设有至少两个用以支撑石墨舟(图中未示出)的金属支撑架60 ;碳化硅杆30的内侧端通过第一固定装置与连接杆20固定连接，碳化硅杆30的外侧端设有用于固定其自身的第二固定装置。
[0025]其中，第一固定装置为夹持块40，夹持块40具有多个通孔以及紧固件，所述通孔的直径分别与连接杆20以及碳化硅杆30的直径相适应；第二固定装置为金属连接块50，金属连接块50具有与碳化硅杆3