柱状样品表面涂层工件架的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明属于真空镀膜设备技术领域，具体涉及一种柱状样品表面涂层工件架。
【背景技术】
[0002]在科研和生产活动中，越来越多的需要在柱状样品表面制备各种均匀涂层，在ICF(惯性约束聚变)物理实验中，需要制备各种金属柱腔，以实现科学研究的目的。名称为“一种应用于真空涂层领域的新型工件架”(专利号:ZL201120223819.6)和“真空镀膜机工件架”(专利号:ZL201020609806.8)的中国专利公开了两种用于真空镀膜的工件架，但是以上两种工件架均不能很好的实现柱状样品表面涂层的均匀涂镀。
【发明内容】
[0003]本发明要解决的技术问题是提供一种柱状样品表面涂层工件架。
[0004]本发明的技术方案是
本发明的柱状样品表面涂层工件架，其特点是，所述的工件架包括驱动电机、驱动齿轮、主齿轮、固定中间轴、固定齿轮、自转齿轮托架、自转齿轮、柱状样品固定部件。其连接关系是，所述的驱动电机与驱动齿轮连接，驱动齿轮与主齿轮连接。在所述主齿轮的轴心设置有固定中间轴，主齿轮与固定中间轴通过轴承连接。所述的固定中间轴的一端固定设置有固定齿轮，另一端穿过主齿轮固定外接在真空镀膜设备的基座上。所述的固定齿轮与主齿轮平行设置。在所述的主齿轮的圆周上均匀设置有自转齿轮托架，自转齿轮托架与主齿轮固定连接。所述的固定齿轮的圆周上均匀固定设置有自转齿轮。所述的自转齿轮的一端与自转齿轮托架通过轴承连接，另一端与柱状样品固定部件固定套接。
[0005]所述的主齿轮、固定中间轴、固定齿轮为同轴心设置。
[0006]所述的自转齿轮托架、自转齿轮、柱状样品固定部件为对应设置，自转齿轮托架、自转齿轮、柱状样品固定部件设置数量均为八~十二个。
[0007]本发明的柱状样品表面涂层工件架中的柱状样品固定部件中轴线上设有柱状样品的安装孔，工作时将柱状样品嵌套固定在安装孔中，柱状样品在自转齿轮的带动下自转，同时柱状样品与自转齿轮固定并在固定齿轮上围绕固定中间轴公转，这样涂镀过程中柱状样品同时保持公转和自转运动，可以得到柱状样品表面均匀涂层。
[0008]本发明的柱状样品表面涂层工件架结构简单、便于拆卸，能够在真空室内使用，柱状样品表面涂层均匀。
【附图说明】
[0009]图1为本发明的柱状样品表面涂层工件架的结构示意图；
图2为本发明的柱状样品表面涂层工件架中的局部俯视图；
图3为本发明中的自传齿轮、柱状样品固定部件与柱状样品的结构分解图；
图中，1.驱动电机 2.驱动齿轮 3.主齿轮 4.固定中间轴 5.固定齿轮 6.自转齿轮托架 7.自转齿轮 8.柱状样品固定部件。
【具体实施方式】
[0010]下面结合附图对本发明作具体描述:
实施例1
图1为本发明的柱状样品表面涂层工件架的结构示意图，图2为本发明的柱状样品表面涂层工件架中的局部俯视图，图2中，自转齿轮托6、自转齿轮7、柱状样品固定部件8对应设置。图3为本发明中的自传齿轮、柱状样品固定部件与柱状样品的结构分解图。在图1~图3中，本发明的柱状样品表面涂层工件架包括驱动电机1、驱动齿轮2、主齿轮3、固定中间轴4、固定齿轮5、自转齿轮托架6、自转齿轮7、柱状样品固定部件8;其连接关系是，所述的驱动电机I与驱动齿轮2连接，驱动齿轮2与主齿轮3连接。在所述主齿轮3的轴心设置有固定中间轴4，主齿轮3与固定中间轴4通过轴承连接。所述的固定中间轴4的一端固定设置有固定齿轮5，另一端穿过主齿轮3固定外接在真空镀膜设备的基座上；所述的固定齿轮5与主齿轮3平行设置。在所述的主齿轮3的圆周上均匀设置有自转齿轮托架6，自转齿轮托架6与主齿轮3固定连接；所述的固定齿轮5的圆周上均匀固定设置有自转齿轮7 ;所述的自转齿轮7的一端与自转齿轮托架6通过轴承连接，另一端与柱状样品固定部件8的一端固定套接，柱状样品固定部件8的另一端与柱状样品嵌套。
[0011]所述的主齿轮3、固定中间轴4、固定齿轮5为同轴心设置。
[0012]所述的自转齿轮托架6、自转齿轮7、柱状样品固定部件8为对应设置，自转齿轮托架6、自转齿轮7、柱状样品固定部件8设置数量均为八——十二个。
[0013]本实施例中，自转齿轮托架设置有八个，自转齿轮托架6是其中一个；自转齿轮设置有八个，自转齿轮7是其中一个；柱状样品固定部件设置有八个，柱状样品固定部件8是其中一个。
[0014]本发明在工作时将柱状样品嵌套固定在柱状样品固定部件8的安装孔中，柱状样品在自转齿轮7的带动下自转，同时柱状样品与自传齿轮7固定并在固定齿轮5上围绕固定中间轴4公转，这样涂镀过程中柱状样品同时保持公转和自转运动，可以得到柱状样品表面均匀涂层。柱状样品固定部件8的中间轴与自转齿轮7的中间轴成小于45度的角，这样自转齿轮7转动时，柱状样品会围绕自转齿轮7中间轴摆动，进一步提高柱状样品拐角处的厚度均匀性。
[0015]实施例2
本实施例与实施例1的结构相同，不同之处是，设置的自转齿轮托架为十二个；自转齿轮设置为十二个；柱状样品固定部件设置为十二个。
【主权项】
1.一种柱状样品表面涂层工件架，其特征在于，所述的工件架包括驱动电机(I)、驱动齿轮(2)、主齿轮(3)、固定中间轴(4)、固定齿轮(5)、自转齿轮托架(6)、自转齿轮(7)、柱状样品固定部件(8);其连接关系是，所述的驱动电机(I)与驱动齿轮(2)连接，驱动齿轮(2 )与主齿轮(3 )连接；在所述主齿轮(3 )的轴心设置有固定中间轴(4)，主齿轮(3 )与固定中间轴(4)通过轴承连接；所述的固定中间轴(4)的一端固定设置有固定齿轮(5)，另一端穿过主齿轮(3)固定外接在真空镀膜设备的基座上；所述的固定齿轮(5)与主齿轮(3)平行设置；在所述的主齿轮(3)的圆周上均匀设置有自转齿轮托架(6)，自转齿轮托架(6)与主齿轮(3)固定连接；所述的固定齿轮(5)的圆周上均匀固定设置有自转齿轮(7);所述的自转齿轮(7)的一端与自转齿轮托架(6)通过轴承连接，另一端与柱状样品固定部件(8)固定套接。
2.根据权利要求1所述的柱状样品表面涂层工件架，其特征在于，所述的主齿轮(3)、固定中间轴(4)、固定齿轮(5)为同轴心设置。
3.根据权利要求1所述的柱状样品表面涂层工件架，其特征在于，所述的自转齿轮托架(6)、自转齿轮(7)、柱状样品固定部件(8)为对应设置，自转齿轮托架(6)、自转齿轮(7)、柱状样品固定部件(8)设置数量均为八~十二个。
【专利摘要】本发明提供了一种柱状样品表面涂层工件架，所述工件架中的驱动电机带动驱动齿轮转动，同时带动主齿轮转动；自传齿轮通过自转齿轮托架与主齿轮固定连接，主齿轮带动自转齿轮在固定齿轮上转动；固定齿轮与固定中间轴固定连接，固定中间轴穿过主齿轮固定在真空镀膜设备的基座上。其中自转齿轮和自转齿轮托架通过轴承连接，主齿轮和固定中间轴通过轴承连接。工作时，柱状样品在自转齿轮的带动下自转，同时围绕固定中间轴公转，可以得到柱状样品表面均匀涂层。本发明的柱状样品表面涂层工件架结构简单、便于拆卸，能够在真空室内使用，能够获得柱状样品表面的均匀涂层。
【IPC分类】C23C14-50
【公开号】CN104694899
【申请号】CN201510138516
【发明人】刘艳松, 何智兵, 许华, 李俊, 何小珊, 王涛
【申请人】中国工程物理研究院激光聚变研究中心
【公开日】2015年6月10日
【申请日】2015年3月27日