中央区域可包括在运送器400的底框架部440的基板接收表面480的中心481，以及基板接收表面的底部在各个方向上的长度约15%的偏差。在图3中，距离482及483分别表示从中心点481起算的占底框架部440的基板接收表面480的总长度487约15%的一距离。距离482和483合起来表示基板接收表面480的中央区域的长度。
[0054]根据某些实施例，本文所使用的底框架部440的基板接收表面480的总长度可定义为包括在底框架部440的基板接收表面480在X方向上的延伸。
[0055]如上所述，底框架部440的中央区域可对应至基板接收表面480的底部的中央区域。然而，应注意的是，在运送器框架并不具有实质上对称的形状的情形下(例如图3中所示的具有底框架部440的一左侧延伸的形状)，底框架部件中央区域可依照基板接收表面的底部的中央区域而定。然而，在某些实施例中，基板可在底框架部440的基板接收表面480的中央区域被稳固地固定至运送器400。
[0056]根据某些实施例，运送器可适用于运送多于一个的基板。在运送器适用于运送多于一个基板的情形下，运送器可包括用于每一基板的基板接收表面，并可包括用于每一基板的如上述般设置的固定装置。
[0057]在某些实施例中，固定装置所提供的固定点(并未绘示于图3中)可位于运送器框架的基板接收表面的底部的中心点481。
[0058]图4绘示根据本文所描述的实施例的运送器800。运送器包括底框架部840、第一侧框架部850、顶框架部860以及第二侧框架部870。运送器800垂直地保持基板810。此夕卜，运送器包括用以支撑但并不稳固地固定基板810的支撑构件820。支撑构件820示例性地设置于第一侧框架部850、顶框架部860以及第二侧框架部870。并且，可提供底支撑构件830，以支撑基板810的底边缘。
[0059]在图4所示的实施例中，在底框架部840的中央区域890中提供两个固定装置825、826。中央区域可为如以上参照图3所详细讨论的中央区域。举例来说，两个固定装置825、826所位于的中央区域可以是从底框架部的中心点至底框架部在各个方向上长度约15%的范围。在某些实施例中，固定装置825、826从底框架部的中心点往左及往右设置。
[0060]在某些实施例中，底框架部件840的中央区域890可依照基板接收表面的中央区域而定，如以上参照图3的解释。如此，固定装置825、826可位于包含基板接收表面的底侧的中心点及基板接收表面在各个方向上的长度的15 %的一区域。
[0061]图5绘示运送器900的实施例，运送器900包括在底框架部940的中央区域990中的三个固定装置925、926及927。运送器900进一步包括底框架部940、第一侧框架部950、顶框架部960及第二侧框架部970。运送器900垂直地保持基板910，并可包括支撑构件920及底支撑构件930。一般的情况下，有关于图3及图4的讨论同样适用。特别是，上述底框架部的中央区域的定义可适用于运送器900的底框架部940的中央区域990。并且，中央区域990可如上所述依照基板接收表面的底部的中央区域而定。
[0062]根据某些实施例，三个固定装置925、926及927其中之一可设置在底框架部的中心点或基板接收表面的底部的中心点作为中间固定装置。在底框架部940的中央区域990或在基板接收表面的底部的中央区域之内，三个固定装置中的两个可设置在中间固定装置的两旁。
[0063]在提供多于一个单一固定装置的情形下，固定装置所提供的固定点可理解为两个或三个固定装置在运送器框架的底框架部的中央区域中的合力施加点。换句话说，固定点依照固定装置所施加的力的合力作用线而定。
[0064]图6绘示根据本文所描述的实施例的运送器的一实施例。相对于图2a和图2b在运送器框架的底框架部240绘示支撑构件230，运送器300在底框架部件340包括夹钳320。在运送器300的底框架部340的夹钳320有助于保持基板在一相对的位置中，但不固定基板310。在图6所示的实施例中，基板是通过固定装置325所固定，固定装置325可为上述的固定装置。
[0065]在图中所示的实施例中，夹钳的数量仅为一范例，不应理解为本文所描述的实施例的限制。每一运送器的支撑构件的数量通常可介于约2个和约10个之间，更典型地介于约3个和约8个之间，甚至更典型地介于约3个和6个之间。
[0066]为了确保基板通过固定装置稳固固定，固定装置适用于框架，并允许稳固地将一基板固定住，此基板通常具有介于约0.2mm至约6mm的厚度，更典型地具有介于约0.3mm至约2mm的厚度，甚至更典型地具有介于约0.3mm至约1.5mm的厚度。在一范例中，厚度可以高达1.2_。夹钳形式的固定装置也可配置有阻尼单元，以确保并可靠地固定住基板而不使其损坏。
[0067]在某些实施例中，固定装置可包括含有弹簧的夹钳。弹簧施加在基板用以稳固地将基板固定至运送器的弹簧力通常可介于15N和约25N之间，更典型地介于约16N和约23N之间，甚至更典型地介于约17N和约20N之间。在一范例中，施加在根据本文所描述的实施例的固定装置的弹簧力约17N。在提供多于一个固定装置用以稳固地固定住基板的实施例中(例如图4及图5所示的实施例)，每一固定装置可具有上述范围内的弹簧力。
[0068]根据某些实施例，提供根据本文所描述的实施例的运送器及方法所欲使用的基板可具有典型地约1.4m2至约Sm 2的大小，更典型地具有约2m 2至约9m2，或甚至是高达12m2的大小。举例来说，基板可为第5代(GEN 5)、第7.5代(GEN 7.5)、第8.5代(GEN8.5)，或甚至第10代(GEN 10)基板，第5代对应于约1.4m2的基板(1.1mX 1.25m)，第7.5代对应于约4.29m2的基板(1.95mX2.2m)，第8.5代对应于约5.7m 2的基板(2.2mX 2.5m)，第10代对应于约8.7m2的基板(2.85mX3.05m)。甚至是可类似地实现如第11代(GEN
11)与第12代(GEN12)的更大的世代基板及所对应的基板面积。根据某些实施例，基板可具有约 300mmX 400mm、305mmX 356mm.320mmX 650mm.356mmX 356mm.356mmX370mm X 470mm、400mmX500mm、550mm X 650mm、550mmX670mm、620mm X 750 mm、650mm X 750mm、670mm X 830mm、680mm X 880mm，或是 730mm X 920mm 的大小。
[0069]根据某些实施例，对方法进行说明。本文所描述的方法的实施例绘示如图7中的流程图。用于在沉积工艺期间运送基板的方法500包括:在方块510，以包括用以垂直地保持基板的框架的运送器运送基板。运送器框架可为参照图2至图6所描述的运送器框架。运送器的框架可具有实质上为矩形的形状，并具有底框架部。
[0070]方法500包括:在方块520，稳固地将基板固定至运送器。基板稳固固定至运送器，或基板耦接至运送器，例如可发生在一固定点上，可通过在基板的底边缘的固定装置来执行，较佳为通过一个单一固定装置来执行。根据某些实施例，固定装置可设置于运送器的底框架部的中央区域。在例如以上详细描述的实施例的某些实施例中，一个单一固定装置可在运送器的基板接收表面的中央区域将基板固定至运送器。
[0071]根据某些实施例，基板在通过固定装置所提供的恰好一个单一固定点稳固地固定至运送器。基板仍可从固定点膨胀，基板相对于运送器的移动被阻止。
[0072]在方块530中，本文所描述的方法500的实施例包括在运送器中以一个或多个支撑构件支撑基板，但并不以支撑构件稳固地固定住基板。支撑构件可为夹钳，夹钳可允许基板在由运送器及夹钳所提供的一定义的空间内移动。在某些实施例中，支撑构件可提供在运送器框架的各个侧边。特别是，支撑构件可设置于运送器的每一侧边上，例如(请往回参照图2)在底侧框架部240、左侧框架部250、顶侧框架部260及右侧框架部270上。
[0073]根据某些实施例，固定装置可为参照图2至图6所详细描述的固定装置。举例来说，固定装置可为施加一限定的力于基板上以稳固地将基板固定至运送器的夹钳。在一范例中，固定装置可包括适用于运送器及所运送的基板的参数的弹簧。固定装置可适用于施加力至基板，所述力足够大以稳固地将基板固定住，且足够小以避免破坏基板。在某些实施例中，稳固地固定基板所使用的力可通过在底框架部件的中央区域中的多于一个固定装置所提供，例如是二个或三个固定装置。
[0074]根据本文所描述的实施例在运送器的固定装置之中使用一可分别调整的弹簧，是用以表现出用于稳固地将基板固定至运送器的力的简单方法，而不会造成高的成本。与例如参照图1b所描述的钛镶嵌相比，根据本文所描述的实施例的运送器可以一在经济上非常高效的方式制造出来，同时维持运送器的重量也一样低。
[0075]图8绘示方法600的实施例。根据某些实施例，方块610、620及630可分别对应于方法500的方块510、520及530。方法600进一步包括方块640，方块640包括以运送器框架覆盖基