一种真空溅射镀膜基片装夹装置的使用方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及电子产品ITO镀膜加工生产设备，尤其是一种真空溅射镀膜基片装夹装置的使用方法。
【背景技术】
[0002]现有ITO真空溅射镀膜基片装夹装备，形式多样，有镶嵌式的，有开放式的。开放式的，结构简单，装夹基片方便，通用性强，造价便宜，但是镀膜产品质量受影响，不能生产高品质产品；镶嵌式的，结构复杂，装夹基片稍难，产品的质装夹基片方便量有保证，但是通用性差，每种产品要对应一套，造价昂贵；不论镶嵌式的还是开放的，目前都不做到单面和双面镀膜的通用性，都需要两套装夹装备；鉴于上述原因，ITO真空溅射镀膜基片装夹装备的镶嵌式的，结构复杂，装夹基片稍难，单面和双面镀膜需要两套装夹装备，需要改进镶嵌式真空溅射镀膜基片装夹装备，现发明出一种真空溅射镀膜基片装夹装置的使用方法。
【发明内容】
[0003]本发明的目的是为了克服现有ITO真空溅射镀膜基片装夹装备的镶嵌式的，结构复杂，装夹基片稍难，单面和双面镀膜需要两套装夹装备，需要改进镶嵌式真空溅射镀膜基片装夹装备，通过合理设计，提供一种真空溅射镀膜基片装夹装置的使用方法，特殊设计的横梁通过连接片固定到竖梁上，弹性夹具通过螺钉连接到横梁上，单面产品或双面产品，徒手固定在弹性夹具上；单面和双面产品，装夹装备兼容，不同规格的产品，只要移动横梁，并重新固定，便可使用；横梁上下的挡片和基片之间的适当间距，可以防止绕射，生产的效率尚O
[0004]本发明为了实现上述目的，采用如下技术方案:一种真空溅射镀膜基片装夹装置的使用方法，所述的一种真空溅射镀膜基片装夹装置，是由:双面基片、双面下弹性卡、双面上弹性卡、横梁、竖梁、单面上弹性卡、单面下弹性卡、单面基片构成；竖梁一侧设置至少两根横梁，横梁设置为十字型，十字型横梁两侧分别设置侧梁；中部横梁上面对称设置两个双面下弹性卡、上方横梁下面对称设置两个双面上弹性卡，双面上弹性卡与双面下弹性卡的卡头对应设置，双面下弹性卡与双面上弹性卡之间设置双面基片；上方横梁下面与中部横梁上面设置一组双面上弹性卡与双面下弹性卡；上方横梁的侧梁下方对称设置两个单面上弹性卡、中部横梁的侧梁上面对称设置两个单面下弹性卡，单面上弹性卡与单面下弹性卡的卡头对应设置，单面上弹性卡与单面下弹性卡之间设置单面基片；竖梁一侧设置至少两根横梁，上下相邻两根横梁之间对应基片的规格设置，两根横梁之间设置双面基片；横梁设置为十字型，十字型横梁两侧分别设置侧梁；同一侧的两根横梁侧梁之间设置单面基片；
[0005]加工真空溅射镀膜对单面基片镀膜时，先把单面基片下边放入下横梁的单面下弹性卡的卡槽中，单面基片下边由两个单面下弹性卡对称支撑，再把上边横梁的单面上弹性卡的卡槽卡住单面基片的上边，单面基片上边由两个单面上弹性卡对称辅助卡紧。
[0006]单面基片通过单面上弹性卡和单面下弹性卡卡紧，固定在横梁一侧上部和下部的横梁之间后；启动输送小车，由输送小车带动竖梁与横梁和单面基片进入真空溅射镀膜箱中，对单面基片进行单面的溅射镀膜。
[0007]加工真空溅射镀膜对双面基片镀膜时，先把双面基片下边放入下横梁的双面下弹性卡的卡槽中，双面基片下边由两个双面下弹性卡对称支撑，再把上边横梁的双面上弹性卡的卡槽卡住双面基片的上边，双面基片上边由两个双面上弹性卡对称辅助卡紧；双面基片通过双面上弹性卡和双面下弹性卡卡紧，固定在横梁一侧上部和下部的横梁之间后；启动输送小车，由输送小车带动竖梁与横梁和双面基片进入真空溅射镀膜箱中，对双面基片进行双面的溅射镀膜。
[0008]有益效果:单面或双面镀膜共用一套装夹装备，通用性强；更换产品品种，方便快捷；徒手快速装卸基片，减少人力资源的使用；解决绕射问题，可以生产低阻高档产品；结构简单，加工容易，造价便宜，永久使用。
[0009]本发明的竖梁是和移动小车是一体的，特殊设计的横梁通过连接片固定到竖梁上，弹性夹具通过螺钉连接到横梁上，单面产品或双面产品，徒手固定在弹性夹具上；单面和双面产品，装夹装备兼容，不同规格的产品，只要移动横梁，并重新固定，便可使用；横梁上下的挡片和基片之间的适当间距，可以防止绕射。
【附图说明】
[0010]下面结合附图对本发明作进一步说明:
[0011]图1是，总装结构示意图；
[0012]图2是，侧视剖面结构示意图；
[0013]图3是，安装双面基片的结构示意图；
[0014]图4是，安装单面基片结构示意图；
[0015]图1、2、3、4中:双面基片1、双面下弹性卡2、双面上弹性卡3、横梁4、竖梁5、单面上弹性卡6、单面下弹性卡7、单面基片8。
【具体实施方式】
[0016]下面结合实施例与【具体实施方式】对本发明作进一步详细说明:
[0017]实施例1
[0018]竖梁5 —侧设置至少两根横梁4，横梁4设置为十字型，十字型横梁4两侧分别设置侧梁；中部横梁4上面对称设置两个双面下弹性卡2、上方横梁4下面对称设置两个双面上弹性卡3，双面上弹性卡3与双面下弹性卡2的卡头对应设置，双面下弹性卡2与双面上弹性卡3之间设置双面基片I ;上方横梁4下面与中部横梁4上面设置一组双面上弹性卡3与双面下弹性卡2 ;上方横梁4的侧梁下方对称设置两个单面上弹性卡6、中部横梁4的侧梁上面对称设置两个单面下弹性卡7，单面上弹性卡6与单面下弹性卡7的卡头对应设置，单面上弹性卡6与单面下弹性卡7之间设置单面基片8 ;竖梁5 —侧设置至少两根横梁4，上下相邻两根横梁4之间对应基片的规格设置，两根横梁4之间设置双面基片I ;横梁4设置为十字型，十字型横梁4两侧分别设置侧梁；同一侧的两根横梁4侧梁之间设置单面基片8 ；
[0019]加工真空溅射镀膜对单面基片8镀膜时，先把单面基片8下边放入下横梁4的单面下弹性卡7的卡槽中，单面基片8下边由两个单面下弹性卡7对称支撑，再把上边横梁4的单面上弹性卡6的卡槽卡住单面基片8的上边，单面基片8上边由两个单面上弹性卡6对称辅助卡紧。
[0020]实施例2
[0021]单面基片8通过单面上弹性卡6和单面下弹性卡7卡紧，固定在横梁4 一侧上部和下部的横梁4之间后；启动输送小车，由输送小车带动竖梁5与横梁4和单面基片8进入真空溅射镀膜箱中，对单面基片8进行单面的溅射镀膜。
[0022]实施例3
[0023]加工真空溅射镀膜对双面基片I镀膜时，先把双面基片I下边放入下横梁4的双面下弹性卡2的卡槽中，双面基片I下边由两个双面下弹性卡2对称支撑，再把上边横梁4的双面上弹性卡3的卡槽卡住双面基片I的上边，双面基片I上边由两个双面上弹性卡3对称辅助卡紧；双面基片I通过双面上弹性卡3和双面下弹性卡2卡紧，固定在横梁4 一侧上部和下部的横梁4之间后；启动输送小车，由输送小车带动竖梁5与横梁4和双面基片I进入真空溅射镀膜箱中，对双面基片I进行双面的溅射镀膜。
【主权项】
1.一种真空溅射镀膜基片装夹装置的使用方法，所述的一种真空溅射镀膜基片装夹装置，，是由:双面基片(I)、双面下弹性卡(2)、双面上弹性卡(3)、横梁(4)、竖梁(5)、单面上弹性卡￠)、单面下弹性卡(7)、单面基片(8)构成；其特征在于:竖梁(5) —侧设置至少两根横梁(4)，横梁⑷设置为十字型，十字型横梁⑷两侧分别设置侧梁；中部横梁⑷上面对称设置两个双面下弹性卡(2)、上方横梁(4)下面对称设置两个双面上弹性卡(3)，双面上弹性卡(3)与双面下弹性卡(2)的卡头对应设置，双面下弹性卡(2)与双面上弹性卡(3)之间设置双面基片(I);上方横梁(4)下面与中部横梁(4)上面设置一组双面上弹性卡(3)与双面下弹性卡(2);上方横梁(4)的侧梁下方对称设置两个单面上弹性卡￠)、中部横梁(4)的侧梁上面对称设置两个单面下弹性卡(7)，单面上弹性卡(6)与单面下弹性卡(7)的卡头对应设置，单面上弹性卡(6)与单面下弹性卡(7)之间设置单面基片(8);竖梁(5) —侧设置至少两根横梁(4)，上下相邻两根横梁(4)之间对应基片的规格设置，两根横梁(4)之间设置双面基片⑴；横梁⑷设置为十字型，十字型横梁⑷两侧分别设置侧梁；同一侧的两根横梁⑷侧梁之间设置单面基片(8)。 加工真空溅射镀膜对单面基片(8)镀膜时，先把单面基片(8)下边放入下横梁(4)的单面下弹性卡(7)的卡槽中，单面基片(8)下边由两个单面下弹性卡(7)对称支撑，再把上边横梁(4)的单面上弹性卡￠)的卡槽卡住单面基片(8)的上边，单面基片(8)上边由两个单面上弹性卡(6)对称辅助卡紧。2.根据权利要求1中所述的一种真空溅射镀膜基片装夹装置的使用方法，其特征在于:单面基片(8)通过单面上弹性卡(6)和单面下弹性卡(7)卡紧，固定在横梁(4) 一侧上部和下部的横梁(4)之间后；启动输送小车，由输送小车带动竖梁(5)与横梁(4)和单面基片(8)进入真空溅射镀膜箱中，对单面基片(8)进行单面的溅射镀膜。3.根据权利要求1中所述的一种真空溅射镀膜基片装夹装置的使用方法，其特征在于:加工真空溅射镀膜对双面基片(I)镀膜时，先把双面基片(I)下边放入下横梁(4)的双面下弹性卡(2)的卡槽中，双面基片(I)下边由两个双面下弹性卡(2)对称支撑，再把上边横梁(4)的双面上弹性卡(3)的卡槽卡住双面基片(I)的上边，双面基片(I)上边由两个双面上弹性卡(3)对称辅助卡紧；双面基片(I)通过双面上弹性卡(3)和双面下弹性卡(2)卡紧，固定在横梁(4) 一侧上部和下部的横梁(4)之间后；启动输送小车，由输送小车带动竖梁(5)与横梁(4)和双面基片(I)进入真空溅射镀膜箱中，对双面基片(I)进行双面的溅射镀膜。
【专利摘要】一种真空溅射镀膜基片装夹装置的使用方法，所述的一种真空溅射镀膜基片装夹装置，是由：竖梁一侧设置至少两根横梁，横梁设置为十字型，十字型横梁两侧分别设置侧梁；中部横梁上面对称设置两个双面下弹性卡，双面上弹性卡与双面下弹性卡的卡头对应设置、单面上弹性卡与单面下弹性卡之间设置单面基片；加工真空溅射镀膜时，单面基片上边由两个单面上弹性卡对称辅助卡紧后；启动输送小车，由输送小车带动竖梁与横梁和双面基片进入真空溅射镀膜箱中，对基片进行溅射镀膜；单面或双面镀膜共用一套装夹装备，通用性强；更换产品品种，方便快捷；徒手快速装卸基片；解决绕射问题，可以生产低阻高档产品；结构简单，加工容易，造价便宜，永久使用。
【IPC分类】C23C14/50
【公开号】CN105088169
【申请号】CN201510540934
【发明人】王新, 牛建国
【申请人】洛阳新兆电子有限公司
【公开日】2015年11月25日
【申请日】2015年8月23日