一种小型真空蒸镀仪的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种小型真空蒸镀仪，尤其适用于有机发光(OLED)器件的生产和制造，属于机械技术领域。
【背景技术】
[0002]真空热蒸发镀膜技术被广泛应用于有机EL (Electro Luminescence)显示器等平板显示器的制造领域，该技术在相应薄膜器件产业化中的应用也十分广泛。其基本原理是利用加热的手段使待形成薄膜的原材料受热蒸发，由凝聚相变成气相，原材料的分子或原子从表面气化逸出，形成蒸汽流，入射到基板(衬底)表面，最终蒸发的分子或原子在基板(衬底)上沉积，凝结形成固态薄膜。
[0003]目前，这类真空热蒸发镀膜仪器主要有两大类，一是以产业为主的大中型的生产型设备，另外则是以进一步发展有机发光显示技术的科研学术型设备。而在科研学术型设备中，当前主流的是配有手套箱的实验室设备，这类设备往往因使用者的具体要求和习惯不同而存在不同的结构，但大多都以低压大电流控制为主，体积相对较大，成本较高，且标准化程度低。
【发明内容】
[0004]鉴于上述现有技术存在的缺陷，本发明的目的是提出一种小型真空蒸镀仪。
[0005]本发明的目的，将通过以下技术方案得以实现:
一种小型真空蒸镀仪，包括设备整体机架，蒸镀腔室，真空系统，冷却系统，所述蒸镀腔室包括底部的蒸发区，及设置于蒸发区正上方的待加工蒸镀区，所述蒸发区包括置于蒸镀腔室底板上的蒸发电极、相邻的蒸发电极之间的电极隔板、及设置于蒸发电极内的有机蒸发坩祸；所述待加工蒸镀区由上至下依此包括样品盘、掩膜盘及蒸发挡板。
[0006]优选地，所述蒸发电极包括至少两个有机蒸发电极及一对金属蒸发电极，每个所述有机蒸发电极与一对金属蒸发电极通过电极隔板间隔，且在蒸镀腔室底板上围设成一圆周。
[0007]优选地，所述样品盘上开设有用于安装蒸镀样片用的方形孔，所述掩膜盘上方固定有具有图案的掩膜板。
[0008]优选地，所述掩膜板与掩膜盘通过磁力连接固定。
[0009]优选地，所述蒸镀腔室的一侧设置有与蒸镀腔室密封连接的闭合门，所述闭合门上开设有两个可视窗。
[0010]优选地，所述蒸镀腔室上还连接有真空系统及冷却系统。
[0011]优选地，所述有机蒸发电极为筒状，设置有八个。
[0012]优选地，所述金属蒸发电极设置有一对，共用一组负极，并通过内部设置有橡胶圈的绝缘环与蒸镀腔室绝缘。
[0013]本发明突出效果为:体积较小，简洁明了，功能齐全，性价比高，可实现大众化的应用；控制系统实现了整个装置的工作，设备的标准化程度相较于其他设备而言明显提高；同时也满足了高等学校的日常教学和研究。
[0014]以下便结合实施例附图，对本发明的【具体实施方式】作进一步的详述，以使本发明技术方案更易于理解、掌握。
【附图说明】
[0015]图1是本装置的立体结构示意图。
[0016]图2是本装置的蒸发腔体内部结构示意图。
【具体实施方式】
[0017]如图1至图2所示，本发明揭示了一种小型真空蒸镀仪，包括前部设置有电源系统的整体机架1，整体机架由工业铝型材搭建而成，四周安装铝质围板，前板安装操作面板，顶部板上装有散热风扇，侧板上开有通风散热的半开孔，底下安装万向脚轮，可以随意移动。
[0018]整体机架上设置有蒸镀腔室2，所述蒸镀腔室包括底部的蒸发区，及设置于蒸发区正上方的待加工蒸镀区。所述蒸镀腔室是用不锈钢焊接而成的矩形腔室，外表面拉丝抛光，内表面电解抛光，底板的外侧面开有螺纹孔，安装到所述设备机架的台面上。所述蒸镀腔的主腔体上开设有抽气口等KF，CF标准接口，用于安装其它功能性部件。
[0019]所述蒸发区包括置于蒸镀腔室底板上的蒸发电极、所述蒸发电极包括至少两个有机蒸发电极5及一对金属蒸发电极4。所述蒸发电极的一端穿设出蒸镀腔室向外，与金属蒸发电源相联。作为最佳的实施例，所述有机蒸发电极5为筒状，设置有8个。为了更高效的蒸发，且为了避免在蒸发时不同材料之间的污染，每个所述有机蒸发电极5与一对金属蒸发电极4通过电极隔板6间隔，且在蒸镀腔室底板上围设成一圆周。其中，一对金属蒸发电极4是一起设置于相邻的两块电极隔板6之间。
[0020]所述金属蒸发电极4共用一组负极，并通过内部设置有橡胶圈的绝缘环与蒸镀腔室绝缘。所述金属蒸发电极在蒸镀腔室内的一端用于安装蒸发舟，蒸发舟内放置所在蒸发的材料。金属蒸发电极在腔体的外面一端与金属蒸发电源相联。
[0021]所述有机蒸发电极5内设置有由卤钨灯制得的有机蒸发坩祸51 ;有机蒸发材料放置在所述有机蒸发坩祸51内，有机蒸发坩祸51可以设置为圆筒状，也可以通过在有机蒸发坩祸51上装一圆环状导向筒，此结构用于改变蒸发时的束流方向，使之束流向上蒸发。
[0022]所述有机蒸发电极5通过安装在有机蒸发电极安装盘上的O型橡胶圈进行密封，电源通过安装盘上的陶封电极引入，将电与腔体之间绝缘开并实现密封。有机蒸发电极5在蒸镀腔体外的一侧有四个引脚，两个用于连接电源的正负极，另两个备用。
[0023]所述待加工蒸镀区由上至下依此包括共轴的样品盘7、掩膜盘8及蒸发挡板9。所述样品盘7上开设有用于安装蒸镀样片用的方形孔71，所述掩膜盘8上方通过磁力固定有具有图案的掩膜板81。当然，所述方形孔71也可以根据需要设置成其他形状。蒸镀样片一般采用ITO玻璃。
[0024]具体的，掩膜板81采用导磁不锈钢制作，通过固定在掩膜盘8的上磁铁吸合而固定。掩膜板81共四块，每块上面刻有二个图案，共八个图案。通过与样品盘7之间相对转动，在样片上蒸镀得到不同的图案。
[0025]所述蒸镀腔室2的一侧设置有与蒸镀腔室采用铰链连接的闭合门31，所述闭合门31上开设有两个用于观察蒸镀腔室内部的状况的可视窗32。所述闭合门31上设置有密封圈，与蒸镀腔室之间密封连接。
[0026]所述蒸镀腔室的后壁和侧壁均设置有真空系统，所述真空系统包括抽空系统和真空度测量系统，所述真空系统与蒸镀腔室的具体连接结构为，蒸镀腔室的后壁连接有真空抽气栗组，腔体侧壁连接有真空度测量探头。所述蒸镀腔室还设置有用于对金属蒸发电极4和分子栗进行冷却的冷却系统，所述金属蒸发电极4和分子栗的水嘴接头均接到所述冷却系统上。
[0027]所述冷却系统具体包括一台