一种翻转式溅射镀膜机的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种镀膜机，尤其是一种用于晶片自动翻转的翻转式溅射镀膜机。
【背景技术】
[0002]石英晶体谐振器是一种用于稳定频率和选择频率的电子元件，被广泛的应用在电子产品上。随着产品生产自动化程度的提高，生产商在保证质量的前提下，降低生产成为企业生存与发展的关键，晶片镀膜是石英晶体生产的重要环节，关系到产品的各项技术参数是否合格。现有的磁控溅射镀膜机采用磁控溅射原理提高了产品质量，并降低了生产成本，但磁控溅射镀膜在镀膜的过程中，晶片安装在晶片夹具上，每次只能对晶片的正对面进行镀膜，而晶片两个面均需要镀膜，因此，需要采用一种技术解决晶片夹具在生产过程中自动翻转180°的问题。
【发明内容】
[0003]针对现有技术存在的缺陷，本发明提供了一种翻转式溅射镀膜机，能通过晶片夹具翻转，实现晶片双面镀膜，解决了晶片夹具在生产过程中自动翻转180°的问题。
[0004]本发明采用的技术方案是，一种翻转式溅射镀膜机，包括晶片夹具、治具架、固定旋转轴、圆柱滚珠、压件、弹簧、顶丝、安装块、转轮和翻板；
所述晶片夹具安装在治具架槽内；
所述治具架安装在固定旋转轴上，固定旋转轴安装在安装块上，下面用转轮限位固定，固定旋转轴周面上设有2个V型槽，V型槽成180°分布；
所述圆柱滚珠放入安装块的槽孔内，使得圆柱滚珠柱面卡在固定旋转轴的V型槽内；所述圆柱滚珠采用压件、弹簧和顶丝固定在安装块的槽孔内，同时可以调节顶丝来控制弹簧的压缩量，从而控制圆柱滚珠柱面与固定旋转轴的V型槽面之间的压力；
所述翻板固定在治具架需要翻转的位置，同时使翻板接触弧面和转轮弧面相切。
[0005]溅射镀膜机在生产过程中，转轮相邻的两个弧面与翻板两个弧面连续相切，翻板拨动转轮带动治具架翻转180°，圆柱滚珠在弹簧的作用下，柱面卡在固定旋转轴另一侧的V型槽内，起到定位作用。
[0006]本发明的有益效果，本发明采用翻转式溅射镀膜机对晶片镀膜，晶片夹具在生产过程中自动翻转180°，减少了镀膜过程中的工序，节省了人力，提高了工作效率，降低了生产成本。
【附图说明】
[0007]下面结合附图和实施例对本发明作进一步详细描述。
[0008]图1为本发明翻转式镀膜机的结构示意图。
[0009]图2为本发明晶片夹具安装示意图。
[0010]图3为本发明治具架翻转180°定位结构图。
[0011]图4为本发明转轮与翻板接触结构示意图。
[0012]图中1.晶片夹具，2.治具架，3.固定旋转轴，4.圆柱滚珠，5.压件，6.弹簧，7.顶丝，8.安装块，9.转轮，10.翻板，11.V型槽。
【具体实施方式】
[0013]参照附图，一种翻转式溅射镀膜机，包括晶片夹具1，所述晶片夹具I安装在治具架2槽内，所述治具架2安装在固定旋转轴3上，所述固定旋转轴3安装在安装块8上，下面用转轮9限位、固定，固定旋转轴3周面上设有2个V型槽11，V型槽11成180°分布，所述圆柱滚珠4放入安装块8的槽孔内，使得圆柱滚珠4的柱面卡在固定旋转轴3的V型槽内，所述圆柱滚珠4采用压件5、弹簧6和顶丝7固定在安装块8的槽孔内，所述翻板10固定在治具架2需要翻转的位置，同时使翻板10的接触弧面和转轮9弧面相切；在生产过程中，转轮相邻的两个弧面与翻板10的两个弧面连续相切，翻板10拨动转轮9带动治具架2翻转180°，圆柱滚珠4在弹簧6的作用下，柱面卡在固定旋转轴3另一侧的V型槽11内，起到定位作用。
【主权项】
1.一种翻转式溅射镀膜机，包括晶片夹具、治具架、固定旋转轴、圆柱滚珠、压件、弹簧、顶丝、安装块、转轮和翻板，其特征在于: 所述晶片夹具安装在治具架槽内； 所述治具架安装在固定旋转轴上，固定旋转轴安装在安装块上，下面用转轮限位固定，固定旋转轴周面上设有2个V型槽，V型槽成180°分布； 所述圆柱滚珠放入安装块的槽孔内，使得圆柱滚珠柱面卡在固定旋转轴的V型槽内，所述圆柱滚珠采用压件、弹簧和顶丝固定在安装块的槽孔内，同时可以调节顶丝来控制弹簧的压缩量，从而控制圆柱滚珠柱面与固定旋转轴的V型槽面之间的压力； 所述翻板固定在治具架需要翻转的位置，使翻板接触弧面和转轮弧面相切。
2.根据权利要求1所述的翻转式溅射镀膜机，其特征在于:溅射镀膜机在生产过程中，转轮相邻的两个弧面与翻板的两个弧面连续相切，翻板拨动转轮带动治具架翻转180°。
3.根据权利要求1所述的翻转式溅射镀膜机，其特征在于:圆柱滚珠在弹簧的作用下，柱面卡在固定旋转轴另一侧的V型槽内，起到定位作用。
【专利摘要】本发明涉及一种镀膜机，尤其是一种用于晶片自动翻转的翻转式溅射镀膜机，包括晶片夹具、治具架、固定旋转轴、圆柱滚珠、压件、弹簧、顶丝、安装块、转轮和翻板，治具架安装在固定旋转轴上，固定旋转轴安装在安装块的槽内，下面用转轮限位固定，固定旋转轴上设有两个2个V型槽，V型槽成180°分布，圆柱滚珠圆柱滚珠采用压件、弹簧和顶丝固定在安装块的槽孔内，圆柱滚珠的柱面卡在固定旋转轴的一侧V型槽内，翻板固定在治具架需要翻转的位置，同时使翻板接触弧面和转轮弧面相切，该装置可用于溅射镀膜机镀膜过程中的晶片翻转，从而减少了镀膜过程中的工序，提高了工作效率，降低了生产成本。
【IPC分类】C23C14-35
【公开号】CN104775099
【申请号】CN201410011791
【发明人】吕春哲, 孙旭东
【申请人】烟台力凯电子科技有限公司
【公开日】2015年7月15日
【申请日】2014年1月11日