一种坩埚装置的制造方法

文档序号:9271277阅读:138来源:国知局
一种坩埚装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及蒸镀技术领域,尤其涉及一种坩祸装置。
【背景技术】
[0002]目前,在底发射型OLED的制备过程中,显示器件的制备需要在真空蒸镀设备中进行,真空蒸镀设备中采用坩祸承装需要蒸镀的材料,在显示器件的材料会有一些易氧化的活性金属材料。
[0003]在真空蒸镀腔内未达到真空状态时,处于坩祸内的易氧化金属材料会发生氧化,影响显示器件的性能,在实际生产中通过在坩祸上增加坩祸盖,当坩祸盖与坩祸锅体配合时,坩祸盖与坩祸锅体配合形成密闭空间,进而减少氧化程度;当坩祸装置处于真空蒸镀腔内需要将蒸镀材料蒸出时,需要打开坩祸盖与坩祸锅体行程的密闭空间以使蒸镀材料溢出坩祸装置进行蒸镀;在蒸镀活性金属的过程中,通常是将装有活性金属的坩祸放入蒸镀腔室,打开坩祸盖,关闭蒸镀腔室,然后快速抽尽快达到高真空,这样可以减少金属的氧化。但是,实际操作中还是有很多金属发生氧化影响了器件的性能。
[0004]因此,如何实现坩祸装置中坩祸盖的自动开合是本领域技术人员亟需解决的技术问题之一。

【发明内容】

[0005]本发明提供一种坩祸装置,该坩祸装置能够利用坩祸装置外部环境气压的大小实现对坩祸盖的自动开合。
[0006]为达到上述目的,本发明提供以下技术方案:
[0007]—种坩祸装置,包括坩祸锅体,所述坩祸锅体用于存储蒸镀材料,所述坩祸锅体设有开口 ;
[0008]坩祸盖,所述坩祸盖与所述坩祸锅体的开口相匹配,所述坩祸盖处于盖合状态时与所述坩祸锅体配合形成密闭空间,所述坩祸盖处于开启状态时使所述坩祸锅体设有的开口打开;
[0009]驱动机构,所述驱动机构包括一内部具有空腔的壳体和设置在所述空腔内的活塞,所述空腔具有一空腔开口,所述活塞将所述空腔分隔成远离所述空腔开口一侧的封闭腔室和靠近所述空腔开口一侧的开放腔室,所述封闭腔室内存储有气体,所述活塞通过传动机构与所述坩祸盖连接,所述活塞根据所述开放腔室的压强变化而在所述空腔内移动,从而驱动所述坩祸盖在开启状态和盖合状态之间转换。
[0010]上述坩祸装置在使用过程中,将坩祸装置放入真空蒸镀腔、且真空蒸镀腔中没有进行抽真空操作时,此时坩祸装置所处环境的气体压强没有变化,坩祸盖处于盖合状态,坩祸盖与坩祸锅体之间配合形成密闭空间,进而减少存储在坩祸锅体内的易氧化金属材料的氧化程度,以免影响显示器件的性能;当对真空蒸镀腔进行抽真空操作时,真空蒸镀腔内的气压逐渐减小,此时,驱动装置壳体内空腔形成的开放腔室内的气体压强逐渐减小,活塞在封闭腔室内气体压强的作用下向开放腔室一侧移动,进而通过传动机构带动与之相连的坩祸盖运动,进而使樹祸盖由盖合状态向开启状态转换,直至;t甘祸盖转换至开启状态,樹祸锅体内的蒸镀材料自坩祸装置内溢出,实现蒸镀。
[0011]因此,上述坩祸装置具有的驱动坩祸盖的驱动机构能够根据坩祸装置所处环境的气体压强的不同而进行不同的动作,进而使与坩祸锅体相匹配的坩祸盖能够在驱动机构的驱动下在开启状态和盖合状态之间转换,这样,该坩祸装置能够利用坩祸装置外部环境气压的大小实现对坩祸盖的自动开合。
[0012]优选地,所述坩祸锅体包括一个一端开口的容体和一个与所述容体可拆卸地固定连接、且设置于所述容体的开口端的固定块,所述固定块上设有用于形成所述坩祸锅体的开口的通孔,且所述固定块朝向所述坩祸盖的一侧表面形成坩祸盖承载面,所述驱动机构安装于所述固定块,所述驱动机构动作时驱动所述坩祸盖在所述承载面上滑动以使所述坩祸盖在开启状态和盖合状态之间转换。
[0013]优选地,所述容体通过螺纹连接固定于所述固定块上。
[0014]优选地,所述传动机构为连杆机构。
[0015]优选地,所述连杆机构包括一驱动杆和一个传动杆,其中:
[0016]所述传动杆的中部通过枢转轴安装于所述固定块,所述传动杆的一端与所述坩祸盖传动连接,所述枢转轴的轴心线与所述固定块的承载面垂直;
[0017]所述活塞的移动方向与所述枢转轴的轴心线垂直;
[0018]所述驱动杆的一端与所述活塞传动连接,另一端与所述传动杆的另一端传动连接、动作时驱动所述传动杆绕所述枢转轴旋转。
[0019]优选地,所述坩祸盖与所述固定块之间通过至少一对滑动配合的滑槽和滑轨滑动配合。
[0020]优选地,当所述坩祸盖处于盖合状态时,所述封闭腔室内的气压为一个大气压。
[0021]优选地,所述固定块上设有所述滑轨,且所述坩祸盖上设有所述滑槽。
[0022]优选地,所述坩祸盖为金属材料,所述固定块材料为钛。
[0023]优选地,所述坩祸盖的形状为圆形,所述坩祸盖在所述传动杆的带动下形成的运动轨迹的行程大于所述坩祸盖的直径。
【附图说明】
[0024]图1为本发明提供的坩祸装置开启状态的结构示意图;
[0025]图2为本发明提供的坩祸装置盖合状态的结构示意图;
[0026]图3为本发明提供的坩祸装置坩祸锅体的结构示意图。
【具体实施方式】
[0027]下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
[0028]如图1、图2所示,本发明实施例提供的一种坩祸装置,包括坩祸锅体1,坩祸锅体I用于存储蒸镀材料,坩祸锅体I设有开口 ;
[0029]坩祸盖2,坩祸盖2与坩祸锅体I的开口相匹配,坩祸盖2处于盖合状态时与坩祸锅体I配合形成密闭空间,坩祸盖2处于开启状态时使坩祸锅体I设有的开口打开;
[0030]驱动机构3,驱动机构3包括一内部具有空腔31的壳体和设置在空腔31内的活塞32,空腔31具有一空腔开口,活塞32将空腔31分隔成远离空腔31开口一侧的封闭腔室和靠近空腔31开口一侧的开放腔室,封闭腔室内存储有气体,活塞32通过传动机构33与坩祸盖2连接,活塞32根据开放腔室的压强变化而在空腔内移动,从而驱动坩祸盖2在开启状态和盖合状态之间转换。
[0031]上述坩祸装置中,将坩祸装置放入真空蒸镀腔、且真空蒸镀腔中没有进行抽真空操作时,此时坩祸装置所处环境的气体压强没有变化,坩祸盖2处于盖合状态,坩祸盖2与坩祸锅体I之间配合形成密闭空间,进而减少存储在坩祸锅体I内的易氧化金属材料的氧化程度,以免影响显示器件的性能;当对真空蒸镀腔进行抽真空操作时,真空蒸镀腔内的气压逐渐减小,此时,驱动装置壳体内空腔31形成的开放腔室内的气体压强逐渐减小,活塞32在封闭腔室内气体压强的推定下向开放腔室一侧移动,进而通过传动机构33带动与之相连的坩祸盖2运动,进而使坩祸盖2由盖合状态向开启状态转换,直至坩祸盖2转换至开启状态,坩祸锅体I内的蒸镀材料自坩祸装置内溢出,实现蒸镀。
[0032]因此,上述坩祸装置具有的驱动坩祸盖2的驱动机构3能够根据坩祸装置所处环境的气体压强的不同而进行不同的动作,进而使与坩祸锅体I相匹配的坩祸盖2能够在驱动机构3的驱动下在开启状态和盖合状态之间转换,这样,该坩祸装置能够利用坩祸装置外部环境气压的大小实现对i甘祸盖2的自动开合。
[0033]一种优选实施方式中,如图1、图2、图3所示,坩祸锅体I包括一个一端开口的容体,容体用于存储蒸镀材料,固定块4可拆卸地固定在容体的开口端,以方便坩祸锅体I内蒸镀材料的添加,固定块4上设有通孔,用于形成坩祸锅体I的开口,坩祸锅体I的开口与坩祸盖2相匹配,当坩祸锅体1、固定块4及坩祸盖2在坩祸盖2与坩祸锅体I相配合时,能够形成密闭空间,减少坩祸内的易氧化金属材料的氧化程度,以免影响显示器件的性能,且固定块4朝向坩祸盖2的一侧表面形成坩祸盖2承载面,驱动机构3安装于固定块4,固定块4支撑驱动机构3,同时,驱动机构3动作时驱动坩祸盖2在承载面上滑动以使坩祸盖2在开启状态和盖合状态之间转换,以满足坩祸锅体I设有的开口打开和盖合的需求。
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