真空镀膜设备的复合密封系统的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及真空镀膜设备，尤其真空镀膜设备的复合密封系统。
【背景技术】
[0002]真空镀膜是一种产生薄膜材料的技术。在真空室内材料的原子从加热源离析出来打到被镀物体的表面上。
[0003]然而，真空镀膜的先决条件是要确保真空腔室具有良好稳定的真空度。目前，真空镀膜设备密封形式多采用单根橡胶圈密封，这种密封形式适用于较小密封面的密封，对于较大密封面采用该种密封方式容易出现密封效果不佳的问题。
[0004]尤其对于经常开闭的盖板，橡胶圈受反复作用力以及温度和其他环境因素的影响下，很容易产生异常变形和老化，缩短橡胶圈的使用寿命。橡胶圈一旦在局部某处产生异常变形和老化，就会影响镀膜设备真空度的获得；而且因需经常更换密封件，极大的影响着生产连续、正常的进行。
【发明内容】
[0005]本发明旨在解决现有技术中的不足和缺陷，提供一种结构新颖、安全可靠的真空镀膜设备的复合密封系统。
[0006]为了达成上述目的，提供了一种真空镀膜设备的复合密封系统，包括密封法兰和光面法兰。所述密封法兰压紧所述光面法兰，形成符合密封结构。
[0007]一些实施例中，所述密封法兰的密封面上开设有密封槽，密封槽内设有内层密封圈和外层密封圈。
[0008]一些实施例中，所述内层密封圈和外层密封圈在螺栓力或者重力和压差力的作用下压紧光面法兰，形成双层密封结构。
[0009]一些实施例中，内层密封圈和外层密封圈之间开设有第一泄气槽。
[0010]一些实施例中，所述第一泄气槽上设有泄气孔，第一泄气槽通过泄气孔连接真空管道一端，真空管道另一端连接真空泵。
[0011]一些实施例中，所述内层密封圈和外层密封圈之间通过支架隔开。
[0012]一些实施例中，所述支架分为若干段，通过螺钉固定于密封法兰上，支架下表面开设有第二泄气槽。
[0013]一些实施例中，所述内层密封圈和外层密封圈分别嵌于相互独立的两密封槽内。
[0014]本发明同现有技术相比，其采用了复合密封圈的结构，使得密封性能更可靠；且不会因其中一根密封圈的失效而影响真空腔体的密封性，延长了大面积密封结构的使用寿命。同时，本密封结构具有结构简单，易安装、拆卸的优点。
[0015]以下结合附图，通过示例说明本发明主旨的描述，以清楚本发明的其他方面和优点。
【附图说明】
[0016]结合附图，通过下文的详细说明，可更清楚地理解本发明的上述及其他特征和优点，其中:
[0017]图1为本发明实施例1的结构示意图；并且
[0018]图2为本发明实施例2的结构示意图。
【具体实施方式】
[0019]参见本发明具体实施例的附图，下文将更详细地描述本发明。然而，本发明可以以许多不同形式实现，并且不应解释为受在此提出之实施例的限制。相反，提出这些实施例是为了达成充分及完整公开，并且使本技术领域的技术人员完全了解本发明的范围。
[0020]现参考附图详细说明根据本发明实施例的真空镀膜设备的复合密封系统。根据本发明实施例的真空镀膜设备的复合密封系统，包括真空泵，真空泵通过真空管道与法兰上泄气孔连接，它由内层密封圈、外层密封圈以及密封法兰和光面法兰组成。密封法兰密封面上开有密封槽，内层密封圈和外层密封圈嵌于密封槽内；两密封圈间开有泄气槽，法兰体上开有一泄气孔，泄气槽通过泄气孔以及真空管道与真空泵相连，通过真空泵可以把两密封圈间的气体排出，形成真空，提高密封效果。两密封圈在螺栓力或者重力和压差力的作用下压紧光面法兰，形成双层密封。
[0021]在上述主要技术方案的基础上，可以增加以下进一步完善的技术方案:
[0022]内层密封圈和外层密封圈可嵌于同一密封槽内，密封法兰密封面上只需开一个密封槽，简化了密封槽结构，减小了加工难度。同一密封槽内的内外两层密封圈间通过支架隔开，支架同时起到固定密封圈的作用。支架可分为若干段，通过螺钉固定于密封法兰体上，支架下表面开有泄气槽，用于排出两密封圈间的气体。内层密封圈和外层密封圈也可分别嵌于相互独立的两密封槽内，无需支架固定，节约了支架成本。双层密封结构既可垂直安装，也可水平安装；对于垂直安装的形式，两法兰间通过螺栓连接，如镀膜腔体与腔体之间的密封；对于水平安装的形式，两密封圈在密封法兰的重力以及压差力的作用下压紧光面法兰，如盖板与腔体间的密封，则可省去螺栓连接。
[0023]实施例一:
[0024]如图1所示，本实施例包括真空泵，真空泵通过真空管道与法兰上泄气孔8连接，其特征在于:它由内层密封圈3、外层密封圈4、支架5以及密封法兰I和光面法兰2组成。密封法兰I密封面上开有密封槽6，内层密封圈3和外层密封圈4嵌于密封槽6内，两密封圈间通过支架5隔开，支架5通过螺钉固定于密封法兰I上，同时将两密封圈固定于密封槽6内；支架5可分为若干段，且底部开有泄气槽7，光面法兰2上开有一泄气孔8，泄气槽7通过泄气孔8以及真空管道与真空泵相连，通过真空泵可以把两密封圈间的气体排出，形成真空，提高密封效果。两密封圈在螺栓力或者重力和压差力的作用下压紧光面法兰2，形成双层密封。
[0025]实施例二:
[0026]如图2所示，本实施例包括真空泵，真空泵通过真空管道与法兰上泄气孔8连接，其特征在于:它由内层密封圈3、外层密封圈4以及密封法兰I和光面法兰2组成。密封法兰I密封面上开有两密封槽6，内层密封圈3和外层密封圈4分别嵌于两密封槽6内，两密封圈间的密封法兰I密封面上开有泄气槽7，在泄气槽7上方密封法兰I上某处开有一泄气孔8，泄气槽7通过泄气孔8以及真空管道与真空泵相连，通过真空泵可以把两密封圈间的气体排出，形成真空，提高密封效果。两密封圈在螺栓力或者重力和压差力的作用下压紧光面法兰2，形成双层密封。
[0027]根据本发明的真空镀膜设备的复合密封系统，采用了复合密封圈的结构，使得密封性能更可靠；且不会因其中一根密封圈的失效而影响真空腔体的密封性，延长了大面积密封结构的使用寿命。同时，本密封结构具有结构简单，易安装、拆卸的优点。
[0028]以上详细描述了本发明的较佳具体实施例。应当理解，本领域的普通技术人员无需创造性劳动就可以根据本发明的构思做出诸多修改和变化。凡本技术领域中技术人员依本发明的构思在现有技术的基础上通过逻辑分析、推理或者有限的实验可以得到的技术方案，皆应在由权利要求书所确定的保护范围内。
【主权项】
1.一种真空镀膜设备的复合密封系统，包括密封法兰(I)和光面法兰(2)，所述密封法兰(I)压紧所述光面法兰(2)，形成符合密封结构。
2.根据权利要求1所述的真空镀膜设备的复合密封系统，其特征在于，所述密封法兰(I)的密封面上开设有密封槽￠)，密封槽￠)内设有内层密封圈(3)和外层密封圈(4)。
3.根据权利要求2所述的真空镀膜设备的复合密封系统，其特征在于，所述内层密封圈(3)和外层密封圈(4)在螺栓力或者重力和压差力的作用下压紧光面法兰(2)，形成双层密封结构。
4.根据权利要求2所述的真空镀膜设备的复合密封系统，其特征在于，所述内层密封圈(3)和外层密封圈(4)之间开设有第一泄气槽(7)。
5.根据权利要求4所述的真空镀膜设备的复合密封系统，其特征在于，所述第一泄气槽(7)上设有泄气孔(8)，第一泄气槽(7)通过泄气孔(8)连接真空管道一端，真空管道另一端连接真空泵。
6.根据权利要求2所述的真空镀膜设备的复合密封系统，其特征在于，所述内层密封圈⑶和外层密封圈⑷之间通过支架(5)隔开。
7.根据权利要求6所述的真空镀膜设备的复合密封系统，其特征在于，所述的支架(5)分为若干段，通过螺钉固定于密封法兰(I)上，支架(5)下表面开设有第二泄气槽(7)。
8.根据权利要求2所述的真空镀膜设备的复合密封系统，其特征在于，所述内层密封圈(3)和外层密封圈(4)分别嵌于相互独立的两密封槽内。
【专利摘要】提供了一种真空镀膜设备的复合密封系统，包括密封法兰和光面法兰。所述密封法兰压紧所述光面法兰，形成符合密封结构。本发明同现有技术相比，其采用了复合密封圈的结构，使得密封性能更可靠；且不会因其中一根密封圈的失效而影响真空腔体的密封性，延长了大面积密封结构的使用寿命。同时，本密封结构具有结构简单，易安装、拆卸的优点。
【IPC分类】C23C14-56
【公开号】CN104805412
【申请号】CN201510072257
【发明人】彭寿, 魏晓俊, 官敏, 惠建秋, 谷天奇, 王海林, 杨黎虹, 蒋鸿, 于涛, 赵永
【申请人】中国建材国际工程集团有限公司
【公开日】2015年7月29日
【申请日】2015年2月10日