树脂容器用涂覆装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种能够在腔室中布置多个树脂容器并且执行共同成膜的树脂容器用涂覆装置。
【背景技术】
[0002]广泛用于家庭用品等的例如聚乙烯等树脂通常具有透过例如氧气或二氧化碳等低分子气体的性质，并且还具有在其内部吸附低分子有机化合物的性质。因此，当使用树脂作为容器时，已知的是，与例如玻璃等其他容器相比，在其使用对象和使用形式方面存在各种限制。例如，在通过在其中填充碳酸饮用水而使用树脂容器的情况下，因为碳酸穿过容器渗透至外部，所以在一些情况下可以难以长时间维持作为碳酸饮用水的质量。
[0003]因此，在制造树脂容器时，为了解决由树脂容器中的低分子气体渗透和低分子有机化合物吸附引起的问题，已知通过等离子体CVD成膜技术(例如参见专利文献I)在树脂容器的内部表面上形成例如DLC (类金刚石碳)涂层等膜。此外，根据近些年来对于改进生产效率的要求，也已知用于在多个树脂容器上共同地形成这种涂层的装置。
[0004]现有技术文献专利文献
专利文献1:日本特许第2788412号专利文献2:日本特许第4567442号。
【发明内容】
[0005]本发明待解决的问题
当在多个容器中共同成膜时，如果高频电源的电力不足，则在树脂容器的内部表面中形成的膜质量发生偏差。为了在树脂容器中均匀地形成具有预定阻隔性能的具有良好质量的膜，取决于容器的例如大小和形状等条件而需要最小电力。然而，为了向多个树脂容器供应足够的电力，需要大型的高频电源。因此，将增加装置的成本。
[0006]本发明的目的在于提供一种能够抑制尚频电源的增大并提尚生广效率的树脂容器用涂覆装置。
[0007]用于解决问题的手段
本发明的树脂容器用涂覆装置包括:多个腔室，用作相互电独立的多个外部电极，并且将多个树脂容器分别以独立状态容纳；多个内部电极，电接地并且形成为筒状，其中在其内周部形成有用于引导原料气体的气体引导部，并且分别插入到容纳于腔室中的多个树脂容器内部；气体供应部，用于将原料气体供应至多个腔室；高频电源，用于向多个腔室供应高频电力；以及电力切换部，能够将从高频电源供应的高频电力的供应目的地从多个腔室的一部分切换至其它腔室。
[0008]优选的是，本发明的树脂容器用涂覆装置包括气体切换部，该气体切换部能够将从气体供应部供应的原料气体的供应目的地从多个腔室的一部分切换至其它腔室。
[0009]本发明的优点
根据本发明的树脂容器用涂覆装置，能够对多个腔室顺序地执行通过产生等离子体进行的成膜处理。即，首先将高频电力供应至多个腔室中的一部分，用于对容纳在腔室的一部分中的树脂容器执行成膜处理。随后，利用电力切换部切换高频电力的供应目的地，并且能够对容纳在剩余腔室中的树脂容器执行成膜处理。这样，对于多个腔室的预定单元分别顺序地执行成膜处理。因此，抑制了一次成膜处理所需的高频电力，并且无需增大高频电源。
[0010]此外，例如，因为能够同时对多个腔室一起执行共同预处理，例如抽空多个腔室的工序、或者向多个腔室供应原料气体的工序，所以能够提高生产效率。
【附图说明】
[0011]图1是说明根据本发明的树脂容器用涂覆装置的第一实施方式的正面剖视图。
[0012]图2是图1中所示的树脂容器用涂覆装置的侧面剖视图。
[0013]图3是图1中所示的腔室的主要部分的放大剖视图。
[0014]图4是表示第一实施方式的电连接结构和配管结构的示意图。
[0015]图5是说明第一实施方式的涂覆步骤的流程图。
[0016]图6是说明第二实施方式的电连接结构和配管结构的示意图。
[0017]图7是说明第三实施方式的电连接结构和配管结构的示意图。
【具体实施方式】
[0018]现在，以下将通过参考附图分别描述根据本发明的树脂容器用涂覆装置的实施方式。
[0019](第一实施方式)
首先，以下将通过参考图1至图5来描述根据本发明的树脂容器用涂覆装置的第一实施方式。
[0020]树脂容器用涂覆装置(下文中也称为“涂覆装置”)是在多个腔室中分别容纳树脂容器以通过使用等离子体CVD技术来在它们的内部表面上形成由硅化合物的气体等构成的膜的装置。
[0021]作为树脂容器，可以列举用于例如碳酸饮料或果汁等饮用水的瓶子、用于化妆品或药品的容器。然而，本发明不限于此，而是可以采用用于其他用途的树脂容器。
[0022]如图1至图3中所示，本实施方式的涂覆装置10包括:作为基座的基部20 ;配置在该基部20上的平板状绝缘板30 ;第一、第二、第三和第四腔室40A、40B、40C和40D，配置在绝缘板30上，并且分别具有第一、第二、第三和第四容纳室S1、S2、S3和S4这四个容纳室，以便分别以各自独立的状态容纳多个(在本实施方式中是四个)大致圆筒形的树脂容器B ;管状(筒状)内部电极50，分别插入并配置在分别设置在容纳室S1、S2、S3和S4中的多个树脂容器B中；排气单元60，分别与腔室40A、40B、40C和40D的容纳室S1、S2、S3和S4连通以排出空气；以及气体供应部70，向设置在腔室40A、40B、40C和40D的容纳室S1、S2、S3和S4中的树脂容器B供应原料气体(参见图4)0
[0023]基部20由例如不锈钢等金属块形成，并且包括矩形底板部21、以及从该底板部21的周缘向上延伸的周壁部25。由底板部21、周壁部25和绝缘板30限定了内部空间S5。此夕卜，在该基部20的底板部21的上表面部，以直线状并列的状态以大致相等的间隔设置有四个螺孔22。此外，在基部20的底板部21设置有四条气体通路23。气体通路23分别在上游端连接至气体供应部70，并且在下游端连接至螺孔22。此外，基部20电接地(参见图4)。
[0024]第一、第二、第三和第四腔室40A、40B、40C和40D分别包括第一、第二、第三和第四腔室主体41A、41B、41C和41D、以及分别可拆卸地附接至腔室主体41A、41B、41C和41D的上部以密封腔室主体41A、41B、41C和41D的第一、第二、第三和第四腔室盖体45A、45B、45C和45D。这些腔室40A、40B、40C和40D还分别作为等离子体CVD的外部电极发挥作用，并且通过将稍后描述的匹配箱81和电力切换部85电连接至高频电源80 (参见图4)。腔室主体41A、41B、41C和41D分别由矩形金属块形成，并且分别具有圆形通孔42A、42B、42C和42D，圆形通孔42A、42B、42C和42D形成为具有稍大于树脂容器B的外形的内径。
[0025]这些通孔42A、42B、42C和42D以直线状并列的状态设置，并且分别与基部20的内部空间S5连通。在通孔42A、42B、42C和42D的下部配置有一个平板状的容器保持板43。在容器保持板43中，在分别对应于通孔42A、42B、42C和42D的位置处形成有直径稍小于树脂容器B的开口的直径的四个开口部43A。因为分别容纳在容纳室S1、S2、S3和S4中的树脂容器B由容器保持板43的开口部43A的周围的部分保持，所以所收纳的树脂容器B不会从通孔42A、42B、42C和42D脱落。此外，在容器保持板43中设置有多个排气开口 44。因此，能够将分别容纳在容纳室S1、S2、S3和S4中的树脂容器B的内部和外部中的空气同时排出。
[0026]在腔室盖体45A、45B、45C和4?中，在腔室盖体45A、45B、45C和4?分别与腔室主体41A、41B、41C和41D对准的状态下对应于腔室主体41A、41B、41C和41D的通孔42A、42B、42C和42D的位置处，分别形成有相互具有相同直径的有底孔46A、46B、46C和46D。S卩，在腔室主体41A、41B、41C和41D分别与腔室盖体45A、45