面板对位调节装置及其对位方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及显示技术领域，特别涉及一种面板对位调节装置及其对位方法。
【背景技术】
[0002]目前的AMOLED薄膜晶体管阵列基板的制备技术中，对完成阵列基板工艺的面板(panel)进行评价筛选(筛选出合格产品)，对评价筛选出的面板进行蒸镀。例如一张玻璃上制作了 10个面板，但其中只有两个或三个合格，若全部蒸镀的话造成材料和工艺上的浪费，因此需要将合格的面板切割，切割后将所有合格的面板放在另一张玻璃(作为面板的承载板)上，再去蒸镀。蒸镀过程中需要将面板与蒸镀用的mask进行对位。完成蒸镀后对面板进行封装，封装也需要将面板与封装用的掩模板(mask)进行对位。即在常规工艺中需要对每个panel进行蒸镀对位与封装对位。如图1所示，实线框表示panel，虚线框表示mask，上面的两幅图表示对位准确，下面两幅表示对位有偏差。当面板与蒸镀mask及(或)封装mask出现失配，即对位不准确的情况下就无法对所有panel进行蒸镀与封装，影响产品良率。此外当不同背板工艺基板间良品率差异较大时也会影响到蒸镀与封装的良品率及成本。
【发明内容】
[0003](一 )要解决的技术问题
[0004]本发明要解决的技术问题是:如何提高panel和mask的对位精度，以提高产品良率。
[0005]( 二)技术方案
[0006]为解决上述技术问题，本发明提供了一种面板对位调节装置，包括:承载板、位于所述承载板上的垫片阵列及调节钮，所述垫片有mXn个，可沿平行于承载板平面移动地排列在所述承载板上，用于承载和固定待调节面板，所述调节钮连接所述垫片，用于调节所述垫片在承载板上移动的方向和距离，m多1，η多I。
[0007]其中，每个所述垫片设有独立的两个调节钮，横向调节钮和纵向调节钮，分别控制所述垫片横向移动和纵向移动。
[0008]其中，所述承载板平均划分为mXn个区域阵列，每个垫片的距离不超过区域范围。
[0009]其中，所述调节钮包括:标尺、粗调旋钮、微调旋钮及压敏器件。
[0010]其中，所述!!!和]!的取值为m = η = 2。
[0011]其中，所述承载板厚度不超过2mm。
[0012]其中，所述垫片与待调节面板接触的表面形成有粘结层。
[0013]其中，所述垫片为真空吸附垫片。
[0014]本发明还提供了一种利用上述任一项所述的面板对位调节装置的对位方法，包括:
[0015]将所述承载板与待对位的掩模板进行对位；
[0016]测量位于垫片上面板的对位标记与所述承载板上的预定位置的差值，所述预定位置保证面板与所述掩模板正确对位；
[0017]控制调节钮以调节所述垫片移动差值的距离，使位于垫片上面板的对位标记达到所述承载板上的预定位置。
[0018](三)有益效果
[0019]本发明的面板对位调节装置通过调节钮调节垫片，使得固定在垫片上的面板能够根据对位需要进行移动，以达到精确地对位，从而提高产品良率。
【附图说明】
[0020]图1是现有方式中panel与mask对位准确与偏差的示意图；
[0021]图2是本发明实施例的一种面板对位调节装置示意图；
[0022]图3是图2中面板对位调节装置的调节钮结构示意图；
[0023]图4是panel放置在图2中面板对位调节装置上的示意图；
[0024]图5是本发明实施例的利用面板对位调节装置的对位方法流程图。
【具体实施方式】
[0025]下面结合附图和实施例，对本发明的【具体实施方式】作进一步详细描述。以下实施例用于说明本发明，但不用来限制本发明的范围。
[0026]如图2所示，本发明实施例的面板对位调节装置包括:承载板100、位于所述承载板100上的垫片200阵列及调节钮300。所述垫片200有mXn个，且可沿平行于承载板100平面移动地排列在所述承载板100上，用于承载和固定待调节面板。所述调节钮300连接所述垫片200，用于调节所述垫片200在承载板100上移动的方向和距离，从而实现对位，m彡l，n彡I。图2中示出了 m = η = 2的情况，即包括4个垫片，这样方便在承载板100四周设置调节钮300。当然也可以包括更多的垫片200，每个垫片200的调节钮分布在承载板100四周。也可以将多个面板对位调节装置，即多个承载板100并排放在一起，以满足同时对位多个面板的需求。
[0027]本实施例中，每个所述垫片200设有独立的两个调节钮300，横向调节钮和纵向调节钮，分别控制所述垫片200横向移动和纵向移动。如图2中一共8个调节钮，分别分布在承载板100的四周。调节钮300调节垫片200的移动方式可通过设置在承载板100上的轨道实现，如垫片200可横向移动地设置在第一轨道上，第一轨道可沿第二轨道纵向移动，第二轨道固定在承载板100上。横向调节钮控制垫片在第一轨道上横向移动，纵向调节钮控制第一轨道在第二轨道上纵向移动。当然也可以通过其他现有的机械结构方式实现
[0028]进一步地，对位的偏差本身不是很大，因此移动距离也不要很大。因此，将承载板100平均划分为mXη个区域阵列，每个垫片200的距离不超过区域范围。
[0029]本实施例中，所述调节钮300如图3所示，包括:标尺301、粗调旋钮302、微调旋钮303及压敏器件304。标尺301、粗调旋钮302和微调旋钮303的设置类似与螺旋测微器原理，其调节精度可达10um。对于1um以内的调节可采用压敏器件304进行调节，压敏器件304可通过施加于其上的电压值改变形变量以达到精确对位的要求。
[0030]进一步地，承载板100的厚度优选为不超过2_，以适应于对位后的蒸镀和(或)封装工艺的要求。
[0031]如图4所示，本实施例中，所述垫片100与待调节面板400接触的表面形成有粘结层，粘结层用于固定待调节面板400 ;或垫片100为真空吸附垫片，通过真空吸附的方式固定待调节面板400。
[0032]本发明还提供了一种利用上述面板对位调节装置的对位方法，如图5所示，包括:
[0033]步骤S510，将所述承载板与待对位的掩模板(mask)进行对位。
[0034]步骤S520，测量位于垫片上面板的对位标记与所述承载板上的预定位置的差值，所述预定位置保证面板与所述掩模板正确对位。
[0035]步骤S530，控制调节钮以调节所述垫片移动差值的距离，使位于垫片上面板的对位标记达到所述承载板上的预定位置。
[0036]以如图4所示的四个可调节的垫片200为例，当调节其中的某一个垫片200时，根据面板400的设计图可知面板400上对位Mark (对位标记)与承载板100之间的相对位置，即面板400上对位Mark要位于承载板100上的预定位置。然后测量(采用CD测量机台进行测量)承载板100上面板400的位置与预定位置的差值(即横向距离和纵向距离)，通过调节钮调节与差值相应的距离。以实现面板400位置与预定位置相符，对于极精细的调节可由压敏器件304辅助调节。
[0037]以上实施方式仅用于说明本发明，而并非对本发明的限制，有关技术领域的普通技术人员，在不脱离本发明的精神和范围的情况下，还可以做出各种变化和变型，因此所有等同的技术方案也属于本发明的范畴，本发明的专利保护范围应由权利要求限定。
【主权项】
1.一种面板对位调节装置，其特征在于，包括:承载板、位于所述承载板上的垫片阵列及调节钮，所述垫片有mXn个，可沿平行于承载板平面移动地排列在所述承载板上，用于承载和固定待调节面板，所述调节钮连接所述垫片，用于调节所述垫片在承载板上移动的方向和距离，m彡Ln^lo
2.如权利要求1所述的面板对位调节装置，其特征在于，每个所述垫片设有独立的两个调节钮，横向调节钮和纵向调节钮，分别控制所述垫片横向移动和纵向移动。
3.如权利要求1所述的面板对位调节装置，其特征在于，所述承载板平均划分为mXn个区域阵列，每个垫片的距离不超过区域范围。
4.如权利要求1所述的面板对位调节装置，其特征在于，所述调节钮包括:标尺、粗调旋钮、微调旋钮及压敏器件。
5.如权利要求1所述的面板对位调节装置，其特征在于，所述m和η的取值为m= η =2。
6.如权利要求1所述的面板对位调节装置，其特征在于，所述承载板厚度不超过2mm。
7.如权利要求1?6中任一项所述的面板对位调节装置，其特征在于，所述垫片与待调节面板接触的表面形成有粘结层。
8.如权利要求1?6中任一项所述的面板对位调节装置，其特征在于，所述垫片为真空吸附垫片。
9.一种利用权利要求1?8中任一项所述的面板对位调节装置的对位方法，其特征在于，包括: 将所述承载板与待对位的掩模板进行对位； 测量位于垫片上面板的对位标记与所述承载板上的预定位置的差值，所述预定位置保证面板与所述掩模板正确对位； 控制调节钮以调节所述垫片移动差值的距离，使位于垫片上面板的对位标记达到所述承载板上的预定位置。
【专利摘要】本发明涉及显示技术领域，公开了一种面板对位调节装置，包括：承载板、位于所述承载板上的垫片阵列及调节钮，所述垫片有m×n个，可沿平行于承载板平面移动地排列在所述承载板上，用于承载和固定待调节面板，所述调节钮连接所述垫片，用于调节所述垫片在承载板上移动的方向和距离，m≥1，n≥1。本发明的面板对位调节装置使得面板和mask能够精确对位，从而提高产品良率。
【IPC分类】C23C14-24, H01L51-56, H01L21-68, C23C14-54, C23C14-04
【公开号】CN104746015
【申请号】CN201510117239
【发明人】左岳平, 刘利宾
【申请人】京东方科技集团股份有限公司
【公开日】2015年7月1日
【申请日】2015年3月17日