一种纳米材料真空镀膜机的制作方法

文档序号:8554749阅读:1136来源:国知局
一种纳米材料真空镀膜机的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及纳米镀膜设备技术领域,尤其涉及一种纳米材料真空镀膜机。
【背景技术】
[0002]纳米防水镀膜技术广泛用于航空航天军工、电路板、磁性材料、传感器、硅橡胶、密封件、医疗器械、珍贵文物、小家电(豆浆机、电饭锅、电磁炉、弟Ij须刀、遥控器、空调扇、空调、微波炉等、音响)、数码(手机、相机、笔记本、平板、耳机、)、卫浴、蓄电池、汽车(电子钥匙、倒车雷达、充电粧)等领域;能在金、银、钨、钴、钯等不同金属表面形成2-10nm厚度左右的镀层,从而使金属表面具有良好的耐磨性、防水、导电性能、耐腐蚀、耐高温、防氧化及改变表面张力等特性,从而提升材料性能,可以全面的改善产品品质。
[0003]现有的镀膜机具有以下缺陷:1.气密性不强,影响真空效果,抽真空效果不好,生产效率低;且影响镀膜效果,制得的成品良品率低;2.镀膜效果差,薄膜容易从产品上脱落;3.设备机构负责,不便维修;4.只能适用于一些金属镀膜材料,易生成有害气体。

【发明内容】

[0004]本发明的目的在于针对现有技术的不足提供一种纳米材料真空镀膜机,本发明结构简单、紧凑,密封性强,镀膜效果好,薄膜不宜脱落,镀膜材料采用纳米材料不会生产有害气体。
[0005]本发明是通过以下技术方案来实现的,一种纳米材料真空镀膜机,包括用于将镀膜材料蒸发成气体的蒸发炉、对气体进行裂解反应的裂解炉以及对产品进行镀膜的镀膜装置,所述镀膜装置包括真空炉、对真空炉内进行抽真空的真空泵以及对真空炉内进行加压的加压泵,所述真空炉分别通过管道与真空泵和加压泵连接,所述蒸发炉、裂解炉和真空炉之间通过管道连通,所述裂解炉和真空炉之间还设置有气动阀。
[0006]作为优选,所述蒸发炉包括蒸发炉体和密封门,所述蒸发炉体内设置有蒸发室,所述蒸发室内设置有内加热板,所述内加热板包括板体,所述板体内设置有加热丝和第一冷凝管,所述蒸发炉体的外表面设置有外层加热板。
[0007]作为优选,所述内加热板包括板体,所述板体由底板和盖板组成,所述盖板设置有若干个相互平行的第一槽位,相邻的两个第一槽位之间通过第一圆弧槽连通,若干个所述第一槽位和若干个所述第一圆弧槽内均设置有加热丝;所述底板设置有若干个相互平行的第二槽位,相邻的两个第二槽位之间通过第二圆弧槽连通,若干个所述第二槽位和若干个所述第二圆弧槽内均设置有第一冷凝管。
[0008]作为优选,所述底板和盖板均为铝合金板。
[0009]作为优选,所述裂解炉包括第一管体,所述第一管体内设置有裂解室,所述第一管体的外部设置有加热层,所述加热层的外部设置有保温层。
[0010]作为优选,所述气动阀包括阀体,所述阀体的底部设置有进气口,所述阀体内设置有控制进气口打开或关闭的阀盖,所述阀体的外部设置有气缸,所述阀体的上盖板设置有一通孔,所述通孔内设置有轴套,所述轴套内设置有第一密封件,所述气缸的活塞杆依次穿过轴套和第一密封件,并延伸至阀体内与阀盖固定连接,所述活塞杆的底端设置有压环,所述压环与阀盖固定连接,所述活塞杆的外壁套设有波纹管。
[0011]作为优选,所述真空炉包括真空炉体和炉门,所述真空炉体内设置有工件挂架,还包括用于驱动所述工件挂架转动的电机,所述真空炉体的底部设置有一通孔,所述通孔内设有第二密封件,所述电机的电机轴穿过所述通孔和第二密封件与工件挂架驱动连接。
[0012]作为优选,所述镀膜装置还包括有冷凝回收装置,所述冷凝回收装置包括第二管体,第二管体的右端密封,第二管体开设有材料入口和气体出口,所述材料入口通过管道与真空炉连通,所述气体出口通过管道与真空泵连通,还包括冷凝器,冷凝器包括设置于第二管体内部的第二冷凝管、与第二冷凝管的左端固定连接的冷凝端盖,冷凝端盖的右壁面与第二管体的左端可拆卸连接,所述第二冷凝管的管体设置有螺纹结构。
[0013]作为优选,所述冷凝器还包括与冷凝端盖的左壁面固定连接的柱状体,柱状体开设有深冷接头,深冷接头设置有冷却水入口和回流水出口。
[0014]本发明有益效果:一种纳米材料真空镀膜机,包括用于将镀膜材料蒸发成气体的蒸发炉、对气体进行裂解反应的裂解炉以及对产品进行镀膜的镀膜装置,所述镀膜装置包括真空炉、对真空炉内进行抽真空的真空泵以及对真空炉内进行加压的加压泵,所述真空炉分别通过管道与真空泵和加压泵连接,所述蒸发炉、裂解炉和真空炉之间通过管道连通,所述裂解炉和真空炉之间还设置有控制经过裂解反应的气体进入真空炉内的气动阀,将纳米镀膜材料放入蒸发炉内蒸发成气体,再进入裂解炉内进行裂解反应,真空泵对真空炉进行抽真空处理,经过裂解后的气态镀膜材料会吸附在产品的表面形成一层薄膜,本发明结构简单、紧凑,密封性强,镀膜效果好,薄膜不宜脱落,镀膜材料采用纳米材料不会生产有害气体。
【附图说明】
[0015]图1为本发明的主视图。
[0016]图2为本发明的俯视图。
[0017]图3为本发明蒸发炉的剖面结构示意图。
[0018]图4为本发明内加热板的剖面结构示意图。
[0019]图5为本发明盖板的结构示意图。
[0020]图6为本发明底板的结构示意图。
[0021]图7为本发明裂解炉的剖面结构示意图。
[0022]图8为本发明气动阀的剖面结构示意图。
[0023]图9为图8中A处的放大结构示意图。
[0024]图10为图8中B处的放大结构示意图。
[0025]图11为本发明真空炉的剖面结构示意图。
[0026]图12为本发明冷凝回收装置的剖面结构示意图。
[0027]附图标记为:
I一蒸发炉11一蒸发炉体
12—密封门13—蒸发室 14 一内加热板141 一底板
1411 一第二槽位1412—第二圆弧槽
142—盖板1421—第一槽位
1422—第一圆弧槽15—加热丝
16—第一冷凝管17—外层加热板。
[0028]2—裂解炉 21—第一管体 22—裂解室23—加热层
24—保温层3—真空炉
31—真空炉体32—工件挂架
33—电机34—第二密封件 4 一真空泵
6—气动阀61—阀体 62—进气口63—阀盖
64一气缸641—活塞杆
65—轴套66—第一密封件
67—压环68—波纹管
7—冷凝回收装置71 一第二管体 72—材料入口73—气体出口 74—第二冷凝管75—冷凝端盖 76—柱状体77—深冷接头。
【具体实施方式】
[0029]下面结合附图1至图12,以及【具体实施方式】对本发明做进一步地说明。
[0030]如图1至图2所示,一种纳米材料真空镀膜机,包括用于将镀膜材料蒸发成气体的蒸发炉1、对气体进行裂解反应的裂解炉2以及对产品进行镀膜的镀膜装置,所述镀膜装置包括真空炉3、对真空炉3内进行抽真空的真空泵4以及对真空炉3内进行加压的加压泵5,所述真空炉3分别通过管道与真空泵4和加压泵5连接,所述蒸发炉1、裂解炉2和真空炉3之间通过管道连通,所述裂解炉2和真空炉3之间还设置有气动阀6。
[0031]本实施例将纳米镀膜材料放入蒸发炉I内蒸发成气体,再进入裂解炉2内进行裂解反应,真空泵4对真空炉3进行抽真空处理,经过裂解后的气态镀膜材料会吸附在产品的表面形成一层薄膜,本发明结构简单、紧凑,密封性强,镀膜效果好,薄膜不宜脱落,镀膜材料采用纳米材料不会生产有害气体。
[0032]在镀膜工艺中,需要将镀膜材料放入蒸发炉里面蒸发变成气体,然后再进入裂解炉内反应,工作时,蒸发炉内的加热板一直保持在高温状态,时间长的话,加热板会因承受不了长时间的高温而出现损坏、使用寿命降低,导致蒸发炉不能正常工作,降低效率,加热板频繁的更换也增加了生产成本,如图3至图6所示,本实施例中,所述蒸发炉包括蒸发炉体11和密封门12,所述蒸发炉体11内设置有蒸发室13,所述蒸发室内设置有内加热板14,所述内加热板14包括板体,所述板体内设置有加热丝15和第一冷凝管16,所述蒸发炉体11的外表面设置有外层加热板17,当内加热板14完成一次加热后,第一冷凝管16能够将内加热板14的温度迅速降至常温,延长使用内加热板14的使用寿命,防止内加热板14长时间承受尚温而损坏。
[0033]本实施例中,所述板体由底板141和盖板142组成,所述盖板142设置有若干个相互平行的第一槽位1421,相邻的两个第一槽位1421之间通过第一圆弧槽1422连通,若干个所述第一槽位1421和若干个所述第一圆弧槽1422内均设置有加热丝15,使得盖板142的各个区域的受热更为均匀,进一步降低了盖板142在工作时各个区域温度的差异并同时进一步提高了盖板142的加热效率;所述底板141设置有若干个相互平行的第二槽位1411,相邻的两个第二槽位1411之间通过第二圆弧槽1412连通,若干个所述第二槽位1411和若干个所述第二圆弧槽1412内均设置有第一冷凝管16,增加了热交
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