一种翻转式溅射镀膜机的制作方法

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一种翻转式溅射镀膜机的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种镀膜机,尤其是一种用于晶片自动翻转的翻转式溅射镀膜机。
【背景技术】
[0002]石英晶体谐振器是一种用于稳定频率和选择频率的电子元件,被广泛的应用在电子产品上。随着产品生产自动化程度的提高,生产商在保证质量的前提下,降低生产成为企业生存与发展的关键,晶片镀膜是石英晶体生产的重要环节,关系到产品的各项技术参数是否合格。现有的磁控溅射镀膜机采用磁控溅射原理提高了产品质量,并降低了生产成本,但磁控溅射镀膜在镀膜的过程中,晶片安装在晶片夹具上,每次只能对晶片的正对面进行镀膜,而晶片两个面均需要镀膜,因此,需要采用一种技术解决晶片夹具在生产过程中自动翻转180°的问题。

【发明内容】

[0003]针对现有技术存在的缺陷,本发明提供了一种翻转式溅射镀膜机,能通过晶片夹具翻转,实现晶片双面镀膜,解决了晶片夹具在生产过程中自动翻转180°的问题。
[0004]本发明采用的技术方案是,一种翻转式溅射镀膜机,包括晶片夹具、治具架、固定旋转轴、圆柱滚珠、压件、弹簧、顶丝、安装块、转轮和翻板;
所述晶片夹具安装在治具架槽内;
所述治具架安装在固定旋转轴上,固定旋转轴安装在安装块上,下面用转轮限位固定,固定旋转轴周面上设有2个V型槽,V型槽成180°分布;
所述圆柱滚珠放入安装块的槽孔内,使得圆柱滚珠柱面卡在固定旋转轴的V型槽内;所述圆柱滚珠采用压件、弹簧和顶丝固定在安装块的槽孔内,同时可以调节顶丝来控制弹簧的压缩量,从而控制圆柱滚珠柱面与固定旋转轴的V型槽面之间的压力;
所述翻板固定在治具架需要翻转的位置,同时使翻板接触弧面和转轮弧面相切。
[0005]溅射镀膜机在生产过程中,转轮相邻的两个弧面与翻板两个弧面连续相切,翻板拨动转轮带动治具架翻转180°,圆柱滚珠在弹簧的作用下,柱面卡在固定旋转轴另一侧的V型槽内,起到定位作用。
[0006]本发明的有益效果,本发明采用翻转式溅射镀膜机对晶片镀膜,晶片夹具在生产过程中自动翻转180°,减少了镀膜过程中的工序,节省了人力,提高了工作效率,降低了生产成本。
【附图说明】
[0007]下面结合附图和实施例对本发明作进一步详细描述。
[0008]图1为本发明翻转式镀膜机的结构示意图。
[0009]图2为本发明晶片夹具安装示意图。
[0010]图3为本发明治具架翻转180°定位结构图。
[0011]图4为本发明转轮与翻板接触结构示意图。
[0012]图中1.晶片夹具,2.治具架,3.固定旋转轴,4.圆柱滚珠,5.压件,6.弹簧,7.顶丝,8.安装块,9.转轮,10.翻板,11.V型槽。
【具体实施方式】
[0013]参照附图,一种翻转式溅射镀膜机,包括晶片夹具1,所述晶片夹具I安装在治具架2槽内,所述治具架2安装在固定旋转轴3上,所述固定旋转轴3安装在安装块8上,下面用转轮9限位、固定,固定旋转轴3周面上设有2个V型槽11,V型槽11成180°分布,所述圆柱滚珠4放入安装块8的槽孔内,使得圆柱滚珠4的柱面卡在固定旋转轴3的V型槽内,所述圆柱滚珠4采用压件5、弹簧6和顶丝7固定在安装块8的槽孔内,所述翻板10固定在治具架2需要翻转的位置,同时使翻板10的接触弧面和转轮9弧面相切;在生产过程中,转轮相邻的两个弧面与翻板10的两个弧面连续相切,翻板10拨动转轮9带动治具架2翻转180°,圆柱滚珠4在弹簧6的作用下,柱面卡在固定旋转轴3另一侧的V型槽11内,起到定位作用。
【主权项】
1.一种翻转式溅射镀膜机,包括晶片夹具、治具架、固定旋转轴、圆柱滚珠、压件、弹簧、顶丝、安装块、转轮和翻板,其特征在于: 所述晶片夹具安装在治具架槽内; 所述治具架安装在固定旋转轴上,固定旋转轴安装在安装块上,下面用转轮限位固定,固定旋转轴周面上设有2个V型槽,V型槽成180°分布; 所述圆柱滚珠放入安装块的槽孔内,使得圆柱滚珠柱面卡在固定旋转轴的V型槽内,所述圆柱滚珠采用压件、弹簧和顶丝固定在安装块的槽孔内,同时可以调节顶丝来控制弹簧的压缩量,从而控制圆柱滚珠柱面与固定旋转轴的V型槽面之间的压力; 所述翻板固定在治具架需要翻转的位置,使翻板接触弧面和转轮弧面相切。
2.根据权利要求1所述的翻转式溅射镀膜机,其特征在于:溅射镀膜机在生产过程中,转轮相邻的两个弧面与翻板的两个弧面连续相切,翻板拨动转轮带动治具架翻转180°。
3.根据权利要求1所述的翻转式溅射镀膜机,其特征在于:圆柱滚珠在弹簧的作用下,柱面卡在固定旋转轴另一侧的V型槽内,起到定位作用。
【专利摘要】本发明涉及一种镀膜机,尤其是一种用于晶片自动翻转的翻转式溅射镀膜机,包括晶片夹具、治具架、固定旋转轴、圆柱滚珠、压件、弹簧、顶丝、安装块、转轮和翻板,治具架安装在固定旋转轴上,固定旋转轴安装在安装块的槽内,下面用转轮限位固定,固定旋转轴上设有两个2个V型槽,V型槽成180°分布,圆柱滚珠圆柱滚珠采用压件、弹簧和顶丝固定在安装块的槽孔内,圆柱滚珠的柱面卡在固定旋转轴的一侧V型槽内,翻板固定在治具架需要翻转的位置,同时使翻板接触弧面和转轮弧面相切,该装置可用于溅射镀膜机镀膜过程中的晶片翻转,从而减少了镀膜过程中的工序,提高了工作效率,降低了生产成本。
【IPC分类】C23C14-35
【公开号】CN104775099
【申请号】CN201410011791
【发明人】吕春哲, 孙旭东
【申请人】烟台力凯电子科技有限公司
【公开日】2015年7月15日
【申请日】2014年1月11日
再多了解一些
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