连续式物理真空镀膜设备的制造方法

文档序号:8376323
连续式物理真空镀膜设备的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种镀膜设备,特别是指一种能于相同的制程时间达到增加产出功效的连续式物理真空镀膜设备。
【背景技术】
[0002]大致而言,现有的镀膜制程是由作业人员将清洁完成的工件放入已与外界压力平衡的镀膜设备的载台上,接着密闭镀膜设备开始抽真空,当镀膜设备的真空度到达一定的负压时,即由镀膜设备中的加热座加热基片并以溅射或电子束蒸发的方式进行镀膜,待整个镀膜过程完成后,再行解除真空状态将完成镀膜之工件取出,更换下一工件后重覆进行上述过程。如此的镀膜制程一来会出现工件在清洁后进入镀膜设备的过程中,有可能再遭污染的疑虑,二来须耗费大量的时间在等待抽引真空度到达预定的负压,所以无法进行批量生产。
[0003]另外,随着绿色能源的要求日益提高,藉由照光生电的太阳能电池的需求也日益增加,但是,一来太阳能电池的体积越来越巨大,如前述般依靠作业人员进行镀膜制程的方式显得困难,二来,若无法批量进行蒸镀以生产太阳能电池,也无法形成市场规模,满足发展绿色能源的需求。
[0004]因此,针对产制太阳能电池而言,需要建立可以减少花费在抽引真空达成预定负压而进行蒸镀,以连续批量生产太阳能电池的连续式物理真空镀膜设备。

【发明内容】

[0005]本发明所要解决的技术问题是克服现有技术的不足,提供一种工件在清洁后开始蒸镀的过程中,不会有再遭污染的疑虑,且可以连续批量生产的连续式物理真空镀膜设备。
[0006]本发明所采用的技术方案是:本发明连续产制太阳能电池,其包含:
一真空镀膜装置,包括具有复数独立的镀膜腔的镀膜室、复数分别设置于所述镀膜腔的多源蒸镀单元及抽引所述镀膜室成适于蒸镀之负压状态的第一抽真空单元,所述多源蒸镀单元具有形成有供蒸镀用的图案的载体、移动所述载体对应定位于其中一预定的太阳能电池的移动件及可移动地对应定位有所述载体的太阳能电池并对所述太阳能电池进行蒸镀的蒸镀件;
一缓冲真空装置,包括具有第一入料口和连通所述镀膜室的第一出料口之清洁缓冲腔的前缓冲真空室、具有连通所述镀膜室的第二入料口和第二出料口之缓冲真空腔的后缓冲真空室、设置于所述前缓冲真空室并对位于所述清洁缓冲腔中的其中至少一个太阳能电池可移动地进行离子清洁的清洁单元、分别抽引所述清洁缓冲腔和所述缓冲真空腔成低于大气压力之预定负压状态的第二抽真空单元;
一准备装置,包括具有第三入料口和连通所述前缓冲真空室的第一入料口的第三出料口的前置准备腔的入料准备室、具有连通所述后缓冲真空室的第二出料口的第四入料口和第四出料口之完成腔的出料准备室、分别抽引所述前置准备腔和完成腔成低于大气压力之预定负压状态的第三抽真空单元;
一传送装置,输送复数太阳能电池依序通过所述第三入料口、所述前置准备腔、所述第三出料口、所述第一入料口、所述清洁缓冲腔、所述第一出料口、所述镀膜腔、所述第二入料口、所述缓冲真空腔、所述第二出料口、所述第四入料口、所述完成腔及所述第四出料口;及一闸门单元,包括复数闸门及控制所述闸门的闸门控制器,所述闸门控制器控制所述闸门分别可开启地封闭所述第三入料口、所述第三出料口和第一入料口、所述第一出料口、所述第二入料口、所述第二入出料口和所述第四入料口及所述第四出料口,且当其中一太阳能电池到达时即令所述一对应的所述闸门开启并在所述太阳能电池通过后即令所述闸门封闭,同时相邻的两闸门不会同时开启。
[0007]进一步的,所述第一抽真空单元作动令所述镀膜腔的负压不大于10_5Pa,所述第二抽真空单元作动令所述清洁缓冲腔和所述缓冲真空腔的负压不大于10_3Pa,且所述第三抽真空单元作动令所述前置准备腔和所述完成腔的负压不大于K^Pa。
[0008]进一步的,所述缓冲真空装置的清洁单元为线性离子源或电浆。
[0009]进一步的,所述多源蒸镀单元的蒸镀件具有至少二个蒸镀膜料及至少二个分别加热所述蒸镀膜料的加热座。
[0010]进一步的,所述蒸镀膜料为同一元素或不同元素。
[0011]本发明的有益效果是:本发明在于提供一种完整的、针对太阳能电池批量生产的连续式物理真空镀膜设备,藉由所述缓冲真空装置与所述准备装置达到能分段抽真空、解除真空状态以节省制程时间,并藉着所述包括独立的蒸镀腔的蒸镀室一次进行多层大面积的镀膜作业,且于镀膜制程前能先以可移动地线性离子源将镀膜基片做再次清洁,使后续的镀膜过程不受污染且可增加膜层的附着力等多种功效。
【附图说明】
[0012]图1是本发明的侧面示意图;
图2是本发明真空镀膜装置的结构示意图;
图3是本发明前缓冲真空室和入料准备室的结构示意图;
图4是本发明后缓冲真空室和出料准备室的结构示意图。
【具体实施方式】
[0013]如图1、图2、图3、图4所示,本发明连续式物理真空镀膜设备的一较佳实施例包含真空镀膜装置1、缓冲真空装置2、准备装置3、传送装置4及闸门单元5。
[0014]所述真空镀膜装置I包括一具有复数独立的镀膜腔11的镀膜室12、复数分别设置于所述镀膜腔11的多源蒸镀单元13,及一抽引所述镀膜室12成适于蒸镀之负压状态的第一抽真空单元14,所述每一多源蒸镀单元13具有一形成有供蒸镀用的图案的载体15、一移动所述载体15对应定位于其中一预定的太阳能电池6的移动件16,及一可移动地对应定位有所述载体15的太阳能电池6并对所述太阳能电池6进行蒸镀的蒸镀件17。以此例图示来说明,所述蒸镀件17包括四蒸镀膜料18,及二分别加热所述蒸镀膜料18的加热座19,且所述多源蒸镀单元13之蒸镀件17的所述蒸镀膜料18为同一元素或不同元素。而所述载体15在本实施例为光罩。
[0015]所述缓冲真空装置2包括一具有一第一入料口 20和一连通所述镀膜室12的第一出料口 21之清洁缓冲腔22的前缓冲真空室23、一具有一连通所述镀膜室12的第二入料口24和一第二出料口 25之缓冲真空腔26的后缓冲真空室27、一设置于所述前缓冲真空室23的清洁单元28、一分别抽引所述清洁缓冲腔22和所述缓冲真空腔26成低于大气压力之预定负压状态的第二抽真空单元29。
[0016]所述准备装置3包括一具有一第三入料口 31和一连通所述前缓冲真空室23的第一入料口 20的第三出料口 32的前置准备腔33的入料准备室34、一具有一连通所述后缓冲真空室27的第二出料口 25的第四入料口 35和一第四出料口 36之完成腔37的出料准备室38、一分别抽引所述前置准备腔33和完成腔37成低于大气压力之预定负压状态的第三抽真空单元39。
[0017]所述闸门单元5包括复数闸门51,及一控制所述闸门51之开关和限制同时相邻的两闸门51不会同时开启的闸门控制器52。在本例中,位于通道两端的相邻两闸门51则利用计时器(图未示)来控制先后开启的间隔时间,但亦可将所述闸门控制器52设置于每一闸门51前,故,所述闸门控制器52可设置于任一位置来控制需要控制之所述闸门51。
[0018]采用本发明连续式物理真空镀膜设备的较佳实施例产制太阳能电池6时,启动所述第一抽真空单元14、第二抽真空单元29,及第三抽真空单元39,使得所述镀膜腔11的负压不大于10-5Pa,所述清洁缓冲腔22和所述缓冲真空腔26的负压不大于10_3Pa,且所述前置准备腔33和所述完成腔37的负压不大于10-lPa。
[0019]待所述镀膜腔11、所述清洁缓冲腔22和所述缓冲真空腔26,及所述前置准备腔33和所述完成腔37皆抽至预定负压后,由所述传送装置4配合所述闸门单元5并
再多了解一些
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