可加偏压式薄膜样品架的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明属于薄膜材料的制备技术领域，具体涉及一种可加偏压式薄膜样品架，能够方便磁控溅射镀膜机样品架加载正负偏压。
【背景技术】
[0002]在磁控溅射镀膜过程中，为了提高成膜的均匀性，可以采用使衬底旋转，即衬底放置在旋转盘上，同时，为了改善成膜的质量、提高薄膜沉积速率和增强薄膜与基片的附着力，可以给衬底加偏压。但是若采用电线直接将直流电极与衬底连接，在旋转过程中齿轮会将其绞断，从而不能正常工作。为了解决这一难题，我们可以对原有的样品支架进行改进而能够满足高质量成膜的需要。
【发明内容】
[0003]为了克服现有技术中的样品架不能同时加偏压和旋转的不足，本发明提供一种可加偏压式薄膜样品架，能够方便磁控溅射镀膜机样品架加载正负偏压。
[0004]本发明的可加偏压式薄膜样品架，其特点是，所述的样品架包括托架、托架底座、金属轴承、连接杆和真空室底座；其连接关系是，所述托架固定连接在托架底座上，所述的连接杆设置在托架底座的下方，连接杆的一端与托架固定连接，另一端与真空室底座固定连接；所述的金属轴承内圈固定在连接杆上，外圈与电缆线连接。
[0005]所述的托架、托架底座、金属轴承、连接杆、真空室底座为同轴心设置。
[0006]本发明利用轴承的特性，把金属轴承的内圈固定在托架连接杆上，同时外圈引出电极，连接杆材料为聚四氟乙烯可将真空室底座与托架底座之间隔开。这样，解决了旋转托架和电极连接的难题，也实现了电极和机壳的绝缘问题。
[0007]本发明的有益效果是，能够使托架旋转，同时又能够对托架施加持续偏压，结构简单，使用方便。
【附图说明】
[0008]图1为本发明的可加偏压式薄膜样品架结构示意图；
图中.1.托架 2.托架底座 3.金属轴承 4.连接杆 5.真空室底座。
【具体实施方式】
[0009]下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。
[0010]实施例1
图1为本发明的可加偏压式薄膜样品架结构示意图。在图1中，本发明的样品架包括托架1、托架底座2、金属轴承3、连接杆4和真空室底座5 ;其连接关系是，所述托架I固定连接在托架底座2上，所述的连接杆4设置在托架底座2的下方，连接杆4的一端与托架I固定连接，另一端与真空室底座5固定连接；所述的金属轴承3内圈固定在连接杆4上，夕卜圈与电缆线连接。托架I的材料为聚四氟乙烯。这样，解决了旋转托架I和电极连接的难题，也实现了电极和机壳的绝缘问题。
[0011]所述的托架1、托架底座2、金属轴承3、连接杆4、真空室底座5为同轴心设置。
【主权项】
1.可加偏压式薄膜样品架，其特征在于，所述的样品架包括托架(I)、托架底座(2)、金属轴承(3)、连接杆(4)和真空室底座(5);其连接关系是，所述托架(I)固定连接在托架底座(2)上，所述的连接杆(4)设置在托架底座(2)的下方，连接杆(4)的一端与托架(I)固定连接，另一端与真空室底座(5)固定连接；所述的金属轴承(3)内圈固定在连接杆(4)上、外圈与电缆线连接。
2.根据权利要求1所述的可加偏压式薄膜样品架，其特征在于，所述的托架(I)、托架底座(2 )、金属轴承(3 )、连接杆(4)、真空室底座(5 )为同轴心设置。
【专利摘要】本发明提供了一种可加偏压式薄膜样品架，能够方便磁控溅射镀膜机样品架加载正负偏压又可以转动样品。本发明的可加偏压式薄膜样品架，包括托架、托架底座、金属轴承、连接杆和真空室底座。利用轴承的特性，把金属轴承的内圈固定在托架连接杆上，同时外圈引出电极，通过连接杆将真空室底座与托架底座之间隔开。这样，解决了旋转托架架和电极连接的难题，也实现了电极和机壳的绝缘问题。本发明既能够使托架旋转，同时又能够对托架施加持续偏压，结构简单，使用方便。
【IPC分类】C23C14-50
【公开号】CN104694900
【申请号】CN201510138693
【发明人】刘艳松, 何智兵, 王涛, 许华, 陈志梅, 李玉红
【申请人】中国工程物理研究院激光聚变研究中心
【公开日】2015年6月10日
【申请日】2015年3月27日